1932年,Knoll提出了SEM可成像放大的概念,并在1935年制成了极其原始的模型。1938年,德国的阿登纳制成了一台采用缩小透镜用于透射样品的SEM。由于不能获得分辨率的样品表面电子像,SEM一直得不到发展,只能在电子探针X射线微分析仪中作为一种辅助的成像装置。此后,在许多科学家的努力下,解决了SEM从理论到仪器结构等方面的一系列问题。早期作为商品出现的是1965年英国剑桥仪器公司生产的一台SEM,它用二次电子成像,分辨率达25nm,使SEM进人了实用阶段。生物材料的SEM观察时需要进行适当的前处理。江西扫描电子显微镜价格
SEM样品制备一般原则为:A.显露出所欲分析的位置。B.表面导电性良好,需能排除电荷。C.不得有松动的粉末或碎屑(以避免抽真空时粉末飞扬污染镜柱体)。D.需耐热,不得有熔融蒸发的现象。E.不能含液状或胶状物质,以免挥发。F.非导体表面需镀金(影像观察)或镀碳(成份分析)。镀导电膜的选择,在放大倍率低于1000倍时,可以镀一层较厚的Au,以提高导电度。放大倍率低于10000倍时,可以镀一层Au来增加导电度。放大倍率低于100000倍时,可以镀一层Pt或Au-Pd合金,在超过100000时,以镀一层超薄的Pt或Cr膜较佳。江西扫描电子显微镜价格电子显微镜有助于对多次打印回收利用的粉末进行分析和追踪。
扫描电镜的结构和工作原理:结构。1.镜筒。镜筒包括电子头、聚光镜、物镜及扫描系统。其作用是产生很细的电子束(直径约几个nm),并且使该电子束在样品表面扫描,同时激发出各种信号。2.电子信号的收集与处理系统。在样品室中,扫描电子束与样品发生相互作用后产生多种信号,其中包括二次电子、背散射电子、X射线、吸收电子、俄歇(Auger)电子等。在上述信号中,主要的是二次电子,它是被入射电子所激发出来的样品原子中的外层电子,产生于样品表面以下几nm至几十nm的区域,其产生率主要取决于样品的形貌和成分。
1968年在美国芝加哥大学,Knoll成功研制了场发射电子头,并将它应用于SEM,可获得较分辨率的透射电子像。1970年他发表了用扫描透射电镜拍摄的铀和钍中的铀原子和钍原子像,这使SEM又进展到一个新的领域。扫描电子显微镜类型多样,不同类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。根据电子头种类可分为三种:场发射电子头、钨丝头和六硼化镧。其中,场发射扫描电子显微镜根据光源性能可分为冷场发射扫描电子显微镜和热场发射扫描电子显微镜。由于不能获得分辨率的样品表面电子像,SEM一直得不到发展。
由于扫描电子显微镜具有上述特点和功能,所以越来越受到科研人员的重视,用途日益普遍。扫描电子显微镜已普遍用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。SEM具有多功能性和高质量成像性能,即使是磁性样品或是传统意义上成像非常困难的样品也可以实现好的成像性能,因而备受赞誉。全新Apreo2SEM在原有性能基础之上,进一步优化了超分辨成像能力,并且增设众多新功能提升了其高级功能的易用性。再厉害的研究者,精力也是有限的,即便在自动化设备的辅助下,我们也只能做到部分指标的高通量测试。江西扫描电子显微镜价格
电子显微镜造成测试人员总是会选取典型的区域进行分析观察,一些重要的信息可能就此石沉大海。江西扫描电子显微镜价格
样品制备简单,只要将块状或粉末状的样品稍加处理或不处理,就可直接放到扫描电镜中进行观察,因而更接近于物质的自然状态。可以通过电子学方法有效地控制和改善图像质量,如亮度及反差自动保持,试样倾斜角度校正,图象旋转,或通过Y调制改善图象反差的宽容度,以及图象各部分亮暗适中。采用双放大倍数装置或图象选择器,可在荧光屏上同时观察放大倍数不同的图象可进行综合分析。装上波长色散X射线谱仪(WDX)或能量色散X射线谱仪(EDX),使具有电子探针的功能,也能检测样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子、俄歇电子等。江西扫描电子显微镜价格
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