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氦检仪基本参数
  • 品牌
  • 上海妤林
  • 型号
  • 齐全
  • 类型
  • 氦质谱检漏仪
  • 加工定制
  • 产地
  • 上海
  • 厂家
  • 上海妤林真空设备技术有限公司
氦检仪企业商机

氦检仪灵敏度高、操作便捷、低维护,使您放心得到准确可靠的测试结果。产品普遍应用于科研院所、航空航天、动力锂电池,阀门、精密仪表、机械加工、电力、半导体、光伏、真空镀膜、真空热处理等。氦检仪关键部件均为进口,性能稳定可靠。不只灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦检仪是对比性测试仪器,其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离,轰击靶心产生电离,并放大,通过电流大小的判断氦气分子的多少!进入质谱室氦气分子的比例(分流比),还有电气参数的不同,电流相同,漏率可能不同;或漏率不同,电流相同;所有氦检仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少,需要参照物,这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。推车式氦检设备哪家好

氦检仪进展的集中体现在如下几个方面:(1)便携式:较近各国推出的小型便携式氦检仪不只灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的氦检仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。(5)检漏范围宽:现今生产的四极氦检仪,质量范围很宽,不只可检测氦气,而且能检测其它气体。移动式氦检仪价钱质谱室是氦检仪的重点部分,它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。综上所述,氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。

影响氦检仪灵敏度的因素有哪些?氦检仪检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括8个方面:第1,氦检仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与被检漏孔至氦检仪的距离相差太大,漏入氦气在途中损失不相等,这会导致经二者进入氦检仪的氦气量可比性差。第二,进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算,这时也会产生漏率测量误差。第三,所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四,氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五,校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时,所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六,氦检仪的性能不稳定。第七,氦气纯度不稳定或存在误差。第八,之后也就是检漏操作人员的因素,包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高,用得普遍的氦检仪器。氦质谱检漏仪的关键部件均为进口,性能稳定可靠。

氦质谱检漏仪操作注意事项:1、产品放入加压罐中加压时,不能直接拆除加压罐。必须先把加压罐里面的气体排出才能打开。由于加压罐中压力比空气中的压力大以防造成一定的伤害因此在加压过程中不能让不相干的人员靠近并在加压罐上方贴一个警告标识。2、氦气减压阀连接气瓶接口处要锁紧不能有松动情况。以防气体冲击带来伤害。3、产品半检漏时,按压住的组件不能挪动或者强行扳开。以防气体冲击带来伤害。4、在进行重氟油检漏时,产品不能直接放进油箱中,而应把油箱中的托盘拿出,把产品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飞溅烫伤。氦质谱检漏仪的灵敏度,通常指仪器的可检漏率。移动式氦检仪价钱

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计。推车式氦检设备哪家好

氦质谱检漏仪安装时要远离烟尘、注意防潮、定期清洁除尘、定期检查是否灵敏,避免失灵等等。氦质谱检漏仪中都有检测器,一般检测的寿命越长越好,一般来说氦质谱检漏仪的平均寿命在2-5年,抗干扰,误差越小越好。要定期进行滤纸更换,在传感器规定时间内使用,不同的传感器之间可能会有干扰要注意还要注意电磁的干扰。防止元件的老化,及时更换零件。测定漏率型主要是针对密封性要求严格的部件进行检测,如宇宙飞船、火箭液体燃料储料箱、卫星、电子元器件等。推车式氦检设备哪家好

上海妤林真空设备技术有限公司致力于仪器仪表,是一家生产型公司。公司业务分为氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供良好的产品和服务。公司从事仪器仪表多年,有着创新的设计、强大的技术,还有一批专业化的队伍,确保为客户提供良好的产品及服务。上海妤林真空立足于全国市场,依托强大的研发实力,融合前沿的技术理念,及时响应客户的需求。

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