不同刀具材料对碳纤维复合材料的加工有较大的影响.通过合理选择钻头的基体材料和涂层材料,基于正交试验综合分析不同涂层材料、主轴转速及进给速度对钻削轴向力的影响.试验结果表明,涂层材料对轴向力的影响比较大,涂层钻头的钻削轴向力比无涂层YG6X钻头小很多,类金刚石涂层(DLC)钻头较小.TiAIN和TiCN涂层钻头都有不同程度的磨损,DLC钻头的耐磨性和加工质量都远远高于其他涂层.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高，摩擦系数低，结合力好，耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内外不同客户对膜层的多样性要...

如何制备性能优异的超厚DLC 涂层成为亟待解决的科学性难题.另为,DLC 涂层在高温条件下,由于涂层的石墨化,涂层的摩擦学性能将会变差,在实际应用中,如何改善其高温摩擦性能(温度至少达400 ℃),是DLC 涂层得以广泛应用的另一重要指标.本文利用等离子体化学气相沉积法,制备了掺硅的超厚多层DLC 涂层并研究了其在不同环境条件下(包括高温)的摩擦学性能.结果表明,超厚DLC 涂层表面光滑,无明显缺陷,与基底之间的附着力和承载能力分别高达40N 和3.5GPa.苏州类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。浦东新区不锈钢类金刚石厂家为实现低摩擦和高燃油效率,大多数提升式配气机构的发动机采用类金...

DLC膜不*具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.2，是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化，其摩擦系数比较低可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数，但加入H能提高润滑作用，环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说，DLC膜与传统的硬质薄膜（如上述的TiN、TiC、TiAlN等）相比，在摩擦系数方面具有明显优势，这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。国此，DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备...

类金刚石涂层和其它相关涂层的检测结构和性能 采用阴极电弧离子镀和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)相结合的技术方法,在304不锈钢基体上分别沉积制备了Ti/DLC和Ti/Ti N/Ti Al N/DLC复合涂层。选用原子力显微镜、拉曼光谱对涂层的形貌和结构进行表征测试。同时,利用显微硬度计、划痕测试仪系统地分析了涂层的显微硬度和界面结合性能,并研究了其摩擦磨损行为。上海英屹涂层技术有限公司是一家专业的涂层厂家 拥有国外先进的涂层设备和涂层技术支持 能够提供涂层研发 个性化涂层的解决方案。类金刚石镀膜方法与流程。山东塑胶模类金刚石厂家介绍了采用物理相沉积(PVD)技术制备类金刚石涂层的方法,...

在刀具上沉积类金刚石(DLC)薄膜的关键技术问题是如何提高DLC薄膜的附着力,以发挥DLC薄膜在刀具涂层领域的优势.本文通过对微型钻头表面进行不同的化学预处理后利用射频等离子体化学气相沉法沉积DLC薄膜,对影响膜基附着力的内在规律进行了探讨.结果表明:采用简单酸碱腐蚀(先后使用NaOH溶液和HNO3溶液进行腐蚀)对DLC薄膜附着力的提高有一定作用,而综合腐蚀(首先使用酸碱腐蚀,然后使用Murakami试剂腐蚀)的效果更佳;此外,使用Murakami试剂腐蚀时间过长(超过6min)会影响钻头本体的机械强度.实验结果对于DLC薄膜作为微型钻头涂层的应用具有很好的指导意义.上海英屹涂层技术有限公司引...

类金刚石薄膜（diamond-likecarbon,DLC）是一种亚稳态的非晶碳薄膜，具有一系列类似于金刚石的多种优异性能，如高硬度、低摩擦系数、高耐磨耐蚀性、高热导率、在可见到紫外光范围内透明、良好的绝缘性和化学稳定性、优异的生物兼容性及表面光滑等，可多用于机械、电子、光学、医学等领域。本项目制备的类金刚石薄膜具有质量稳定，与基体结合强，硬度、弹性模量、摩擦系数和透光性可调控，耐摩擦磨损和热稳定性好等综合优良性能。制备工艺方法具有成膜速率高，可实现低温、大面积沉积。所制备的类金刚石薄膜，与金刚石相比具有更高的性能价格比。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀...

