Plessey工程副总裁JohnWhiteman解释说:“GEMINI系统的模块化设计非常适合我们的需求。在一个系统中启用预处理,清洁,对齐(对准)和键合,这意味着拥有更高的产量和生产量。EVG提供的...
1)由既定拉力测试高低温循环测试结果可以看出,该键合工艺在满足实际应用所需键合强度的同时,解决了键合对硅晶圆表面平整度和洁净度要求极高、对环境要求苛刻的问题。2)由高低温循环测试结果可以看出,该键合工...
EVG®820层压系统 将任何类型的干胶膜(胶带)自动无应力层压到晶圆上 特色 技术数据 EVG820层压站用于将任何类型的干胶膜自动,无应力地层压到载体晶片上。这项独特的层压技术可对卷筒上的胶带进行...
EVG®850LT特征利用EVG的LowTemp™等离子基活技术进行SOI和直接晶圆键合适用于各种熔融/分子晶圆键合应用生产系统可在高通量,高产量环境中运行盒到盒的自动操作(错误加载,SMIF或FOU...
阳极键合是晶片键合的一种方法,广FAN用于微电子工业中,利用热量和静电场的结合将两个表面密封在一起。这种键合技术ZUI常用于将玻璃层密封到硅晶圆上。也称为场辅助键合或静电密封,它类似于直接键合,与大多...
真空系统:9x10-2mbar(标准)和9x10-3mbar(涡轮泵选件) 清洁站 清洁方式:冲洗(标准),超音速喷嘴,超音速面积传感器,喷嘴,刷子(可选) 腔室:由PP或PFA制成(可选) 清洁介质...
该技术用于封装敏感的电子组件,以保护它们免受损坏,污染,湿气和氧化或其他不良化学反应。阳极键合尤其与微机电系统(MEMS)行业相关联,在该行业中,阳极键合用于保护诸如微传感器的设备。阳极键合的主要优点...
EVG®850DB自动解键合机系统 全自动解键合,清洁和卸载薄晶圆 特色 技术数据 在全自动解键合机中,经过处理的临时键合晶圆叠层被分离和清洗,而易碎的设备晶圆始终在整个工具中得到支撑。支持的剥离方法...
这使得可以在工业水平上开发新的设备或工艺,这不仅需要高度的灵活性,而且需要可控和可重复的处理。EVG在要求苛刻的应用中积累了多年的旋涂和喷涂经验,并将这些知识技能整合到EVG100系列中,可以利用我们...
放置薄膜应力分析仪需要考虑哪些因素?1. 环境因素:薄膜应力分析仪操作时需要保持比较稳定的环境条件,应该尽量避免强光、震动、温度、湿度等因素对其产生影响,因此应该选择一个相对比较稳定的环境来放置设备。...
位移传感器工作原理:感应位移传感器开机后,开关的传感器表面会产生交变磁场,金属协接近传感器表面时,金属中会产生涡流,吸收振动器的能量,使振动器超出范围根据线性衰减的变化达到不接触检测物的目的。通过电位...
电阻率测量仪的重要性:电阻率测量仪可以对各种材料、元器件的电性参数进行测量和分析,能够为工程师、技术人员以及制造商提供重要的信息和数据,以指导高质量产品的开发和生产。具体来说,电阻率测量仪的重要性表现...