太阳能产业探针台(Solar Cell 量测系统)；量测软体:I-V /C-V Curve, Isc, Voc,Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,Power Convert Efficiency采用KEITHLEY Source Meter可加配任意品牌之太阳光模拟器。x-y工作台的维护与保养，无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，x-y向工作台都是其较主要的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障，而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的，所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。本文只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。探针台的观测数据对未来宇宙探索和科学研究提供了宝贵的资源。上海高精度探针台平台
探针台由哪些部分组成？1.样品台（载物台），载物台是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小，并配套了相应的精密移动定位功能。克洛诺斯科技自主研发的超精密气浮运动平台就是作为定位晶圆或芯片的部件设备，重复定位精度达±50纳米，可以依靠精密机械运作在极短的曝光时间内完美定位，完成晶圆在量测端的极精密的检测。2.光学元件，这个部件的作用是能够从视觉上放大观察待测物，以便精确地将探针先进对准并放置在待测晶圆/ 芯片的测量点上。3.卡盘，有一个非常平坦的金属表面，卡盘用夹具来固定待测物，或使用真空来吸附晶圆。上海高精度探针台平台探针台的科技成果对推进全球科学事业、推动人类文明进步发挥着重要的作用。
在电子制造领域，它能够自动化执行连接器、电路板、卡片式元器件等的测试任务，减少了人工干预，速度更快、更稳定。同时，还可对电子器件的参数进行测量、判断和分析，确保产品的质量和可靠性。在半导体制造领域应用更为普遍和关键。它能够在芯片制造过程中进行多种参数测试，如晶体管的IV特性测试、触点式器件的密度测试、CMOS存储器的接口测试等。测量的结果直接影响到芯片、集成电路、元器件等的质量和性能，因此须具备高精度、高稳定性和高可靠性。总的来说，全自动探针台的到来推进了人类对科技的应用，它不只应用普遍，且具有很大的发展前景。
探针台(Prober station)又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。探针台主要应用于半导体行业以及光电行业得研发，生产制造，失效分析等，是对晶圆(Wafer)上得器件进行电特性测试或故障分析而使用得精密机台，通过探针台能很好得帮助工程技术人员实现微小位置得电学参数测试。探针台是人类理解宇宙和了解人类自身的一个重要工具。
滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养，相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。探针台的科研成果对推动人类文明的发展有着重要的作用。上海高精度探针台平台
探针台的观测和研究任务需要具备高水平的科研和管理人才。上海高精度探针台平台
XY 精密工作台结构设计，由于XY 工作台需要放置于真空腔体内，XY 工作台结构越紧凑，真空腔体就越小，设备尺寸也 就相应减小。结构紧凑合理的XY 工作台有利于 降低真空腔体加工难度、减少能源浪费。XY 工作台整体处于真空腔体中，要求零部件结构密致性好，零部件材料不能逸出空气，材料表 面不能有挥发性油脂。XY 工作台需要完全暴露在特 种环境中，所有零部件均需要通过耐腐蚀、耐低温 性等试验，对于电机、丝杠、导轨等外购件，如果没 有合适的型号满足上述要求，需要对相应外购件 加装特制密封装置，使外购件与腔体内环境有效 隔绝。上海高精度探针台平台