以等离子体化学气相沉积技术在硬质合金刀具表面制备了类金刚石(DLC)涂层.研究了DLC涂层刀具和无涂层刀具的硬度,不同载荷、不同转速下两种刀具的摩擦磨损性能,以及在水润滑和油润滑条件下DLC涂层刀具的滑动摩擦行为.结果表明,DLC涂层刀具的平均硬度为2HV,比无涂层刀具提高了膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高，摩擦...

DLC膜的成分、结构和性能不同。类金刚石碳膜(Diamond-likecarbonfilms，简称DLC膜)作为新型的硬质薄膜材料具有一系列优异的性能，如高硬度、高耐磨性、高热导率、高电阻率、良好的光学透明性、化学惰性等，可用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域，具有良好的应用前景。我们开发了等离子体-离子束源增强沉积系统，并同过该系统中的磁过滤真空阴极弧和非平衡磁控溅射来进行DLC膜的开发。该项技术用于电子、装饰、宇航、机械和信息等领域，用于摩擦、光学功能等用途。目前在我国技术正处于发展和完善阶段，有巨大市场潜力。上海英屹涂层技术有限公司提供各种PVDCVD涂层。昆山类金刚石涂层厂家 ...

类金刚石(DLC)膜良好耐磨损、耐腐蚀等性能为研发高寿命人工关节提供了新希望。分别综述了采用常规摩擦学方法对DLC膜在钴铬合金、不锈钢、钛合金、超高分子量聚乙烯(UHMWPE)等人工关节材料表面和采用模拟试验机方法对DLC膜、耐腐蚀性的应用和研究进展，对DLC膜失效机理和发展趋势进行了总结和展望。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。上海类金刚石涂...

类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好,并且可以用来制作复杂、异型刀具,是未来刀具的一个重要发展方向.本文介绍了DLC膜的表面显微结构和Raman光谱并列举了DLC的制备方法(包括磁控溅射、离子束沉积、脉冲激光沉积、真空阴极电弧沉积、等离子体增强型化学气相沉积)与分类.从酸蚀法、施加过渡层、表面微喷砂处理和掺杂4个方面分析如何提高膜基结合力,探讨了DLC膜的摩擦性能受湿度、温度和加工条件的影响.例举了几个国内外DLC涂层硬质合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之处,提出了下一步研究工作的重点是优化DLC膜的制备工艺、提高膜基结合力和热稳定性...

类金刚石薄膜（diamond-likecarbon,DLC）是一种亚稳态的非晶碳薄膜，具有一系列类似于金刚石的多种优异性能，如高硬度、低摩擦系数、高耐磨耐蚀性、高热导率、在可见到紫外光范围内透明、良好的绝缘性和化学稳定性、优异的生物兼容性及表面光滑等，可多用于机械、电子、光学、医学等领域。本项目制备的类金刚石薄膜具有质量稳定，与基体结合强，硬度、弹性模量、摩擦系数和透光性可调控，耐摩擦磨损和热稳定性好等综合优良性能。制备工艺方法具有成膜速率高，可实现低温、大面积沉积。所制备的类金刚石薄膜，与金刚石相比具有更高的性能价格比。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀...

以等离子体化学气相沉积技术在硬质合金工具表面制作了类钻石(DLC)涂层。研究了DLC涂层工具和无涂层工具的硬度，研究了不同负荷、不同转速下两种工具的摩擦磨损性能以及在水润滑和油润滑条件下DLC涂层工具的滑动摩擦行为。结果，DLC涂层工具的平均硬度为2HV，比无涂层工具提高了膜硬度高的涂层摩擦系数低于结合力优异的耐腐蚀性高的耐磨性高的涂层工具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层不能镀层的工件内孔的问题。公司早已应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机构件等领域。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高，摩擦系...

