激光位移传感器的测量精度容易受到被测物体表面特征的影响，为了减小测量误差，在整形镜设计中应尽量使出射光斑在有效的测量范围内实现光斑小且均匀。针对传感头小型化设计的要求，半导体激光器体积小、重量轻的优点正好符合这一要求，但其光束质量并不理想，需要对其进行光束整形。半导体激光器快慢轴的光束分布极不对称:快轴发散角较大，半角的典型值为30～40°，光束呈高斯分布，发光范围的半宽度为0.6～0.8μm，慢轴发散角的半角典型值为3～6°，光束分布不规则，发光范围半宽度为50～100μm。因此，在不允许能量损失的情况下，要求整形系统的物方数值孔径(NA)>0.573；但由于光束的快轴能量呈高斯分布，通常取半宽度(FWHM)为20°，此时NA=0.342。系统物距应尽量小一些，但考虑到工艺问题，不宜过小，选定为2.5mm。为了便于设计，将系统倒置，整个系统的主要要求为:工作波长为785±10nm，像方NA=0.342，像距l′=2.5mm，物距l=40～60mm，焦距f=3～4mm。激光技术的应用使得这种传感器具有高分辨率和高灵敏度，能够满足各种精密测量需求。销售激光位移传感器产品使用误区
根据物体表面的散射特性，可确定入射光与成像透镜光轴的夹角。激光入射到被测物体表面，散射光强度成椭球型分布[6]。当入射光垂直入射时，α值越小，成像透镜接收到的散射光强度越大，但角度过小对探测器分辨率要求及制作工艺上都有较高难度，综合考虑取α值为21.8°，由仪器的测量范围±10mm可得到物距为53.85mm。通常情况下，库克三元组有很好的成像效果[7]，因此选择库克三元组作为成像透镜的初始结构进行优化。优化过程中以各个镜片表面的半径为变量，控制厚度在适当范围，同时将像面与光轴的夹角β设为可变，采用CODEV的横向像差与波像差相结合的方式进行优化，得到下面的结果。图3为优化后的成像光学系统宁德激光位移传感器量大从优光谱共焦位移传感器是一种高精度的光学测量仪器，能够实现非接触式的表面形貌测量。
值得一提的是，针对成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统，拉高S方向的MTF值，降低T方向MTF值的实现方式可以包含以下两种：(方式1)成像物镜6自身的S方向MTF值高，而T方向的MTF值低；(方式2)在成像物镜6的T和S方向的MTF值接近时，在成像物镜前或后加入能够引入像散的光学元器件(例如，可以是平板玻璃等)，配合微调成像物镜6与感光元件7之间的相对距离即像距，以达到S方向MTF值高，而T方向的MTF值低的效果。sxfhbxfbxfxhgtxfho哦平yh
在采用方式2的情况下，可以在成像物镜前或成像物镜6后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃)，配合调整成像物镜6与感光元件7之间的距离时，可以在微米量级进行调整。每次调整后，可以进行MTF解析，在判断解析结果满足上述条件时，停止调节。如果调整后发现解析结果不满足上述条件，则继续进行调整。此外，在图1所示的实施例中，反光元件8设置在接收物镜6和感光元件7之间，从而可以提高所述激光位移传感器的内部空间利用率，减小其外形尺寸。在所述激光位移传感器外形尺寸允许的情况下，反光元件8可省略。在测量光斑和成像物镜6之间的带通滤光片5被用来滤除或降低杂散光对测量系统的影响。这些传感器通常具有长寿命和较低的故障率，能够在恶劣的工作环境下正常运行。
在激光位移传感器中，激光束通过调整音叉透过高速上下移动的物镜，在受测对象物上聚集为一焦点，同时反射光也会在小孔位置合集为一点，并使受光元件受光，通过测定物镜的具体的位置，从而准确地测定目标物离参考位置的距离，并不受材质、颜色或倾斜度的影响。图4为感测头的焦点分别为对准和没有对准对象物时的情况。上位机与激光位移传感器中的控制器之间通过RS 232串行口进行通信，串口信号格式为：COMl口、波特率9 600、无奇偶校验、8位数据位、1位停止位，也可以通过手柄控制激光位移传感器中的控制器采集数据。激光位移传感器在精密制造行业中的应用案例。嘉定区激光位移传感器品牌企业
激光位移传感器在半导体行业的应用案例。销售激光位移传感器产品使用误区
根据本发明实施例的激光位移传感器主要包括激光器(例如，可以是CN1 06855391B5激光二极管)1、聚焦透镜2、窗口玻璃3、带通滤光片5、成像物镜(也可称为接收物镜)6、感光元件7以及反光元件8。其中，该激光位移传感器用于对被测物体4进行测量。在图1所示的结构中，省略了激光位移传感器的外壳。实际上，上述窗口玻璃3可以设置在激光位移传感器的外壳上，供激光器所发出的光通过。激光位移传感器的工作过程如下：由激光二极管1发射的激光束通过聚焦透镜2聚焦、窗口玻璃3滤光后，照射在被测物体4的表面形成一个测量光斑，激光束可以垂直入射到被测物体4表面(即垂直入射)，也可与被测物体4表面成一定的角度(即斜入射)。该测量光斑由成像物镜6成像，并在感光元件7形成测量信号。销售激光位移传感器产品使用误区
