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轮廓仪基本参数
  • 产地
  • 中国
  • 品牌
  • 超纳/SUBNANO
  • 型号
  • NanoX-2000/3000,NanoX-8000
  • 是否定制
轮廓仪企业商机

   随着时代的发展,轮廓仪也越来重要了,不少的产品检测都需要通过轮廓仪进行检测,金日就让我们来了解一下轮廓仪的工作原理与应用吧。轮廓仪工作原理轮廓仪是一种双坐标测量仪器。仪器传感器相对于测量的工件台以恒定速度滑动。传感器的触针检测测量仪表的几何变化,并分别在X和Z方向上对其进行采样,并将其转换为电信号。电信号被放大和处理,然后转换成数字信号并存储在计算机系统的存储器中。计算机以数字方式过滤原始表格的轮廓,分离表面并计算粗糙度分量,测量结果为计算符号。某个曲线的实际值及其与参考点的坐标,或放大的实际轮廓曲线。测量结果通过显示器输出,也可以由打印机输出。轮廓仪应用轮廓仪广范用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光学元件等行业适用于研究机构、大学、计量机构和企业计量室。在汽车,摩托车和制冷行业,它可以测量活塞,活塞销,齿轮的总线参数和汽车,摩托车和压缩机的阀门柱塞,可以测量各种倾斜部件的参数。在轴承工业中,内护套环的密封槽的形状(角度,倒角R,槽深,槽宽等);各种滚子轴承的滚子和套圈母线的冠部,角度和对数曲线;电机轴,圆柱销,活塞销,滚针轴承,圆柱滚子轴承。支持连接MES系统,数据可导入SPC。福建芯片轮廓仪

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我们应该如何正确使用轮廓仪?一、准备工作1.测量前准备。2.开启电脑、打开机器电源开关、检查机器启动是否正常。3.擦净工件被测表面。二、测量1.将测针正确、平稳、可靠地移动在工件被测表面上。2.工件固定确认工件不会出现松动或者其它因素导致测针与工件相撞的情况出现3.在仪器上设置所需的测量条件。4.开始测量。测量过程中不可触摸工件更不可人为震动桌子的情况产生。5.测量完毕,根据图纸对结果进行分析,标出结果,并保存、打印。晶片轮廓仪推荐产品粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量。

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NanoX-2000/3000系列3D光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量(PSI)、白光垂直扫描干涉测量(VSI)和单色光垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的基础上,以其纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。使用范围广:兼容多种测量和观察需求保护性:非接触式光学轮廓仪耐用性更强,使用无损可操作性:一键式操作,操作更简单,更方便

轮廓仪在晶圆的IC封装中的应用:晶圆的IC制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV刻蚀到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程,其中由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的黏附异物和下次均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷,因此必须对光罩和晶圆的表面轮廓进行检测,检测相应的轮廓尺寸。

白光轮廓仪的典型应用:对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 我们的表面三位微观形貌的此类昂方法非常丰富,通常可分为接触时和非接触时两种,以非接触式测量方法为主。

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强大的轮廓仪光电一体软件美国硅谷研发、中英文自由切换光机电一体化软硬件集成三维分析处理迅速,结果实时更新缩放、定位、平移、旋转等三维图像处理自主设定测量阈值,三维处理自动标注测量模式可根据需求自由切换三维图像支持高清打印菜单式参数设置,一键式操作,人机界面个性直观个性化软件应用支持可进行软件在线升级和远程支持服务10年硅谷世界500强研发经验(BDMedicalInstrument)光学测量、软件系统岱美仪器将为您提供全程的服务。NanoX-8000的XY光栅分辨率 0.1um,定位精度 5um,重复精度 1um。晶圆片轮廓仪价格

LED光源通过多珍孔盘(MPD)和物镜聚焦到样品表面上,从而反射光。福建芯片轮廓仪

轮廓仪的性能测量模式:移相干涉(PSI),白光垂直扫描干涉(VSI),单色光垂直扫描干涉(CSI)样品台:150mm/200mm/300mm样品台(可选配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,倾斜:±5°可选手动/电动样品台CCD相机像素:标配:1280×960视场范围:560×750um(10×物镜)具体视场范围取决于所配物镜及CCD相机光学系统:同轴照明无限远干涉成像系统光源:高效LEDZ方向聚焦80mm手动聚焦(可选电动聚焦)Z方向扫描范围精密PZT扫描(可选择高精密机械扫描,拓展达10mm)纵向分辨率<0.1nmRMS重复性*0.005nm,1σ台阶测量**准确度≤0.75%;重复性≤0.1%,1σ横向分辨率≥0.35um(100倍物镜)检测速度≤35um/sec,与所选的CCD福建芯片轮廓仪

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