真空镀膜设备真空装置自动控制中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同,因此,从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能,真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。因此,一个配置齐全的真空计,不单能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正,而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制,按设定压力值进行压力自动调节,还能将测量值打印记录,并与上位机进行通信联系,甚至还能进行远距离...
真空计是应用真空中热传导与真空度有关的原理测量真空。适用于300 Pa -0.1Pa范围内的真空测量和控制,采用ZJ-54D直插式或ZJ54DK快卸式(由用户订购时选择)金属热偶规管,在机械泵测试、真空冶炼、真空浸渍、空调冰箱线等工业和科研有广泛应用。真空计按测量性质可分为对的真空计和相对真空计。所谓对的真空计就是通过测量物理量本身确定压力的一种真空计,例如U型压力计、压缩式真空计就是对的真空计。真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管,用纱布拭去橡皮管的油脂,再用塞头堵塞内经,置于干燥、通风、避光处保存。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计会成为热传导真空计。重庆电阻型真空计厂家隔膜真...
电阻真空计(thermocouplevacuumgauge)的工作原理是:当气体分子平均自由程大于容器的线度时,它的热传导系数正比于压强。将一根金属丝通以恒定的加热电流时,由于气体导走了一部分热量,故当达到热平衡时,金属丝便保持一定的温度。气体的压强高,导走的热量多,平衡温度就低。所以金属丝的温度是气体压强的函数,可以通过测量金属丝的温度而求得压强的大小。热偶真空计即是用一电阻来测量热丝的温度从而得到压强值的真空计。电阻由两种不同的金属丝连接而成,当两接点温度不同时就产生热电势,温差越大,热电势越高。电阻的一个接点与热丝相接触,另一接点处于室温,这样经过校正,即可由热电势的值转换为压强的值。它...
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。要保持化学物质的纯度,化学物质受污染会影响测量的精度。皮拉尼真空计测得压力值随着一次干燥过程的进行,逐渐在减小。潍坊指针式真空表厂家电话热...
真空镀膜设备真空装置自动控制中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同,因此,从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能,真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。因此,一个配置齐全的真空计,不单能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正,而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制,按设定压力值进行压力自动调节,还能将测量值打印记录,并与上位机进行通信联系,甚至还能进行远距离...
电阻真空计也称热电阻真空计或皮拉尼真空计,由电阻规管和测量仪表单元组成。现以定温式电阻真空计为例说明其测量原理。所谓定温式就是利用加热电源的自动补偿功能,在测量过程中保持热丝温度不变,也就恒定了热丝的电阻。在电阻规管里有一个电阻随温度变化的热丝,给热丝通电发热,若炉内气体较多,气体压力P就大,气体分子从热丝上传走的热量就多,热丝温度降低,热丝电阻也就随之减小,若取热丝两端电压V或流过热丝的电流I值作为补偿参数,加热电源系统会启动补偿功能,自动提高加热电压或电流,使其热丝温度保持不变,即恒定了热丝的电阻值。利用在一定温度下,补偿电压V或电流I与气体压强P的函数关系,就可计算出气体压强(真空度)。...
麦氏真空表又名麦克劳真空计(也叫转动式压缩真空计),可以通过本身的参数,直接算得压强值,所以它除了进行压强测量外,还可以作为“对的真空计”用来校验一些相对真空计,广泛应用于中央空调溴化锂制冷机组、冶金、金属镁冶炼、石油化工、真空炉、真空干燥箱、电子管、高压电力设备、医药、科学实验、教育研究及计量院等。主要用于真空工业生产中对低真空的测量。当测量完毕后,应及时的关闭真空计与测量系统之间的阀门,将手轮退到拧不动为止,把杠杆退还到起始位置即可。真空计传感器通常可用异丙醇清洗。杭州数显式电阻真空表厂家推荐本实用新型公开了一种电阻真空计校准电路,包括真空传感器,A/D采集芯片和单片机;真空传感器输出的电...
测量真空度时(A)以旋转手轮进行测量时,从真空计上方看手轮,顺时针旋转的是提升化学物质,旋转进度必须缓慢,当抽气管(也称比较管)中汞面升到SET设定处,再看右侧测量管中的汞面位置,其相对应的读数,即为系统的真空度,(B)以杠杆式测量的,左手按住平衡杆,右手将杠杆扳出并向下匀速掀下,让抽气管中汞面升至SET设定处,(在极限真空时,汞面升到SET设定处时,杠杆会自动地停留在这个位置),再看右侧真空度数。(C)对于PM-6型真空计的读数,低真空的测量方式与A,B两种一样,左侧粗真空的测量方法是让右侧测量管中的汞面升到测量管下端的“0”位线,然后再看左侧比较管中的汞面所对应的读数,即为系统的粗真空度。...
