江西台扫电子显微镜系统

电子显微镜（ElectronMicroscope）是采用电子束为光源，照射固体材料，以电子束散射的电子为信号，主要用于对材料表面或内部结构形态形貌进行高分辨成像，包括透射电子显微镜（TEM）、扫描透射电子显微镜（STEM）、扫描电子显微镜（SEM）。电子束轰击固体样品，在其表面或内部发生散射时，各种散射信号被相应探测器采集后，可直接或间接体现固体样品在微观区域独特的物理化学信息，如透射电子（TE结构形体，电子衍射，能量损失谱元素及价态特征），二次电子（SE形貌形态信息），背散射电子（BSE原子序数和相差异），特征X射线(EDX体相元素组分），俄歇电子（AE表面元素组分），阴极荧光（CL电子态信息），等离子激发（EELS元素及价态），电声（电子通道反差）等。微观物理化学结构特征决定材料宏观性能，对其开展精确分析意义重大。扫描电子显微镜比光学显微镜具有更大的景深（depthoffocus）。江西台扫电子显微镜系统

扫描电子显微镜是一种大型分析仪器,它普遍应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的,只是在结构和部件上稍有差异而已。在电子扫描中,把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描,把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。两者的扫描速度完全不同,行扫描的速度比帧扫描的速度快,对于1000条线的扫描图象来说,速度比为1000。江西台扫电子显微镜系统SEM的高度灵活性、便捷使用性以及对样品的宽泛适用性，是多用户实验室的理想选择。

为突破光学显微镜的分辨极限，人们想到用电子束做照明束，并与上个世纪三十年代制造出了一台扫描电子显微镜。它的分辨率已经达到了原子水平（≈0.1um），比光学显微镜提高了近两千倍。·电子头发射电子束，电压加速、磁透镜系统汇聚，形成直径约5nm的电子束。·电子束在偏转线圈的作用下，在样品上做光栅状扫描，激发多种电子信号。·探测器收集电子信号，经过电信号放大器加以放大处理，在显示系统上成像。·二次电子的图像信号动态地形成三维图像。

扫描电子显微镜是一种大型分析仪器，它普遍应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的，只是在结构和部件上稍有差异而已。在电子扫描中，把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描，把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。两者的扫描速度完全不同，行扫描的速度比帧扫描的速度快，对于1000条线的扫描图象来说，速度比为1000。扫描电子显微镜具有景深大、图像立体感强、分辨率高、图像范围大以及样品制备过程比较简单等优点。

固定所用的试剂和透射电镜样品制备相同，常用戊二醛及锇酸双固定。由于样品体积较大，固定时间应适当延长。也可用快速冷冻固定。样品经漂洗后用逐级增高浓度的酒精或脱水，然后进入中间液，一般用醋酸异戊酯作中间液。扫描电镜观察样品要求在高真空中进行。无论是水或脱水溶液，在高真空中都会产生剧烈地汽化，不止影响真空度、污染样品，还会破坏样品的微细结构。因此，样品在用电镜观察之前必须进行干燥。干燥的方法有以下几种：空气干燥法。空气干燥法又称自然干燥法，就是将经过脱水的样品，让其暴露在空气中使脱水剂逐渐挥发干燥。这种方法的大优点是简便易行和节省时间；它的主要缺点是在干燥过程中，组织会由于脱水剂挥发时表面张力的作用而产生收缩变形。因此，该方法一般只适用于表面较为坚硬的样品。电磁透镜通过改变线圈电流可改变透镜磁场强度，从而改变透镜焦距。江西台扫电子显微镜系统

电子显微镜基于其低真空和环境扫描的SEM(ESEM)模式。江西台扫电子显微镜系统

电子显微镜的发明，极大推动材料科技发展。电子显微镜中，对电子束进行折射的物质为电场或磁场，中心对称的磁场，其成像性质和高斯透镜几何光学一级近似，被称为磁透镜。磁透镜可以是永磁和电磁。地球沿着南北极贯穿，可以看做一个巨大的磁透镜，磁透镜焦距固定；电磁透镜通过改变线圈电流可改变透镜磁场强度，从而改变透镜焦距。TEM成像采用平行入射电子束照射样品，后续的电磁透镜通过同时聚焦从样品各个像素点发出的不同散射方向透射电子（TE-transmissionelectron），从而对电子束照射区域进行放大成像，通过调节中间的电磁透镜焦距，可实现放大倍数调节，较后用投影镜将物像照射在图像记录或显示上；SEM/STEM使用汇聚电子束照射样品，逐点扫描成像，空间分辨率和汇聚电子束束斑直径相关，通过改变电子束扫描区域大小来改变放大倍数。江西台扫电子显微镜系统