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电子显微镜基本参数
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分辨能力是电子显微镜的重要指标,电子显微镜的分辨能力以它所能分辨的相邻两点的较小间距来表示,即称为该仪器的较高点分辨率:d=δ。显然,分辨率越高,即d的数值(为长度单位)愈小,则仪器所能分清被观察物体的细节也就愈多愈丰富,也就是说这台仪器的分辨能力或分辨本领越强。单就放大率(magnification)而言,是指被观察物体经电子显微镜放大后,在同一方向上像的长度与物体实际长度的比值。这是两条直线的比值,有人将放大率理解为像与物的面积比,这是一种误解,势必引起概念上的混淆和计算方法与结果上的混乱。电子显微镜分辨率与透过样品的电子束入射锥角和波长有关。福建钨灯丝电镜电子显微镜系统

透射电镜电子束穿过样品时会携带有样品的信息,TEM的成像设备使用这些信息来成像。投射透镜将处于正确位置的电子波分布投射在观察系统上。观察到的图像强度,I,在假定成像设备质量很高的情况下,近似的与电子波函数的时间平均幅度成正比。若将从样品射出的电子波函数表示为Ψ,则不同的成像方法试图通过修改样品射出的电子束的波函数来得到与样品相关的信息。根据前面的等式,可以推出观察到的图像强度依赖于电子波的幅度,同时也依赖于电子波的相位。虽然在电子波幅度较低的时候相位的影响可以忽略不计,但是相位信息仍然非常重要。河北sem电子显微镜多少钱电子显微镜探测器是用来收集电子的信号或次级信号的。

电子显微镜结构:真空系统:为了保证真在整个通道中只与试样发生相互作用,而不与空气分子发生碰撞,因此,整个电子通道从电子至照相底板盒都必须置于真空系统之内,一般真空度为10-4~10-7毫米汞柱。供电系统:透射电镜需要两部分电源:一是供给电子的高压部分,二是供给电磁透镜的低压稳流部分。电源的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志。所以,对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和各透镜的激磁电流。近代仪器除了上述电源部分外,尚有自动操作程序控制系统和数据处理的计算机系统。

透射电镜高分辨率的图像要求样品尽量的薄,电子束的能量尽量的高。因此可以认为电子不会被样品吸收,样品也就无法改变电子波的振幅。由于在这种情况下样品但但对波的相位造成影响,这样的样品被称作纯相位物体。纯相位物体对波相位的影响远远超过对波振幅的影响,因此需要复杂的分析来得到观察到的图像强度。例如,为了增加图像的对比度,TEM需要稍稍离开聚焦位置一点。这是由于如果样品不是一个相位物体,和TEM的对比度传输函数卷积以后将会降低图像的对比度。扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。

电子束与样品作用,当内层电子被击出后,外层电子掉入原子内层电子轨道而放出X光,不同原子序,不同能阶电子所产生的X光各不相同,称为特征X光,分析特征X光,可分析样品元素成份。分析特征X光的方式,可分析特征X光的能量分布,称为EDS,或分析特征X光的波长,称为WDS。X光能谱的分辨率,在EDS中约有100~200eV的分辨率,在WDS中则有5~10eV的分辨率。由于EDS的分辨率较WDS差,因此在能谱的解析上,较易产生重迭的情形。由于电子束与样品作用的作用体积(interaction volume)的关系,特征X光的产生和作用体积的大小有关,因此在平面的样品中,EDS或WDS的空间分辨率,受限于作用体积的大小。透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了1000倍。浙江电子显微镜系统

扫描电子显微镜具有景深大、图像立体感强、分辨率高、图像范围大以及样品制备过程比较简单等优点。福建钨灯丝电镜电子显微镜系统

分辨率与透过样品的电子束入射锥角和波长有关。可见光的波长约为300~700纳米,而电子束的波长与加速电压有关。依据波粒二象性原理,高速的电子的波长比可见光的波长短,而显微镜的分辨率受其使用的波长的限制,因此电子显微镜的分辨率(0.2纳米)远高于光学显微镜的分辨率(200纳米)。当加速电压为50~100千伏时,电子束波长约为0.0053~0.0037纳米。由于电子束的波长远远小于可见光的波长,所以即使电子束的锥角但为光学显微镜的1%,电子显微镜的分辨本领仍远远优于光学显微镜。光学显微镜的较大放大倍率约为2000倍,而现代电子显微镜较大放大倍率超过300万倍,所以通过电子显微镜就能直接观察到某些重金属的原子和晶体中排列整齐的原子点阵。福建钨灯丝电镜电子显微镜系统

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