探针台为研究和工程实验室在测试运行期间移动通过多个温度点时,提供前所未有的自动化水平。这种新技术使探针系统能够感知,学习和反应以多温度和特征的极其复杂的环境。随着集成电路产品不断进入汽车应用等更高发热量的环境,在越来越宽的温度范围内表征器件性能和耐用性变得越来越重要。以前,大多数芯片在两个温度点进行晶圆级测试,通常为20˚C(室温)和90˚C。现在,该范围已经扩大到-40˚C至125˚C,并且可能需要在此范围内的四个温度步骤中进行一整套测试。某些情况下需要更普遍的范围,如-55˚C至200˚C,晶圆可靠性测试可能要求高达300˚C的温度。上海勤确科技有限公司终善的服务、及时的服务、正确的服务,服务到每一个客户满意。江苏温控探针台生产厂家

探针台的作用是什么?探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入终端产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。江苏温控探针台生产厂家随着全球半导体行业市场规模不断扩大,半导体设备市场也呈增长趋势。

探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一,其普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节,负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。在半导体器件与集成电路制造工艺中,从单晶硅棒的制取到终器件制造的完成需经过复杂的工序,可分为前道工序与后道工序,探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。经过检测,探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来,在进入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。
半自动探针台主要应用于需要精确运动、可重复接触和采集大量数据的场合。一些公司也使用半自动探针系统来满足其小批量生产要求。半自动探针系统的组成部件大部分与手动探针台相似,但载物台和控制装置除外。晶圆载物台通常是可编程的,并通过软件与电子控制器来控制移动与方位。软件为探针台系统增加了很多功能,使用者可以通过软件或机械操纵杆以各种速度向任何方向移动载物台,程序可以设置映射以匹配器件,可以选择要检测的器件。探针台由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。

定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等,用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽,线槽间的距离即称为平面电机的齿距,而定子则按不同的细分控制方式,按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。对定子的损伤将直接影响工作台的步进精度及设备使用寿命,损坏严重将造成设备无法使用而报废。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中,所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象,另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤,而影响平面电机的步进精度及使用寿命,对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面,然后用脱脂棉球蘸煤油清洗。探针台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的。北京探针台哪家好
无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,工作台都是其主要的部分。江苏温控探针台生产厂家
探针台由哪些部分组成?样品台(载物台):是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精密移动定位功能。光学元件:这个部件的作用使得用户能够从视觉上放大观察待测物,以便精确地将探针尖锐端对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。有的采用立体变焦显微镜,有的采用数码相机,或者两者兼有。卡盘:有一个非常平坦的金属表面,卡盘用夹具来固定待测物,或使用真空来吸附晶圆。探针(探针卡):待测芯片需要测试探针的连接,才能与测试仪器建立连接。常见的有普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。江苏温控探针台生产厂家