热泵、空调和制冷系统中需寻找新的、环保的制冷工质,CO2作为自然制冷工质在热泵系统中受到人们的关注,但CO2冷媒由于其运行压力高,在旋转式压缩机运用中需解决滑片磨耗大的问题。本文通过在滑片上进行DLC膜涂层,研究滑片上DLC涂层的各种特性,并通过压缩机实机进行耐久试验。结果表明,通过控制DLC涂层的工艺,可以得到低摩擦系数、高硬度的耐磨滑片,满足CO2压缩机的使用需要。上海英屹涂层技术有限公司能够提供涂层研发 个性化的涂层解决方案。类金刚石(DLC)薄膜的关键技术问题是如何提高。温州金刚石类金刚石涂层厂类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)涂层具有许多与金刚石涂层相似的优异...

为实现低摩擦和高燃油效率,大多数提升式配气机构的发动机采用类金刚石碳(DLC)涂层挺杆.但是,由于低黏度机油的使用和更高的发动机输出功率要求,使得摩擦学环境变得更为严苛,因而对涂层的坚固耐用性提出了更高的要求.为获得较高的涂层效率并提高耐磨性,利用等离子体辅助化学气相沉积法开发了添加5％～9％Si的Si-DLC涂层挺杆,尽管Si-DLC硬度和粘着力等机械性能有所下降,但其热稳定性和耐磨性比DLC涂层有极大提高.Si阻碍了DLC涂层的石墨化,涂层表面的薄层氧化硅起到了阻碍氧化或快速导热的作用.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD...

类金刚石涂层是含有类似金刚石结构的非晶碳膜，也是我们在这里真正需要介绍的一种。DLC膜的基本成分是碳，由于其碳的来源和制备方法的差异，DLC膜可分为含氢和不含氢两大类。DLC膜是一种亚稳态长程无序的非晶材料，碳原子间的键合方式是共价键，主要包含sp2和sp3两种杂化键，在含氢DLC膜中还存在一定数量的C-H键。我们从1996年起开始磁过滤真空弧及沉积DLC膜研究，正在完善工业化技术。如等离子体源沉积法、离子束源沉积法、孪生中频磁控溅射法、真空阴极电弧沉积法和脉冲高压放点等上海英屹涂层技术有限公司提供专业的一条龙涂层服务。嘉兴类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。绍兴金刚石类金刚石哪家便宜...

增压汽油发动机为例,在发动机活塞销和气门挺柱表面成功应用类金刚石(DLC)涂层,并系统考察了DLC涂层对零部件摩擦损失及可靠性的影响.试验结果表明,气门挺柱采用DLC涂层,气门机构摩擦损失可以减少29%,平均摩擦有效压力FMEP降低0.03bar;活塞销表面采用DLC涂层,活塞组摩擦损失可以减少11%,平均摩擦有效压力FMEP降低0.055bar.DLC活塞销和DLC气门挺柱均通过450小时标准耐久试验循环试验,表面DLC涂层未出现大面积脱落想象.DLC涂层可以显著提高零部件表面耐磨性,磨损量明显低于原机无涂层零部件. 上海英屹涂层技术有限公司能够提供专业的涂层研发 个性化的涂层解决方案。类金...

类金刚石涂层和其它相关涂层的检测结构和性能 采用阴极电弧离子镀和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)相结合的技术方法,在304不锈钢基体上分别沉积制备了Ti/DLC和Ti/Ti N/Ti Al N/DLC复合涂层。选用原子力显微镜、拉曼光谱对涂层的形貌和结构进行表征测试。同时,利用显微硬度计、划痕测试仪系统地分析了涂层的显微硬度和界面结合性能,并研究了其摩擦磨损行为。上海英屹涂层技术有限公司是一家专业的涂层厂家 拥有国外先进的涂层设备和涂层技术支持 能够提供涂层研发 个性化涂层的解决方案。关于类金刚石硬度分析。徐州类金刚石厂家增压汽油发动机为例,在发动机活塞销和气门挺柱表面成功应用类金刚石(...

