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纳米压印基本参数
  • 产地
  • 奥地利
  • 品牌
  • EVG
  • 型号
  • EVG610,EVG620 NT,EVG6200 NT,EVG720,EVG7200,EVG7200
  • 是否定制
纳米压印企业商机

世界lingxian的衍射波导设计商和制造商WaveOptics宣布与EVGroup(EVG)进行合作,EVGroup是晶圆键合和纳米压印光刻设备的lingxian供应商,以带来高性能增强现实(AR)波导以当今业界的低成本进入大众市场。波导是可穿戴AR的关键光学组件。WaveOptics首席执行官DavidHayes评论:“这一合作伙伴关系标志着增强现实行业的转折点,是大规模生产高质量增强现实解决方案的关键步骤,这是迄今为止尚无法实现的能力。”EVG的专业知识与我们可扩展的通用技术的结合将使到明年年底,AR终端用户产品的市场价格将低于600美元。“这项合作是释放AR可穿戴设备发展的关键;我们共同处于有利位置,可以在AR中引入大众市场创新,以比以往更低的成本开辟了可扩展性的新途径。EV Group的一系列高精度热压花系统是基于该公司市场领仙的晶圆键合技术。中国香港纳米压印质量怎么样

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EVG®620NT特征:顶部和底部对准能力高精度对准台自动楔形补偿序列电动和程序控制的曝光间隙支持ZUI新的UV-LED技术ZUI小化系统占地面积和设施要求分步流程指导远程技术支持多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)敏捷处理和转换工具台式或带防震花岗岩台的单机版EVG®620NT附加功能:键对准红外对准SmartNILµ接触印刷技术数据晶圆直径(基板尺寸)标准光刻:ZUI大150毫米的碎片柔软的UV-NIL:ZUI大150毫米的碎片SmartNIL®:在100毫米范围解析度:≤40nm(分辨率取决于模板和工艺)支持流程:软UV-NIL&SmartNIL®曝光源:汞光源或紫外线LED光源对准:软NIL:≤±0.5µmSmartNIL®:≤±3微米自动分离:柔紫外线NIL:不支持;SmartNIL®:支持工作印章制作:柔软的UV-NIL:外部:SmartNIL®:支持EVG纳米压印出厂价分步重复刻印通常用于高效制造晶圆级光学器件或EVG的Smart NIL工艺所需的母版。

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纳米压印微影技术可望优先导入LCD面板领域原本计划应用在半导体生产制程的纳米压印微影技术(Nano-ImpLithography;NIL),现将率先应用在液晶显示器(LCD)制程中。NIL为次世代图样形成技术。据ETNews报导,南韩显示器面板企业LCD制程研发小组,未确认NIL设备实际图样形成能力,直接参访海外NIL设备厂。该制程研发小组透露,若引进相关设备,将可提升面板性能。并已展开具体供货协商。NIL是以刻印图样的压印机,像盖章般在玻璃基板上形成图样的制程。在基板上涂布UV感光液后,再以压印机接触施加压力,印出面板图样。之后再经过蚀刻制程形成图样。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光图样,不需再另外贴附偏光薄膜。虽然在面板制程中需增加NIL、蚀刻制程,但省落偏光膜贴附制程,可维持同样的生产成本。偏光膜会吸收部分光线降低亮度。若在玻璃基板上直接形成偏光图样,将不会发生降低亮度的情况。通常面板分辨率越高,因配线较多,较难确保开口率(ApertureRatio)。

通过中心提供的试验生产线基础设施,WaveOptics将超越其客户对下个季度的预期需求,并有一条可靠的途径将大批量生产工艺和设备转移至能够大规模生产波导的指定设施适用于全球顶jiOEM品牌。WaveOptics与EVG的合作突显了其致力于以可实现的价格提供高性能,商用波导来帮助客户将AR显示器推向市场的承诺。利用EVG在批量生产设备和工艺技术方面的专业知识,到2019年,AR终端用户产品将以不到600美元的价格进入市场,这是当今行业中的较低价位。EVG ® 720是自动SmartNIL ® UV紫外光纳米压印光刻系统。

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曲面基底上的纳米结构在许多领域都有着重要应用,例如仿生学、柔性电子学和光学器件等。传统的纳米压印技术通常采用刚性模板,可以实现亚10nm的分辨率,但是模板不能弯折,无法在曲面基底上压印制备纳米结构。而采用弹性模板的软压印技术可以在无外界提供压力下与曲面保形接触,实现结构在非平面基底上的压印复制,但是由于弹性模板的杨氏模量较低,所以压印结构的分辨率和精度都受到限制。基于目前纳米压印的发展现状,结合传统的纳米压印技术和软压印技术,中国科学院光电技术研究所团队发展了一种基于紫外光固化巯基-烯材料的亚100nm分辨率的复合软压印模板的制备方法,该模板包含刚性结构层和弹性基底层。EVG®610和EVG®620NT /EVG®6200NT是具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统。EVG620NT纳米压印学校会用吗

SmartNIL是基于紫外线曝光的全域型压印技术。中国香港纳米压印质量怎么样

EVG510® HE 热压印系统

应用:高度灵活的热压印系统,用于研发和小批量生产

EVG510® HE 半自动热压印系统设计用于对热塑性基材进行高精度压印。该设备配置有热压印腔室,其真空和压印力可调,可用于热压印各种聚合物材料,可进行高深宽比压印,可用于高质量纳米微米图案的热转印工艺。


EVG510® HE 特征:

用于聚合物基材和旋涂聚合物的热压印应用

自动化热压印工艺

配合EVG专有的对准设备,可用于需要光学对准的压印

完全由软件控制的流程执行

主动式水冷系统提供安静快速均匀的冷却效果

可选配闭环冷却水供应 中国香港纳米压印质量怎么样

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