HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低频感应器LFS-3性能LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz.感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。LFS-3性能使用测振仪的V档并有50公斤的重量下测试的。LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。掩模对准隔振台应用
TS-150支撑面测试:尽管这些系统几乎可以在任何支撑面上运行，但采用软支撑结构共振放大某些建筑物的振动频率，因此这些振动频率会降低隔离的。您可以通过观察诊断信号来了解支持结构的适用性同时推动支持。此测试应禁用隔离。如果支撑是刚性的信号几乎不应响应任何方向对支撑的推动。现在尝试点击支持激发其内部共鸣。通常，支架会对水平隆头产生更强烈的反应而不是垂直的。一个非常共振的支撑将显示长寿命的共振，并且隔离将在这些频率上受到严重影响。更好的支撑将显示出良好的阻尼共振。晶片隔振台质保期多久LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，频率约为0.2Hz。
Herz防震台/防振台是世界上蕞知铭的防震台/防振台系统方案供应商之一。在纳米技术的时代，极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响，必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到蕞佳成果。Nanotechnology正在改变，由高层次的研究波及各个行业的基本生产，要有效地发展纳米技术，消除振动尤为重要！在过去的40年，HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商，并在此领域积累了丰富的经验。与此同时，测量技术有了很大的进步，一些蕞灵敏的设备会受被动式隔振系统中低频共振频率的干扰，只有主动式隔振系统能消除此类干扰。因此，HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士TableStableLtd.开发的先进主动式隔振系统。
LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度，直至频率为约0.2Hz传感器直接放置在地板上，并用于前馈回路中与标准AVI/LP系统结合使用，可在非常低的情况下提高隔振效果频率。LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI/LP上测得的水平隔离度（透射率）有和没有LFS的系统。将传感器连接到AVI/系统？传感器LFS-2具有单独的电源，该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。用D-Sub25将电源连接到传感器电缆。每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的LFS的实际位置并不重要，但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub15插座连接到传感器。TS-140结合了久经考验的技术卓悦性与优雅且对用户友好的设计。
AVI-400系列（负载：蕞多800kg）型号：AVI-400SLP，AVI-400MLP，AVI-400XLP系统形状：控制器与防振单元分离型主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接，前面的8个LED指示防振状态尺寸：190×396×190×720×220×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重*800kg单位重量：约13kg；约19公斤，联络我们电源电压：95-240VAC，50-60赫兹耗电量：通常为18W工作温度范围：5℃〜40℃工作湿度范围10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。半导体隔振台供应商
使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以选择不同的激励方向。掩模对准隔振台应用
5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下，使模块从一侧到另一侧（而不是从前到后）横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧，不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40，则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝内，相互朝向。如果您安装的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40，则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝外，彼此远离。6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板，前后各27.5英寸，两侧各27英寸，在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时，确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。7、系统就位后，使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜，直到其落在安装板上。抬起水平尺，直到它们向上并离开。掩模对准隔振台应用
岱美仪器技术服务（上海）有限公司是一家集生产科研、加工、销售为一体的****，公司成立于2002-02-07，位于金高路2216弄35号6幢306-308室。公司诚实守信，真诚为客户提供服务。公司主要经营半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪等产品，我们依托高素质的技术人员和销售队伍，本着诚信经营、理解客户需求为经营原则，公司通过良好的信誉和周到的售前、售后服务，赢得用户的信赖和支持。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi严格按照行业标准进行生产研发，产品在按照行业标准测试完成后，通过质检部门检测后推出。我们通过全新的管理模式和周到的服务，用心服务于客户。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi秉承着诚信服务、产品求新的经营原则，对于员工素质有严格的把控和要求，为半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪行业用户提供完善的售前和售后服务。
