氦检仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。影响氦检仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。当发现氦检仪的灵敏度降低，而氦检仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。氦质谱检漏仪适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。客制化氦气检测设备价钱
氦检仪的捡漏方法：正压法（吸入法）。可分为真空箱法和正压法两张模式，工件内充氦气，吸抢检测可根据工件漏率选择性充入一定比例混合氦气可检测工件的具体漏点。检测精度高。适用行业：特种阀门，高压管道，制冷管路，汽轮机组等。因为空气中含有5ppm的氦气，正压法检漏灵敏度相对负压法要低。氦检仪正压法有二种方式,即移动嗅探式和氦罩累积式。前者只能定性检测大漏,后者则可定量检测微漏。氦质谱检漏正压氦罩法注意事项： 氦罩要专门设计,一般用金属制作(塑料布在长时间累积中渗透量太大)。如果累积时间短,也可用0.10～0.15mm的塑料布制作。检测时氦罩应尽量小,以便提高氦的压升率。氦罩要密封。探测口要方便检测。检漏过程中,仪器灵敏度和吸头在校准后不得进行调整,否则要重新进行校准。吸头不应一直插在检测口内,以免影响累积信号。在低温探测时,环境湿度应尽量降低,被检件应先加高压示漏气体而后降温,以免小孔阻塞。多功能氦气检测仪原理氦检仪能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
氦检仪常用的几种检漏方法：氦质谱检漏方法较多，根据被检工件的测量目的可分为两种类型，一种是漏点型，另一种是漏率型；在实际检验过程中，应根据检验目的选择较合理的方法，并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。喷氦法氦质谱检漏方法。喷氦法又叫喷吹法，较常用、较方便的检漏方法。一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等)用喷头喷氦。
氦检仪噪声是哪儿来的？高灵敏度氦检仪的噪声来源大体上可以分为两种，一个是离子流接收放大机输出电路的噪声，另一个就是本底噪声。实际上，目前通过对电子线路的改进，仪器中离子流接收放大及输出电路引起的噪声已经降到很低的一个程度，因此已经不是限制设备灵敏度的主要因素，如果特殊情况下仍然是限制灵敏度的主要因素的话，可以通过放大信号的办法来提高信噪比来改善灵敏度。而本底噪声则是由本底峰的不稳定造成，与本底的大小以及电磁场参数的稳定度有关，具体的包括：1、离子源发射电子流的不稳定性，加速电压、分析器电磁参数的不稳定性；2、氦气在真空系统内的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡胶、有机绝缘材料都可以吸附和再放出氦气），电离真空计特别是磁放电真空计对氦气的记忆效应（被污染的情况下更为严重）；3、抽气系统中氦气的反扩散与对氦气抽速的不稳定性；4、氦检仪本身漏气和氦气的渗透；5、残余气体分子对氦离子的散射等等。这些因素对本底噪声及灵敏度的影响都很大。氦质谱检漏仪的可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。
使用氦检仪需注意的几个问题：(1)检漏方法的选择:目前,电厂采用氦检仪检漏通常采用负压采样法,该方法操作简便,但仪器的清理时间较长。根据被检系统的不同也可以采用真空法检漏,即将氦检仪的测试口直接接至真空系统的抽气管道上,通过节流阀调节气流以衰减氦检仪与真空系统间的压差,使氦检仪正常工作,该方法检漏效率稍高,但安装较为复杂。(2)仪器灵敏度:灵敏度的高低直接影响检漏的效果。氦检仪经过一段时间的使用后,灵敏度会有所下降,严重时对纯氦无反应。因此,平时应该经常保持仪器,特别是质谱室的清洁,定期打开气镇阀运行一段时间,并给旋片真空泵换油,这样可以减少仪器对氦的记忆效应。另外还要定期用标准漏孔对仪器的灵敏度进行校验,使氦检仪始终保持较佳的工作状态。氦检仪整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。模块式氦气检测仪工作原理
氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响。客制化氦气检测设备价钱
氦检仪应用于调节阀气路管道检漏：调节阀又名控制阀，在现代化工厂的自动控制中，调节阀起着十分重要的作用，如果调节阀有漏，将会严重影响设备运行，进而降低整体的生产效率。氦检仪成功应用于调节阀中的气路管道检漏,经过检漏后的调节阀普遍应用于电厂、生物制药、化工等行业。调节阀检漏，阀门气密性测试方案是向阀门内充入设定压力的氦气，如在被检测处如阀杆等，用氦检仪正压法检测，正压法检测的精度可充分满足气密性检测要求。氦检仪用于调节阀的气路管道进行检漏,检漏标准是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同时需要提供快速,清洁的检漏环境.采用氦检仪正压法模式,即在密封的气体管路中充入一定量的氦气,然后进行检漏.氦检仪同时拥有两种检漏模式真空模式及正压模式，可根据客户不同需求，选择不同的检漏方法。客制化氦气检测设备价钱
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