蒸发式真空镀膜机的工作原理:通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。这种方法较早由M.法拉第于1857年提出,现代已成为常用镀膜技术之知一。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源,待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后,加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子道以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发专源的蒸发速率和时间(或决定于装料量),并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜,常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的属距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程,以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1~0.2电子伏。简言之,蒸发式真空镀膜机的工作原理就是真空室内利用电阻加热法,把紧紧贴在电阻丝上面的金属丝熔融汽化,汽化了的金属分子沉积于基片上,而获得光滑反射率的膜层,达到装饰美化物品表面的目的。无锡专业真空镀膜机厂家!专业真空镀膜机厂家直销
真空的基本知识“真空”是指压力低于一个大气压的任何气态的空间。在这种空间中气体是比较稀薄的,至少比大气要稀薄,但是“真空”,即没有任何气态微粒的空间是找不到的,就是在远离地球一万公里处、每立方厘米也有3~4千个空气的分子。由于真空度大小仍然是气体压力大小的问题,所以计量压强的单位也就是计量真空度的单位。国际标准单位为帕斯卡(Pa),也可用“托”(Torr)、“巴”(bar)和“毫巴”(mbar)来计量,他们之间的关系如下式:1标准大气压=1.01×105帕斯卡(Pa)=760托(Torr)=1.01×103毫巴山东推荐真空镀膜机定制购买真空镀膜机,欢迎来无锡光润!
需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且**终沉积在基片表面,经历成膜过程,形成薄膜。真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
工艺2.1真空蒸膜vacuumevaporationcoating:使镀膜材料蒸发的真空镀膜过程。2.1.1同时蒸发simultaneousevaporation:用数个蒸发器把各种蒸发材料同时蒸镀到基片上的真空蒸发。2.1.2蒸发场蒸发evaporationfieldevaporation:由蒸发场同时蒸发的材料到基片上进行蒸镀的真空蒸发(此工艺应用于大面积蒸发以获得到理想的膜厚分布)。2.1.3反应性真空蒸发reactivevacuumevaporation:通过与气体反应获得理想化学成分的膜层材料的真空蒸发。2.1.4蒸发器中的反应性真空蒸发reactivevacuumevaporationinevaporator:与蒸发器中各种蒸发材料反应,而获得理想化学成分膜层材料的真空蒸发。2.1.5直接加热的蒸发directheatingevaporation:蒸发材料蒸发所必须的热量是对蒸发材料(在坩埚中或不用坩埚)本身加热的蒸发。2.1.6感应加热蒸发inducedheatingevaporation:蒸发材料通过感应涡流加热的蒸发。2.1.7电子束蒸发electronbeamevaporation:通过电子轰击使蒸发材料加热的蒸发。无锡光润真空可根据客户要求设计各类真空镀膜机设备。
磁控溅射靶是磁控镀膜的源,必须满足两个条件:一是具有正交的电磁场;二是磁场方向应与阴极靶面平行,形成一个封闭的环形水平磁场。从阴极靶面发射的电子被加速以获得阴极暗区的能量。由于阴极靶表面存在水平磁场,它们不能直接飞到阳极上。相反,在环形水平磁场形成的等离子体环中,它们按照近似摆线运动轨迹向前运动,电子运动轨迹加长,从而增加了电子与气体分子碰撞的概率。电子的每一次碰撞都会损失一些能量,只有通过能量交换,电子才能脱离磁场的束缚。在能量交换之前,电子会飞约100米,碰撞频率为107次/s,这将提高气体的电离率和阴极靶所能达到的鸟电流密度,从而获得较高的溅射速率。真空镀膜机设备专业供应商!山东推荐真空镀膜机定制
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真空镀膜设备真空热处理是指金属制件在真空或先抽真空后通惰性气体条件下加热,然后在油或气体中淬火冷却的技术。由于真空热处理时,工件基本不氧化,钢件不脱碳,采用通气对流加热方式还可使加热均匀,减少表面和心部的温差,从而也减少畸变。目前它已成为工模具不可或缺和优先的热处理工艺。更为可贵的是,真空热处理在生产过程中不会产生任何污染环境的物质,从而被大家公认属于清洁生产技术范畴。可以毫不夸张地说,真空热处理已成为当前先进热处理生产技术的主要标志。专业真空镀膜机厂家直销
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