为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响.采用高分辨率的显微镜观察膜层的表面形貌;Raman光谱分析sp2/sp3键角混乱度和sp2团簇信息,以及sp3-C/sp2-C的比例关系;纳米压痕仪测量膜层的硬度;高速铣削实验表征涂层刀具的切削性能并分析刀具的失效原因及工件的加工质量.结果表明,Ta-C涂层表面致密光滑,表面颗粒细小,无明显凹坑,结合力分别满足工业等级HF1和HF2.在高速、干式切削铝合金条件下,Ta-C涂层铣刀的切削寿命是含氢DLC涂层铣刀的铝合金材料粘附效果更佳,切...

以等离子体化学气相沉积技术在硬质合金工具表面制作了类钻石(DLC)涂层。研究了DLC涂层工具和无涂层工具的硬度，研究了不同负荷、不同转速下两种工具的摩擦磨损性能以及在水润滑和油润滑条件下DLC涂层工具的滑动摩擦行为。结果，DLC涂层工具的平均硬度为2HV，比无涂层工具提高了膜硬度高的涂层摩擦系数低于结合力优异的耐腐蚀性高的耐磨性高的涂层工具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层不能镀层的工件内孔的问题。公司早已应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机构件等领域。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高，摩擦系...

近几年来,在经济全球化背景下,我国的制造业获得了空前发展的机遇,而现代切削刀具成了提升制造业技术水平的关键因素之一,不断提高的切削加工要求和被加工材料的能级以及减少切削加工对环境污染等有力地推动了用于现代切削刀具涂层技术的发展.膜系材料多元合金化,涂层工艺组合的多样化中出现的TiAlN、TiAlCN、CrSiN等多元复合涂层和多层涂使刀具获得了高耐磨、低摩擦、热稳定性好和抗氧化能力强等良好的综合性能,有效提升了现代切削刀具的性能;纳米组分和纳米薄膜涂层的显微结构使得难加工材料的切削得到了新的解决办法。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的P...

以等离子体化学气相沉积技术在硬质合金工具表面制作了类钻石(DLC)涂层。研究了DLC涂层工具和无涂层工具的硬度，研究了不同负荷、不同转速下两种工具的摩擦磨损性能以及在水润滑和油润滑条件下DLC涂层工具的滑动摩擦行为。结果，DLC涂层工具的平均硬度为2HV，比无涂层工具提高了膜硬度高的涂层摩擦系数低于结合力优异的耐腐蚀性高的耐磨性高的涂层工具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层不能镀层的工件内孔的问题。公司早已应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机构件等领域。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高，摩擦系...

多年来，对需要提高涂层光洁度的解决方法是采用过滤式电弧气相沉积工艺。该方法采用磁场过滤器来驾驭碳离子轰击刀具，而中性的碳颗粒却不受控制而轰击磁场管道。阴极与真空腔的夹角小于90°。碳颗粒将沿直线运动而轰击弯曲的磁场管道，而碳离子将在磁场的作用下沿管道抵达基体材料。该方法的缺点是沉积速度相对较慢、沉积区域相对较小，以及每次沉积的设备成本较高。此外，一些碳颗粒仍可在管道内偏转并抵达基体材料。大约10年前，出现了一种新的沉积工艺：高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）。采用HiPIMS工艺，可同时兼得离子产生和获得光滑溅射涂层的益处。但直到比较近这种方法才可使用石墨靶。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先...

为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响.采用高分辨率的显微镜观察膜层的表面形貌;Raman光谱分析sp2/sp3键角混乱度和sp2团簇信息,以及sp3-C/sp2-C的比例关系;纳米压痕仪测量膜层的硬度;高速铣削实验表征涂层刀具的切削性能并分析刀具的失效原因及工件的加工质量.结果表明,Ta-C涂层表面致密光滑,表面颗粒细小,无明显凹坑,结合力分别满足工业等级HF1和HF2.在高速、干式切削铝合金条件下,Ta-C涂层铣刀的切削寿命是含氢DLC涂层铣刀的铝合金材料粘附效果更佳,切...

介绍了采用物理相沉积(PVD)技术制备类金刚石涂层的方法,、具有良好的热传导率、极低的摩擦系数、优异的电绝缘性能等.类金刚石薄膜(DLCFilms)是近年来兴起的一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料,因其优异的减摩和抗磨性能,在摩擦学领域获得了应用,是一种与金刚石涂层性能相似的新型薄膜材料.DLC涂层的性能研究大多集中在它的摩擦学特性和结合力性能,并且作为的涂层材料已被应用于汽车、模具、刀具等领域.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高，摩擦系数低，结合力好，耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可...

