本发明属于光电催化技术领域,具体涉及一种sr掺杂batio3/znte光阴极材料的制备方法,可以实现znte光生载流子的定向分离,并加速界面co2还原反应的活性。背景技术:能源危机和温室效应是人类目前急需解决的关键科学难题,以太阳能驱动的co2还原为解决这些问题提供了一个理想的途径,该反应绿色、**,条件温和,吸引了多国和科研人员的目光。光电催化反应技术整合光催化和电催化技术的优势,从而实现对co2还原更高的效率和更理想的选择性。目前,光电催化co2还原的效率依然很低,太阳能到化学能的转化效率远低于工业应用所需的10%效率,根本原因在于载流子复合严重,界面反应动力学缓慢。为了推进光电催化co2还原技术的实际应用,关键是开发**载流子分离的光阴极材料。znte是一种可见光响应的p型半导体(),其导带边电势()远负于其它半导体,能克服co2还原的热力学势垒,是目前光(电)催化co2还原的理想材料。但是,单一znte光电极材料依然无法**分离光生载流子,大部分载流子在界面反应发生之前复合损失。构建半导体纳米异质结是分离光生载流子的通用途径,但该方法往往需要两个半导体之间的能带匹配,且两相界面需有利于载流子传输。这样,很大地限制了半导体材料的选择。因此。硅光电二极管阵列 选择世华高。苏州硅光电二极管型号
深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。硅光电二极管是当前普遍应用的半导体光电二极管。下面我们谈谈2CU和2DU两种类型硅光电二极管的种类、构造以及应用上的一些问题。种类与构造一、2CU型硅光电二极管:2CU型硅光电二极管是用N型硅单晶制作的,根据外形尺寸的大小它又可分2CU1,2CU2,2CU3等型号,其中2CU1与2CU2体积较大,2CU3稍小些(见图1(a))。这种类型的光电二极管多用带透镜窗口的金属管壳封装,下端有正、负两个电极引线,它们分别与管心中的光敏面(P型层)和N型衬底相连。光线从窗入后经透镜聚焦在管心上,由于这种聚光作用增强了光照强度,从而可以产生较大的光电流。二、2DU型硅光电二极管:2DU型硅光电二极管是用P型硅单晶制作的,从外形上分有2DUA,2DUB等类型,其中2DUA型管子体积较小些(见图1(b))。2DU型硅光电二极管目前多采用陶瓷树脂封装,入射光的窗口不带透镜。这类管子引线共有三条,分别称作前极、后极、环极(见图1(b))。前极即光敏区(N型区)的引线;后极为衬底(P型区)的引线。深圳国产硅光电二极管特性硅光电二极管供应商就找世华高!
4)通过离子注入分别形成n+保护环102和p+有源区103,间距12~20um;5)热氧化生成sio2层104),sio2层上方淀积生长si3n4层105;6)接连刻掉si3n4层和sio2层形成接触孔,然后溅射al。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构。
6)在sio2层104、si3n4层105上刻出接触孔,然后溅射金属,溅射完成后刻蚀形成正面金属电极106;7)在衬底107的背面做金属化处理形成背面电极108。进一步的,所述的衬底107采用电阻率20~100为ohm·cm的低电阻率硅材料;衬底107直接与背面金属形成良好的欧姆接触;所述的高反层109是由折射率~~,通过化学气相淀积或光学镀膜技术生成;所述的外延层101的电阻率为500~1000ohm·cm,外延层101的厚度与耗尽区宽度相当;所述的保护环102为as离子源注入,注入剂量为1e15~2e15。所述的有源区103为b离子源注入,注入剂量为1e15~2e15;所述的正面金属电极106是在溅射al之后刻蚀形成。具体的,包括以下操作:1)以在n+掺杂硅材料作为衬底107,在其上通过化学气相淀积或光学镀膜生成厚度3~5um的高反层109;其中。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展。硅光电二极管是现代化工业自动化中重要的二极管之一。
环极是为了减小光电管的暗电流和提高管子的稳定性而设计的另一电极。光电管的暗电流是指光电二极管在无光照、高工作电压下的反向漏电流。我们要求暗电流越小越好。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。这样的管子性能稳定,同时对检测弱光的能力也越强。为什么加了环极后就可以减小2DU型硅光电二极管的暗电流呢?这要从硅光电二极管的制造工艺谈起。在制造硅光电二极管的管心时,将硅单晶片经过研磨抛光后在高温下先生长一层二氧化硅氧化层,然后利用光刻工艺在氧化层上刻出光敏面的窗口图形,利用扩散工艺在图形中扩散进去相应的杂质以形成P-N结。然后再利用蒸发、压焊、烧结等工艺引出电极引线。硅光电二极管厂家选择世华高!珠海硅光电二极管供应
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其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。因此扩散时间很短;从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。该结构中,衬底材料107不用进行背面处理,直接与金属形成良好的欧姆接触;外延层厚度取决于耗尽区宽度。进一步的,所述外延层101的电阻率为500~1000ohm·cm,外延层101厚度wepi根据耗尽区宽度wd确定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入为入射光入射深度,λ为入射光波长;所述的高反层109由折射率~~;高反层109上开设的刻蚀孔为矩阵排列的圆形孔,或者为同心环形孔。所述的刻蚀孔为均匀分布的圆形孔时,孔直径为10~50um,孔间距为15~50um,圆形孔的总面积为结面积的1/2;所述的刻蚀孔为同心环形孔时,同心环中心与正面金属电极106的中心重合,同心环中心为刻蚀区,相邻环间距5~20um。具体的,高反层109可以为多孔结构,可采用矩阵排列(比如采用正方形阵列排列)。苏州硅光电二极管型号
深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。硅光电二极管是当前普遍应用的半导体光电二极管。下面我们谈谈2CU和2DU两种类型硅光电二极管的种类、构造以及应用上的一些问题。种类与构造一、...