检漏仪为什么选择氦气作为示踪气体?1. 氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少 (在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少, 因此本底压力小, 输出的本底电流也小. 正因为本底小, 由某些原因引起本底的波动, 亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来.灵敏度高.2. 氦的质量小 (相对分子质量为4) , 易于穿过漏孔. 这样, 氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大, 容易发现, 灵敏度高.3. 氦是惰性气体, 不与被检件器壁起化学反应, 不会污染被检件, 使用安全.4. 在氦两侧的是氢 (质荷比为2) 和双电荷原子碳 (质荷比为6) , 质荷比都与氦相差较大. 这样, 它们在分析器中的偏转半径相差也大, 容易分开. 定标找氦峰时, 不易受其他离子的干扰, 因此就降低了对分析器制造精度的要求, 易于加工. 同时, 分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大, 使更多的氦离子通过, 提高了仪器灵敏度。检漏仪在正式检漏前,工件内部要用氦气将工件内部的空气排出,保证一定的氦气浓度。南京台式检漏仪价钱
检漏仪中使用防返油阀的目的:主要是防止机械泵中的油,在检漏仪停止工作时,从机械泵内返到检漏仪的阀座内,导致检漏仪无法正常使用。防返油通常是装配在机械泵的进气口,另一端与分子泵的排气口连接。在通电后,防返油阀内部打开,使分子泵排气口和机械泵进气口导通。气流沿分子泵进入机械泵。在断电后,防返油阀内部关闭,外界的空气沿阀内部的通道进入阀的出气口,使机械泵进气口达到大气压状态。从而防止机械泵油从进气口返出。优点:防返油阀,能够很好的避免因机械泵故障,导致返油到检漏仪阀座和分子泵的概率。能够更好的保护检漏仪。南京台式检漏仪价钱检漏仪对高纯气体管道进行测试的注意事项有哪些?
检漏仪的基本原理与结构:检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率,真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被普遍采用,已成为市场的主流产品。
检漏仪分子泵故障及处理:1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作,有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有:真空规管是否有问题,分子泵出口是否打开,机械泵油是否太脏或机械泵是否转动,系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害,可自行用工具拨动叶片,判断其能否转动。2、分子泵加速指示灯不亮,电路板上的保险丝烧断,更换保险丝或检查是否有短路现象。3、分子泵故障灯亮,检查电路板设置开关是否处于R位置,此时应该在N位置。检查风扇是否停止,如风扇正常,则可能为检漏仪分子泵电源故障。对于不同的目的,可以选择不同的检漏仪来完成漏检任务。
检漏仪待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa,灯丝不易被氧化脆断。在检漏过程中,当出现意外情况,系统突然暴露大气或真空度突然降低,导致大量的气体突然进入电离室,真空度≥1x10-1Pa时,灯丝电流急剧增大,灯丝被碳化,就发生了脆断现象。检漏仪灯丝寿命如何延长?由前面分析已知,造成检漏仪灯丝脆断的原因:1.真空度低;2.灯丝电流过大;3.对灯丝有害的气体气压太高(氧化性气体、水蒸气、氢气)。那么,在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启,或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。如:1.使用中尽量将预置真空开关空挡;2.避免电离室泄入有害气体(氧化性气体、水蒸气、氢气)。检漏仪是利用氦气作为示漏气体,用气体分析仪对氦气进行检漏的质谱仪。南京台式检漏仪价钱
检漏仪能实现复杂结构之下的漏孔定位测量。南京台式检漏仪价钱
检漏仪五大优势:1、智能化:以往的检漏仪操作非常辅助,而现在都是触屏式,自动检测。2、便捷化:小型便捷的检漏仪能够为企业工件设备提供小巧方便的检测。3、自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节0点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成全检漏过程。4、全无油的干式检漏:检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,这为无油系统及芯片等半导体器件的检漏提供了有利条件。5、检漏范围宽:检漏仪检测范围很宽,不但可检测氦气,还能检测其它气体。南京台式检漏仪价钱
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