SmartNIL是行业领仙的NIL技术,可对小于40nm*的极小特征进行图案化,并可以对各种结构尺寸和形状进行图案化。SmartNIL与多用途软戳技术相结合,可实现无人可比的吞吐量,并具有显着的拥有成本优势,同时保留了可扩展性和易于维护的操作。EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期前景,即纳米压印是一种用于大规模制造微米级和纳米级结构的低成本,大批量替代光刻技术。注:*分辨率取决于过程和模板如果需要详细的信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。EVG开拓了这种非常规光刻技术,拥有多年技术,掌握了NIL,并已在不断增长的基板尺寸上实现了批量化的生产。重庆纳米压印推荐厂家
EVG®520HE特征:用于聚合物基材和旋涂聚合物的热压印和纳米压印应用自动化压花工艺EVG专有的独力对准工艺,用于光学对准的压印和压印气动压花选项软件控制的流程执行EVG®520HE技术数据加热器尺寸:150毫米,200毫米蕞大基板尺寸:150毫米,200毫米蕞小基板尺寸:单芯片,100毫米蕞大接触力:10、20、60、100kN最高温度:标准:350°C;可选:550°C粘合卡盘系统/对准系统150毫米加热器:EVG®610,EVG®620,EVG®6200200毫米加热器:EVG®6200,MBA300,的SmartView®NT真空:标准:0.1毫巴可选:0.00001mbar 重庆纳米压印推荐厂家EVG®610和EVG®620NT / EVG®6200NT是具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统。
客户示范■工艺开发■材料测试■与合作伙伴共同研发■资助项目■小批量试生产■IP管理■过程技术许可证■流程培训→世界一留的洁净室基础设施→蕞先近的设备→技术**→砖用计量→工艺知识→应用知识→与NIL的工作印模材料和表面化学有关的化学专业知识新应用程序的开发通常与设备功能的提高紧密相关。EVG的NIL解决方案能够产生具有纳米分辨率的多种不同尺寸和形状的图案,并在显示器,生物技术和光子应用中实现了许多新的创新。岱美作为EVG在中国区的代理商,欢迎各位联系我们,探讨纳米压印光刻的相关知识。我们愿意与您共同进步。
对于压印工艺,EVG610允许基板的尺寸从小芯片尺寸到最大直径150mm。纳米技术应用的配置除了可编程的高和低接触力外,还可以包括用于印章的释放机构。EVGroup专有的卡盘设计可提供均匀的接触力,以实现高产量的压印,该卡盘支持软性和硬性印模。EVG610特征:顶部和底部对准能力高精度对准台自动楔形误差补偿机制电动和程序控制的曝光间隙支持蕞新的UV-LED技术蕞小化系统占地面积和设施要求分步流程指导远程技术支持多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)敏捷处理和光刻工艺之间的转换台式或带防震花岗岩台的单机版附加功能:键对准红外对准纳米压印光刻µ接触印刷EV Group 提供完整的UV 紫外光纳米压印光刻(UV-NIL)产品线。
SmartNIL是行业领仙的NIL技术,可对小于40nm*的极小特征进行图案化,并可以对各种结构尺寸和形状进行图案化。SmartNIL与多用途软戳技术相结合,可实现无人能比的吞吐量,并具有显着的拥有成本优势,同时保留了可扩展性和易于维护的操作。EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期前景,即纳米压印是一种用于大规模制造微米级和纳米级结构的低成本,大批量替代光刻技术。*分辨率取决于过程和模板如果需要详细的信息,请联系岱美仪器技术服务有限公司。EVG紫外光纳米压印系统还有:EVG®7200LA,HERCULES®NIL,EVG®770,IQAligner®等。EVG770纳米压印代理价格
在纳米光学器件中,纳米压印可以用于制备纳米级的光学结构,用于改善光学器件的性能。重庆纳米压印推荐厂家
EVGROUP®|产品/纳米压印光刻解决方案纳米压印光刻的介绍:EVGroup是纳米压印光刻(NIL)的市场领仙设备供应商。EVG开拓了这种非常规光刻技术多年,掌握了NIL并已在不断增长的基板尺寸上实现了批量生产。EVG的专有SmartNIL技术通过多年的研究,开发和现场经验进行了优化,以解决常规光刻无法满足的纳米图案要求。SmartNIL可提供低至40nm的出色保形压印结果。岱美作为EVG在中国区的代理商,欢迎各位联系岱美,探讨纳米压印光刻的相关知识。岱美愿意与您共同进步。重庆纳米压印推荐厂家