在晶圆切割设备的自动化升级浪潮中,中清航科走在行业前列。其新推出的智能切割单元,可与前端光刻设备、后端封装设备实现无缝对接,通过 SECS/GEM 协议完成数据交互,实现半导体生产全流程的自动化闭环。...
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8 英寸晶圆在功率半导体、MEMS 等领域仍占据重要市场份额,中清航科针对这类成熟制程开发的切割设备,兼顾效率与性价比。设备采用双主轴并行切割设计,每小时可加工 40 片 8 英寸晶圆,且通过优化机械...
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针对5nm芯片200W+热功耗挑战,中清航科开发嵌入式微流道冷却封装。在2.5D封装中介层内蚀刻50μm微通道,采用两相冷却液实现芯片级液冷。实测显示热点温度降低48℃,同时节省80%外部散热空间,为...
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在晶圆切割的批量一致性控制方面,中清航科采用统计过程控制(SPC)技术。设备实时采集每片晶圆的切割尺寸数据,通过 SPC 软件进行分析,绘制控制图,及时发现过程中的异常波动,并自动调整相关参数,使切割...
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流片周期的长短直接影响产品的市场竞争力,中清航科通过流程优化与资源调度,打造出行业的快速流片能力。针对成熟制程,建立 “绿色通道” 服务,将传统 10 - 12 周的流片周期缩短至 6 - 8 周,其...
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芯片封装的发展历程:自 20 世纪 80 年代起,芯片封装技术历经多代变革。从早期的引脚插入式封装,如 DIP(双列直插式封装),发展到表面贴片封装,像 QFP(塑料方形扁平封装)、PGA(针栅阵列封...
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磷化铟(InP)光子晶圆易产生边缘散射损耗。中清航科采用等离子体刻蚀辅助裂片技术,切割面垂直度达89.5°±0.2°,侧壁粗糙度Ra<20nm,插入损耗降低至0.15dB/cm。中清航科SkyEye系...
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面对全球半导体产业链的区域化布局趋势,中清航科建立了覆盖亚洲、欧洲、北美地区的本地化服务网络。其 7×24 小时在线技术支持团队,可通过远程诊断系统快速定位设备故障,配合就近备件仓库,将平均故障修复时...
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在流片项目的风险管理方面,中清航科建立了全流程风险识别与应对机制。项目启动前进行风险评估,识别设计兼容性、产能波动、工艺稳定性等潜在风险,并制定相应的应对预案;流片过程中设置风险预警指标,如参数偏差超...
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中清航科在切割头集成声波传感器,通过频谱分析实时识别崩边、裂纹等缺陷(灵敏度1μm)。异常事件触发自动停机,避免批量损失,每年减少废片成本$2.5M。为提升CIS有效感光面积,中清航科将切割道压缩至8...
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当晶圆切割面临复杂图形切割需求时,中清航科的矢量切割技术展现出独特优势。该技术可精确识别任意复杂切割路径,包括圆弧、曲线及异形图案,通过分段速度调节确保每一段切割的平滑过渡,切割轨迹误差控制在 2μm...
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在流片文件的标准化处理方面,中清航科拥有成熟的转换体系。不同晶圆厂对 GDSII、OASIS 等文件格式的要求存在差异,其自主开发的文件转换工具可实现一键适配,自动检测并修正图层、尺寸偏差等问题。针对...
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