类金刚石涂层是含有类似金刚石结构的非晶碳膜，也是我们在这里真正需要介绍的一种。DLC膜的基本成分是碳，由于其碳的来源和制备方法的差异，DLC膜可分为含氢和不含氢两大类。DLC膜是一种亚稳态长程无序的非晶材料，碳原子间的键合方式是共价键，主要包含sp2和sp3两种杂化键，在含氢DLC膜中还存在一定数量的C-H键。我们从1996年起开始磁过滤真空弧及沉积DLC膜研究，正在完善工业化技术。如等离子体源沉积法、离子束源沉积法、孪生中频磁控溅射法、真空阴极电弧沉积法和脉冲高压放点等上海英屹涂层技术有限公司提供专业的一条龙涂层服务。闵行类金刚石涂层公司。湖州合金模类金刚石公司汽车活塞类涂层利用摩擦磨损试验...

可在DLC涂层内加入钨（W-C∶H）之类的金属（此处C为碳，H为氢）；还可以加入其他元素如硅(Si-DLC)来改变涂层的摩擦系数或抗温性能。一种已用于切削刀具的复合涂层为高硬度的氮化物涂层（如TiAlN）加上较软的、具有润滑功能的顶层涂层（如W-C∶H）。因为排屑的改善，这种复合涂层在攻丝和钻削应用中显示出优异的效果。本文将重点讨论一种被称作四面体非晶碳(ta-C)的DLC涂层 上海英屹涂层技术有限公司是一家专业的涂层公司 能够提供涂层研发 个性化解决涂层解决方案。北京类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。镇江金属表面类金刚石哪个好涂层刀具结合了基体**度高韧性以及涂层高硬度高耐磨性的特...

类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好,并且可以用来制作复杂、异型刀具,是未来刀具的一个重要发展方向.(包括磁控溅射、离子束沉积、脉冲激光沉积、真空阴极电弧沉积、等离子体增强型化学气相沉积)与分类.探讨了DLC膜的摩擦性能受湿度、温度和加工条件的影响.例举了几个国内外DLC涂层硬质合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之处,提出了下一步研究工作的重点是优化DLC膜的制备工艺、提高膜基结合力和热稳定性以及加强DLC涂层硬质合金刀具的磨损机理研究.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-C...

以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌有较大的影响.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高，摩擦系数低，结合力好，耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内...

类金刚石的光学性能及应用。DLC薄膜具有良好的光学透明度，宽的光学带隙，在可见光区通常吸收率高，不透明，但是在红外区和微波频段则具有很高的透过率和较低的吸收率。由于DLC薄膜具有光谱宽透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点，可以作为多种光学材料如硅、锗、玻璃、硫化锌等的增透/保护膜，起到抗磨损、耐腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。国外已相继将其应用在太阳能硅电池、高功率二氧化碳激光器窗口、潜望镜红外窗口、陆瞄准具红外窗口、飞机前视红外窗口、导弹头罩窗口和宇航探测器等方面。类金刚石在机械性能与应用。DLC薄膜具有很高的硬度和弹性模量，不同的沉积方法制备的DLC薄膜硬度差异很大，与金刚石相当。...

采用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC膜层,研究了偏压的变化对膜层结构及主要力学性能的影响.利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米压入仪、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析检测了DLC膜结构与性能.结果表明:偏压的提高,有利于改善DLC膜的表面光洁度及致密性,DLC膜表面均方根粗糙度Rq由不施加偏压时的9nm降低至偏压为-350V的7nm;致密性的提高使沉积速率略有下降,膜层厚度减小.偏压的增加,DLC膜内部sp3含量先增加后减小趋势,在偏压为-250V时,DLC膜中sp3含量比较高.偏压的增大,DLC膜的硬度、杨氏模量和摩擦磨损等主要力学性能均呈先增大后减小的趋势,并在偏压为...