广东台式电镜电子显微镜系统

电子显微镜是根据电子光学原理，用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。近年来，电镜的研究和制造有了很大的发展：一方面，电镜的分辨率不断提高，透射电镜的点分辨率达到了0.2-0.3nm，晶格分辨率已经达到0.1nm左右，通过电镜，人们已经能直接观察到原子像；另一方面，除透射电镜外，还发展了多种电镜，如扫描电镜、分析电镜等。电子显微镜的分辨本领虽已远胜于光学显微镜，但电子显微镜因需在真空条件下工作，所以很难观察活的生物，而且电子束的照射也会使生物样品受到辐照损伤。透射电镜农业生物样品常用的制备技术有：超薄切片技术、免疫电镜技术、负染色技术、生物大分子电镜技术等。广东台式电镜电子显微镜系统

地质与考古：地层的研究、分析、识别：矿石的分析研究：化石、古尸、古瓷及各种出土文物的分析研究：文物古董的真伪鉴别等。冶金：精密合金的性能和工艺研究；钢铁材料断口分析和夹杂物成分及分布的分析研究；耐高温金属材料及超导材料等的研究；金相分析等。电子元件：各种半导体器件如超大规模集成电路等的失效分析和性能检查；硅单晶等各种半导体材料性能的分析研究；各种开关、电位器．接插件的可靠性研究及耐久性分析；录音磁带．磁粉晶形的分析检查等。广东台式电镜电子显微镜系统扫描式电子显微镜的分辨率主要决定于样品表面上电子束的直径。

扫描电子显微镜(scanningelectronmicroscope，SEM)是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器。具有景深大、分辨率高，成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富，几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。目前，扫描电子显微镜已被普遍应用于生命科学、物理学、化学、司法、地球科学、材料学以及工业生产等领域的微观研究，但在地球科学方面就包括了结晶学、矿物学、矿床学、沉积学、地球化学、宝石学、微体古生物、天文地质、油气地质、工程地质和构造地质等。

    电子束与样品作用，当内层电子被击出后，外层电子掉入原子内层电子轨道而放出X光，不同原子序，不同能阶电子所产生的X光各不相同，称为特征X光，分析特征X光，可分析样品元素成份。分析特征X光的方式，可分析特征X光的能量分布，称为EDS，或分析特征X光的波长，称为WDS。X光能谱的分辨率，在EDS中约有100~200eV的分辨率，在WDS中则有5~10eV的分辨率。由于EDS的分辨率较WDS差，因此在能谱的解析上，较易产生重迭的情形。由于电子束与样品作用的作用体积(interactionvolume)的关系，特征X光的产生和作用体积的大小有关，因此在平面的样品中，EDS或WDS的空间分辨率，受限于作用体积的大小。 电子显微镜探测器是用来收集电子的信号或次级信号的。

电子显微镜（ElectronMicroscope）是采用电子束为光源，照射固体材料，以电子束散射的电子为信号，主要用于对材料表面或内部结构形态形貌进行高分辨成像，包括透射电子显微镜（TEM）、扫描透射电子显微镜（STEM）、扫描电子显微镜（SEM）。电子束轰击固体样品，在其表面或内部发生散射时，各种散射信号被相应探测器采集后，可直接或间接体现固体样品在微观区域独特的物理化学信息，如透射电子（TE结构形体，电子衍射，能量损失谱元素及价态特征），二次电子（SE形貌形态信息），背散射电子（BSE原子序数和相差异），特征X射线(EDX体相元素组分），俄歇电子（AE表面元素组分），阴极荧光（CL电子态信息），等离子激发（EELS元素及价态），电声（电子通道反差）等。微观物理化学结构特征决定材料宏观性能，对其开展精确分析意义重大。扫描电镜在植物方面，可以研究农作物的花粉、果皮、种皮表面花纹及种子内部结构等特征。广东台式电镜电子显微镜系统

电源的稳定性是电子显微镜电镜性能好坏的一个极为重要的标志。广东台式电镜电子显微镜系统

扫描电镜样品用戊二醛和饿酸等固定，经脱水和临界点干燥后,再于样品表面喷镀薄层金膜，以增加二波电子数。扫描电镜能观察较大的组织表面结构，由于它的景深长，1mm左右的凹凸不平面能清所成像，故放样品图像富有立体感。扫描电子显微镜的设计思想和工作原理，早在1935年便已被提出来了。1942年，英国首先制成一台实验室用的扫描电镜，但由于成像的分辨率很差，照相时间太长，所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力，尤其是随着电子工业技术水平的不断发展，到1956年开始生产商品扫描电镜。近数十年来，扫描电镜已普遍地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。广东台式电镜电子显微镜系统

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