温控探针台的功能特点:1、可编程精密控温。可单独控制,也可从上位机软件控制;2、探针需开盖移动,样品台面电接地;3、探针分别导通冷热台外壳上的4个BNC接口;4、杠杆式探针支架,点针力度更大,电接触性更好;5、弯针探针,点针更精确;6、默认气密腔室,通问2个快速自锁接头,可充保护气体;7、上盖带有样品观察窗;8、台体内置干燥气体管道,用于负温时对视窗的除霜;9、视窗可拆卸与更换,可用不同材质窗片实现不同波段光观察;10、软件可拓展性强,可提供LabView等语言的SDK;探针台的科技成果对推进全球科学事业、推动人类文明进步发挥着重要的作用。上海全自动探针台
手动探针台的工作原理及应用范围。工作原理:手动探针台是普遍应用于半导体行业的综合经济型测试仪器,主要用于半导体芯片的电参数检测。手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。应用范围:手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。江西电学温控探针台探针台的发展需要国际合作和共同努力。
探针台的基本组件,探针台由六个基本组件组成:Chuck – 一种用于固定晶片或裸片而不损坏它的装置。载物台 – 用于将卡盘定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。机械手——用于将探头定位在被测设备 (DUT) 上。压板 - 用于固定操纵器并使探针与设备接触。探头先进和臂 - 安装在机械手上,它们直接接触设备。光学 - 用于查看和放大被测设备和探头先进。它是如何工作的?探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上,该平台允许将 DUT 定位在显微镜视野的中心。
在所有的测试环节中都会用到测试机,不同环节中测试机需要和分选机或探针台配合使用。高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台,它的诸多设计都是专门使用的。因此,高低温磁场探针台的配置主要是根据需求进行选配及设计。例如,要求的磁场值,均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等,均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联;位移台还可与磁流体密封搭配,实现水平方向二维移动和样品台360度转动;除此之外,该探针台和双极性恒流电源搭配使用,可以磁场的高稳定性。探针台的观测数据对未来宇宙探索和科学研究提供了宝贵的资源。
半自动型,chuck尺寸800mm/600mm;X,Y电动移动行程200mm/150mm;chuck粗调升降9mm,微调升降16mm;可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜;针座摆放个数6~8颗;显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2";可搭配Probe card测试;适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品;电动型;chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金);X,Y电动移动行程300mm x 300mm;chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜。探针台的科学研究成果对推动人类的科学技术进步有着举足轻重的作用。浙江电学温控探针台定制
探针台的设立能够加深人类对宇宙和自身的认识。上海全自动探针台
总的来说,手动探针台适合研发人员使用,半自动探针台适合初学者使用,而全自动探针台适合具有一定经验的测试人员使用。不同类型的探针台各有优缺点,选择何种探针台主要取决于测试的需求和个人的技能水平。全自动探针台是一种全自动控制的探针台,可以在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用。相比于半自动探针台,全自动探针台具有更高的精度和效率,可以在短时间内完成大量的测试操作。全自动探针台通常还配备有晶圆材料处理搬运单元(MHU)、模式识别(自动对准)等功能,以确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。全自动探针台通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。上海全自动探针台