下面我们来简单讲讲选择探针台设备时需要注意事项:一、机械加工精度;二、电学量测精度三、环境要求,如:真空环境、高温、低温环境、磁场环境及其它。四、光学成像;五、自动化控制精度。总体而言,具有清晰并高景深的微观成像,再通过准确的探针装置对探针进行多方向移动,对准量测点,进行信号加载,通过高精度线缆将所需测试数据传输至量测仪表,以达到所需得到的分析数据,所以,如果想得到高质量的分析数据,从成像到点针,再到数据传输每项步骤都会起到重要的作用,另外振动对精度也有一定的影响。探针台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的。四川芯片测试探针台
探针台大家不陌生了,是我们半导体实验室电性能测试的常用设备,也是各大实验室的熟客。优点太多了,成本低,用途广,操作方便,对环境要求也不高,即使没有超净间,普通的坏境也可以配置,测试结果稳定,客观。深受工程师们的青睐。手动探针台用途:探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。四川芯片测试探针台适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。
探针测试台x-y工作台的分类:纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。
初TI退休工程师杰克·基比(JackSt.ClairKilby)发明颗单石集成电路,为现代半导体领域奠定基础时,晶圆直径不过1.25英寸~2英寸之间,生产过程多以人工方式进行。随着6英寸、8英寸晶圆的诞生,Align/Load的校准工作和一些进阶检测也开始自动化;直到12英寸晶圆成形,可谓正式迈入“单键探测”(OneButtonProbing)的全部自动化时代,就连传输也开始借助机器辅助;但此时的测试大都是转包给专业的厂商做,且大部分是着重在如何缩短工艺开发循环的参数测试上。探针台由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。
主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类。探针尖接触电阻即探针尖与焊点之间接触时的层间电阻。四川磁场探针台报价
有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是工作台的故障。四川芯片测试探针台
高精度探针台:目前世界出货量的型号吸收了很新的工艺科技例如OTS,QPU和TTG相关技术,这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1:OTS-近的位置对正系统(光学目标对准)OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术,来源于精密的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2:QPU-高刚性的硅片承载台(四方型系统)为了有效的达到接触位置的精度,硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的,UF3000使用新的4轴机械转换装置(QPU),达到高刚性,高稳定度的接触。四川芯片测试探针台