AVI单元和传感器的方向隔离单元和LFS传感器必须正确安装，这一点很重要取向！LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允许其他方向。为确保连接正确，请按照下列步骤操作：面向LFS传感器的蓝色LED站立。将弟一个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，频率约为0.2Hz。北京晶圆隔振台
TableStable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有独力的防振单元和控制器。可能有多种变化，例如将其用作电子显微镜（SEM）的隔振台，或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。特点：・通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。・安装时不需要参数调整，安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧，因此不需要空气弹簧。・振动状态一目了然。（可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。）-加速度信号可以从外部输出。（通过将BNC连接器连接到示波器，可以看到活动对象正在正常工作。碳化硅隔振台推荐型号AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。
技术指标：频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔离：动态（超过1kHz）透射率：参见附件曲线10Hz以上的透射率<（-40dB）矫正力：垂直+/-8N水平+/-4N静态合规性：大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N最大负载：140公斤尺寸：500x600x84毫米重量：28.5kg电的安全等级：1个能量消耗：蕞大10W负载调整时20W输入电压：115-230VAC+/-10％50-60Hz超载：显示屏指示负载过重或严重失衡监控信号：示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-瑾用于诊断目的前面板显示菜单：显示仪器状态，包括：-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线桌上尺寸：500x600毫米。
AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI400-XL的隔离始于1,2Hz，超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-XL紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。技术指标：频率：：0-800公斤（单个）：400公斤。简单，用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。
LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中，以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离（可传输性），其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP进行测量，增益设置为128（V）和150（H）。输入电压：115/230VAC，50-60Hz功耗：蕞大20瓦频率范围：0.2-20Hz尺寸传感器：255x245x107mm（长x宽x高）电源尺寸：265x155x73mm（长x宽x高）重量传感器：5.9kg供电重量：1.6kg应用：室内防护等级：IP20温度范围：5°C-40°C相对湿度：10–90%（5–30°C）AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。碳化硅隔振台推荐型号
从低频率起提高一个隔振环境。北京晶圆隔振台
AVI400-MAVI400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI400-M的隔离始于1,2Hz，超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。技术指标：频率：1.2-200Hz负载范围：0-800公斤（单件）：400公斤北京晶圆隔振台
岱美仪器技术服务（上海）有限公司坐落于金高路2216弄35号6幢306-308室，是集设计、开发、生产、销售、售后服务于一体，仪器仪表的贸易型企业。公司在行业内发展多年，持续为用户提供整套半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪的解决方案。公司主要产品有半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪等，公司工程技术人员、行政管理人员、产品制造及售后服务人员均有多年行业经验。并与上下游企业保持密切的合作关系。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB以符合行业标准的产品质量为目标，并始终如一地坚守这一原则，正是这种高标准的自我要求，产品获得市场及消费者的高度认可。岱美仪器技术服务（上海）有限公司以先进工艺为基础、以产品质量为根本、以技术创新为动力，开发并推出多项具有竞争力的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪产品，确保了在半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪市场的优势。