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。要保持化学物质的纯度,化学物质受污染会影响测量的精度。采用支撑式或杠杆式的真空计,请将三根支撑杆拧上,选择一个合适的台面。潍坊带控制型真空...
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。要保持化学物质的纯度,化学物质受污染会影响测量的精度。真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管,用纱布拭去橡皮管的油脂,再用塞头堵塞内经,...
对于使用进口电阻真空计时如何保证测量吸气剂放气量的精度这一问题进行了探索。首先通过对膨胀法标准装置的改进、提高极限真空、提高静态保持的真空度、改进取气方法等项措施,提高了校准精度。使校准误差控制在不大于±10%以内。同时又讨论了测量时的环境温度、气体种类、真空计的灵敏度、热丝的污染等因素对仪器测量精度的影响和消除方法。薄膜电阻真空计的测量范围为1托~1000托,线性测量,测量精度优于5%,为全压强测量,测量值受被测气体种类影响较小,引言利用集成电路平面工艺在硅膜片上制作四个等值电阻,组成惠斯登电桥。真空计一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化气压的测量。青岛数显电阻真空计厂家电话电阻真空...
麦氏真空表又名麦克劳真空计(也叫转动式压缩真空计),可以通过本身的参数,直接算得压强值,所以它除了进行压强测量外,还可以作为“对的真空计”用来校验一些相对真空计,广泛应用于中央空调溴化锂制冷机组、冶金、金属镁冶炼、石油化工、真空炉、真空干燥箱、电子管、高压电力设备、医药、科学实验、教育研究及计量院等。主要用于真空工业生产中对低真空的测量。当测量完毕后,应及时的关闭真空计与测量系统之间的阀门,将手轮退到拧不动为止,把杠杆退还到起始位置即可。空泵用真空计还配置数字接口或者触碰显示器。德州皮拉尼真空表销售厂家电阻真空计(thermocouplevacuumgauge)的工作原理是:当气体分子平均自由...
环境温度的变化会直接影响到电阻真空计的测量误差。电阻式真空计对于微弱的光和热以及振动都很灵敏,引起的误差也很明显,而且不同的类型的电阻真空计(定压、定温、定流等),温度的影响也不尽相同。因此电阻真空计在实际使用中,需要采取各种补偿法来克服环境温度的影响。电阻真空计的规管使用时间长了之后也会导致测量误差,这个主要是由于规管的热丝发生了疲劳现象。如蒸镀过程中,规管热丝被蒸镀上金属物,导致电阻温度系数变化而引起误差甚至使规管失效无法测量,或者热丝由于温度较高且在低真空度下工作,而导致氧化,适应系数改变,也会导致极大的误差,甚至热丝被烧断。电阻真空计配用的传感器抗沾污、抗氧化、结实、不怕气流冲击与振动...
真空计是应用真空中热传导与真空度有关的原理测量真空。适用于300 Pa -0.1Pa范围内的真空测量和控制,采用ZJ-54D直插式或ZJ54DK快卸式(由用户订购时选择)金属热偶规管,在机械泵测试、真空冶炼、真空浸渍、空调冰箱线等工业和科研有广泛应用。真空计按测量性质可分为对的真空计和相对真空计。所谓对的真空计就是通过测量物理量本身确定压力的一种真空计,例如U型压力计、压缩式真空计就是对的真空计。真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管,用纱布拭去橡皮管的油脂,再用塞头堵塞内经,置于干燥、通风、避光处保存。隔膜真空计是利用隔膜在气体分子作用下发生变形而测量压强的真空计。菏泽ZDJ-8型真空表直...
对于使用进口电阻真空计时如何保证测量吸气剂放气量的精度这一问题进行了探索。首先通过对膨胀法标准装置的改进、提高极限真空、提高静态保持的真空度、改进取气方法等项措施,提高了校准精度。使校准误差控制在不大于±10%以内。同时又讨论了测量时的环境温度、气体种类、真空计的灵敏度、热丝的污染等因素对仪器测量精度的影响和消除方法。薄膜电阻真空计的测量范围为1托~1000托,线性测量,测量精度优于5%,为全压强测量,测量值受被测气体种类影响较小,引言利用集成电路平面工艺在硅膜片上制作四个等值电阻,组成惠斯登电桥。数显隔膜真空计同时具有科学记数法读数和常规直读记数。府谷县皮拉尼电阻真空表多少钱真空计开始执行任...
