IQAligner®:用于晶圆级透镜成型和堆叠的高精度UV压印系统■用于光学元件的微成型应用■用于全场纳米压印应用■三个独力控制的Z轴,用于控制压印光刻胶的总厚度变化(TTV),并在压模和基材之间实现出色的楔形补偿■粘合对准和紫外线粘合功能紫外线压印_紫外线固化印章防紫外线基材附加印记压印纳米结构分离印记用紫外线可固化的光刻胶旋涂或滴涂基材。随后,将压模压入光刻胶并在仍然接触的情况下通过UV光交联。µ-接触印刷软印章基板上的材料领取物料,物料转移,删除印章SmartNIL可以实现无人能比的吞吐量。EVG7200纳米压印竞争力怎么样

关于WaveOpticsWaveOptics是衍射波导的全球lingxian设计商和制造商,衍射波导是可穿戴AR设备中的关键光学组件。诸如智能眼镜之类的AR可穿戴设备使用户能够观看覆盖在现实世界之上的数字图像。有两个关键元素可让您看到这些图像-微型投影仪之类的光源,以及将图像从投影仪传递到用户眼睛中的一种方式。WaveOptics的波导技术可传输来自光源的光波并将其投射到用户的眼睛中。该技术可产生大的眼框,双目观察和高视野。眼图框(查看窗口)是从中可以看到完整图像的AR显示器的尺寸-请参见下图。WaveOptics的波导提供清晰,无失真的文本以及稳定的图像。WaveOptics技术旨在用于工业,企业和消费者市场的沉浸式AR体验。该公司的目标是,凭借其独特的技术和专业知识,其波导将成为所有AR可穿戴设备中使用的he心光学组件,以实现wuyulunbi的制造可扩展性和视觉性能,并为众多应用提供多功能性。EVG7200纳米压印竞争力怎么样分步重复刻印通常用于高效地制造晶圆级光学器件制造或EVG的Smart NIL工艺所需的母版。

曲面基底上的纳米结构在许多领域都有着重要应用,例如仿生学、柔性电子学和光学器件等。传统的纳米压印技术通常采用刚性模板,可以实现亚10nm的分辨率,但是模板不能弯折,无法在曲面基底上压印制备纳米结构。而采用弹性模板的软压印技术可以在无外界提供压力下与曲面保形接触,实现结构在非平面基底上的压印复制,但是由于弹性模板的杨氏模量较低,所以压印结构的分辨率和精度都受到限制。基于目前纳米压印的发展现状,结合传统的纳米压印技术和软压印技术,中国科学院光电技术研究所团队发展了一种基于紫外光固化巯基-烯材料的亚100nm分辨率的复合软压印模板的制备方法,该模板包含刚性结构层和弹性基底层。
EVG®520HE特征:用于聚合物基材和旋涂聚合物的热压印和纳米压印应用自动化压花工艺EVG专有的独力对准工艺,用于光学对准的压印和压印气动压花选项软件控制的流程执行EVG®520HE技术数据加热器尺寸:150毫米,200毫米蕞大基板尺寸:150毫米,200毫米蕞小基板尺寸:单芯片,100毫米蕞大接触力:10、20、60、100kN最高温度:标准:350°C;可选:550°C粘合卡盘系统/对准系统150毫米加热器:EVG®610,EVG®620,EVG®6200200毫米加热器:EVG®6200,MBA300,的SmartView®NT真空:标准:0.1毫巴可选:0.00001mbar EVG先进的多用户概念可以适应从初学者到砖家级别的所有需求,因此使其成为大学和研发应用程序的理想选择。

SmartNIL是行业领仙的NIL技术,可对小于40nm*的极小特征进行图案化,并可以对各种结构尺寸和形状进行图案化。SmartNIL与多用途软戳技术相结合,可实现无人可比的吞吐量,并具有显着的拥有成本优势,同时保留了可扩展性和易于维护的操作。EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期前景,即纳米压印是一种用于大规模制造微米级和纳米级结构的低成本,大批量替代光刻技术。注:*分辨率取决于过程和模板如果需要详细的信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。EVG紫外光纳米压印系统有: EVG®610,EVG®620NT,EVG®6200NT,EVG®720,EVG®7200等。EVG7200纳米压印竞争力怎么样
EVG的纳米压印设备包括不同的单步压印系统,大面积压印机以及用于高效母版制作的分步重复系统。EVG7200纳米压印竞争力怎么样
EVG®520HE热压印系统特色:经通用生产验证的热压印系统,可满足蕞高要求EVG520HE半自动热压印系统设计用于对热塑性基材进行高精度压印。EVG的这种经过生产验证的系统可以接受直径蕞大为200mm的基板,并且与标准的半导体制造技术兼容。热压印系统配置有通用压花腔室以及高真空和高接触力功能,并管理适用于热压印的整个聚合物范围。结合高纵横比压印和多种脱压选项,提供了许多用于高质量图案转印和纳米分辨率的工艺。如果需要详细的信息,请联系岱美仪器技术服务有限公司。EVG7200纳米压印竞争力怎么样