江阴电子洁净厂房规划

加热方案利用空气加热器中通入热水或蒸汽，可以实现空气等湿加热过程，空气加热器通常用于空调系统的一次加热和二次加热，可以提供较大的供热量，并且比较经济。利用电加热器是让电流通过电阻丝发热来加热空气。电加热器有加热均匀、热量稳定、效率高、结构紧凑和控制方便等优点。因此，在空调机组和小型空调系统中应用较广。在恒温精度要求较高的大型空调系统中和净化空调系统中，也经常在送风支管上使用电加热器来控制局部加热，这就是所谓的第三次加热或叫精加热。但是，采用电加热器要耗费较多的电能，所以在加热量要求较大的地方不宜采用。净化室湿度的控制精度对曝光对位影响较大。江阴电子洁净厂房规划

在应用此种方式时，应考虑到障碍物，热源和污染物，排风格栅位置等的影响。此项原则的特点就是低压差，相对高的气流风速。运用此项原则的实例就是位于较低洁净度级别房间内的层流洁净区（单向气流区）。区域的物理分隔原则就是建立隔离装置，对由较低洁净度的房间产生的污染形成不可逾越的屏障，不致进入较高洁净度的净化室。如果是具有有害物的生产过程（个别品种的致病微生物，强烈反应的化学制剂），则应确保该处的气压相对于环境是负压。应予指出，建立负压的要求是与净化室的工作原理相矛盾的，净化室是基于正压差的。为了解决此项矛盾，便采用了另加的气闸室，在净化室周围建立第二层密闭外壳（包括吊顶）使气闸室相对于邻近房间和有害作业具有高的正压。为此，就可以采用隔离工艺，例如，在接触有毒制剂时采用具有负压得隔离装置。无锡医药工厂洁净车间复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

净化室是受控环境，在净化室中的工作人员的行为举止也应该是受控的，包括穿衣打扮。穿在洁净服内的服装类别将影响人员悬浮颗粒和纤维的散发量。用天然纤维如棉或毛制作的个人内衣将散发较多的污染物。如必要宜考虑配置净化室较多的洁净内衣。较多内衣应由密纺的、聚酯类人造纤维制成，以便能有效过滤人体散发的污染。个人物品应留在净化室外的安全区内。首饰（如耳环、手表、链子）等会扎坏净化室较多手套，或使面罩、罩帽或衣服袖子松动，都应予以去除。化妆品、爽身粉、头发定型胶、指甲油或类似物品，在净化室内都不宜使用。化妆品会产生粒子，污染洁净服及净化室正在生产的产品，应禁止使用。这类物品对产品或工艺的风险应予鉴定。

净化室是污染控制的基础，是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在净化室极高的硅晶片制造链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量生产。正确、合理的设计是保证净化室稳定运行的前提，在实际使用中，不正确的维护操作和不规范的管理都会使净化室的空气洁净度降低，造成净化室指标达不到要求。因此，正确科学地进行净化室维护和管理非常重要，并且这要从各方面来完善。经测试分析，净化室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出净化室时尘埃有明显增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入净化室前要做好清洁擦拭等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并制定相应的章程和制度等。净化车间的净化方式：物理式净化方式，吸附性过滤—活性炭。

净化室维持一定的正压是保证净化室不受或少受污染、以维持设计洁净度等级必不可少地条件之一。即便是负压净化室，它也必须有不低于它洁净度级别的相邻房间或套间维持一定地正压，负压净化室的洁净度才能得以维持。净化室正压值是指门窗全部关闭状态下，室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了保证净化室正压值，送风、回风和排风机较好联锁，系统开启时先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时先关排风机，再关回风机和送风机，以防止净化室在系统开启和关闭时受到污染。净化室实际工程中或受限于客观条件。电子医疗洁净厂房建设公司

净化室的建筑主体构造不会因温度变化与振动而发生裂痕。江阴电子洁净厂房规划

10万级净化室的洁净标准1、尘粒较大允许数(每立方米)。2、大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个，大或等于5微米的粒子数不得超过20000个。3、微生物较大允许数。4、浮游菌数不得超过500个每立方米。5、沉隆菌数不得超过10个每培养皿。6、压差：相同洁净度等级的净化室压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻净化室之间压差要≥5Pa，净化室与非净化室之间要≥10Pa。7、温湿度要求：十万级净化室对温度、湿度无特殊要求时，以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜，温度一般控制在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波动±2℃。冬季净化室湿度控制在30-50%，夏季净化室湿度控制在50-70%。8、配电：净化室(区)的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。江阴电子洁净厂房规划