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。麦氏真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。要保持化学物质的纯度,化学物质受污染会影响测量的精度。麦氏真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管,用纱布拭去橡皮管的油脂,再用塞头堵...
在数字真空计的使用过程中,影响电子真空计工作的较常见问题是传感器污染。传感器区域中的机油和其他污染物可能会影响传感器检测真空度变化的能力。所有电子真空计都会受到油污染。机油污染通常是可以避免的,不在保修范围内。油存在于所有空调/制冷系统中,并可在排空过程中从系统中抽出。在将电子真空计连接到阀门上的侧端口之前,尽量真空充注阀拆下检修接头芯,并将系统拉至28“Hg以下。这将使您能够正确地将系统与泵隔离,并减少系统或真空泵的机油污染传感器的可能性。如果真空计传感器被机油污染,则会在传感器端部的橡胶密封件中看到机油迹象。真空读数也将高于预期值。在某些特殊污染的情况下,显示器不会低于大气压力。电阻真空计...
真空计传感器通常可用异丙醇清洗。为了保持真空计传感器的准确性,尽量避免机油污染。以下是一些避免污染的建议:1、连接真空计传感器前,检查接头是否有油迹。2、尽可能使传感器保持垂直。3、将仪表直接连接到系统,远离泵。4、在关闭泵之前,用阀门将泵与系统(和压力表)隔离。当压力表安装在泵附近时,这一点非常重要。热真空计检漏,要在它的测量范围的真空度下,才能有效,即只适用于10-1——10-3托的真空度范围。它哪呢过检出较小漏孔为1*10-5托升/秒。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计会成为热传导真空计。古银川DZA1型真空计批发环境温度的变化会直接影响到电阻真空计的测量误差。电阻式真空计对于微...
压缩式真空计是对U型管真空计的重大改进,它是依据理想气体的波义耳定律制成的。由于它首先是由麦克劳提出的,故此种真空计又称为麦克劳真空计(简称麦氏计)。压缩式真空计是测量压力低于1Pa实用的对的真空计,并且从1874年至今仍做为校准其它真空计的主要仪器。测量前将压缩式真空计的导管与被测系统相连接,由于系统内压力各处相等,所以玻璃泡和测量毛细管内的压力与待测系统内的压力p相等。在刻度过程中,h1可选其等于任意值,选定一个值(一条基准线)就可有一对应的刻度尺,因此,同一台压缩式真空计可同时选定几个h1值,就可有对应的几个不同的刻度尺。当电阻真空计测得值与电容真空计测得值接近时可以判断一次干燥过程结束...
测量真空度的装置称为真空计,热传导真空计是依据低压气体的热传导与压力有关这一现象来进行测量的。它可以通过热丝电阻的变化来反映温度的变化,从而反映热传导的变化,用此种测量方法的真空计称为热阻真空计,又称为电阻真空计。也可以直接用热电偶测量热丝的温度变化来反映热传导的变化,称为热偶真空计。DCP 3000电阻真空计是一款杰出的真空规,拥有带背光的大显示屏幕。全新的VSP 3000真空传感器基于热导(电阻)原理,测量范围从常压到10-3 mbar。与被抽介质接触的部分采用抗化学腐蚀塑料(PBT,PUR)和氧化铝陶瓷。环境温度的变化会直接影响到电阻真空计的测量误差。府谷县数字电阻真空表厂家推荐用电离计...
各项指标全符合JJG236-2009 《活塞式压力真空计〉家计量检定规程,运用我厂50年中间技术推出的压力计。两个被检表接头处设计有两个截止阀,截止阀能及时关闭被检系统之间的压力。由于活塞式真空压力计在加减砝码时,必须减压将活塞降下来,而被检精密压力表、压力变送器、传感器等和系统之间若不能被截止,表中的压力会随着活塞升降而升降,则考核不出被检表的回程误差,就不能符合精密压力表、压力变送器、压力传感器等检定规程的要求和耐压检定的要求。在使用之前,先将真空排气管向上拎起,让真空表放在下面。重庆数显电阻真空计厂家电话电阻真空计(thermocouplevacuumgauge)的工作原理是:当气体分子...
测量真空度时(A)以旋转手轮进行测量时,从真空计上方看手轮,顺时针旋转的是提升化学物质,旋转进度必须缓慢,当抽气管(也称比较管)中汞面升到SET设定处,再看右侧测量管中的汞面位置,其相对应的读数,即为系统的真空度,(B)以杠杆式测量的,左手按住平衡杆,右手将杠杆扳出并向下匀速掀下,让抽气管中汞面升至SET设定处,(在极限真空时,汞面升到SET设定处时,杠杆会自动地停留在这个位置),再看右侧真空度数。(C)对于PM-6型真空计的读数,低真空的测量方式与A,B两种一样,左侧粗真空的测量方法是让右侧测量管中的汞面升到测量管下端的“0”位线,然后再看左侧比较管中的汞面所对应的读数,即为系统的粗真空度。...
电阻真空计(thermocouplevacuumgauge)的工作原理是:当气体分子平均自由程大于容器的线度时,它的热传导系数正比于压强。将一根金属丝通以恒定的加热电流时,由于气体导走了一部分热量,故当达到热平衡时,金属丝便保持一定的温度。气体的压强高,导走的热量多,平衡温度就低。所以金属丝的温度是气体压强的函数,可以通过测量金属丝的温度而求得压强的大小。热偶真空计即是用一电阻来测量热丝的温度从而得到压强值的真空计。电阻由两种不同的金属丝连接而成,当两接点温度不同时就产生热电势,温差越大,热电势越高。电阻的一个接点与热丝相接触,另一接点处于室温,这样经过校正,即可由热电势的值转换为压强的值。它...
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。麦氏真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。电阻真空计由电阻规管和测量仪表单元组成。德州皮拉尼电阻真空计生产厂家电阻真空计系利用真空系统中分子数与传导热量有关的原理制造作而成的,...
热导式电阻真空计测量值跟气体成分有关,在相同的真空压力条件下,水蒸气的热导率是氮气的1.6倍,因此在一次干燥过程当中,电阻真空计测得值比电容真空计测得值高约为60%。在接近一次升华干燥终点时,冻干箱内部水蒸气逐渐减少,不凝性气体(以氮气为主)逐渐增多,因此皮拉尼真空计测得压力值随着一次干燥过程的进行,逐渐在减小。当电阻真空计测得值与电容真空计测得值接近时可以判断一次干燥过程结束。但是由于电阻真空计自身存在的一些性能缺点,限制了该方法的使用。电阻真空计易出现老化现象,使其性能降低;电阻真空计有较大的热惯性,压强改变时,其读数会滞后一些时间;其受外界温度的影响较大,必须安装于不易受辐射或对流热影响...
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。要保持化学物质的纯度,化学物质受污染会影响测量的精度。真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管,用纱布拭去橡皮管的油脂,再用塞头堵塞内经,...
在真空装置自动控制中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同,因此,从100000-0.00001的各个真空区域的真空测量均会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能,真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。因此,一个配置齐全的真空计,不单能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正,而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制,按设定压力值进行压力自动调节,还能将测量值打印记录,并与上位机进行通信联系,甚至还能进行远距离真...
众所周知,真空计具有简单、经济、使用方便等特点,在中真空以至低真空测量中都占有重要的地位。然而,我们发现它的规管虽然简单,但由于丝细而长比较脆弱,经不起振动和气流冲击,同时丝表面对污染较为敏感,即使采用白金丝或镀金钨丝,稳定性仍然很差。电阻真空计属热导真空计,产生于1906年,但只是在40年代解决了细丝焊接问题之后,它才得到实际应用。由于它相对皮氏计而言,更为简单、可靠,在许多地方代替了皮氏计。不过,迄今为止,商售热偶真空计单限于定流式一种,一般测盆上限单为100Pa。电阻真空计,基于定温和对流原理,采用稳定型热偶真空规管和现代电子器件,成功地把测量上限扩展至大气压,并弥补了皮氏计的不足之处,...
该电阻真空计(又名电阻真空计)采用本公司潜心研究的经过特殊稳定化处理的ZJ-52T电阻规;同时结合电阻规特性精心调校电子学参数,并采用先进的恒功率定温技术,以及微处理器对规管的非线性线性化处理技术。基于此,该真空计系列具有强的稳定性能、宽广的有效测量量程、快的响应速度、较小的零点/满度漂移等特性。为适应真空设备自动化技术,并集成了强大的继电器触点控制、串行通讯、真空模拟量等扩展功能。特别适用于真空应用设备的粗、低真空测量与控制。 通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计会成为热传导真空计。绍兴数字电阻真空表生产厂家测量真空度时(A)以旋转手轮进行测量时,从真空计上方看手轮,顺时针旋转的是提升...
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒化学物质珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回化学物质珠。运输和使用不慎会导致化学物质珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使化学物质珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对化学物质珠上端玻璃管加微热,利用空气受热膨胀使化学物质珠回流。真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。要保持化学物质的纯度,化学物质受污染会影响测量的精度。真空计是基于皮拉尼真空计的热传导原理设计,配备集成的继电器输出,适合工艺控制。菏泽数...
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