根据探针测试需要，XY 精密工作台的技术要 求为：XY 向行程160 mm；精度±0.008 mm；重复 定位精度±0.003 mm；分辨率0.001 mm。在结构 设计时，为达到上述精密控制要求选用伺服电机 驱动，全闭环运动控制；整个工作台需要放置于真 空腔体内，结构紧凑合理的工作台结构可以有效 地减小真空腔体设计尺寸，XY 工作台结构采用 丝杠、交叉滚子导轨组合形式。其中Y 向丝杠采 用偏置方式；X 向丝杠采用对称方式。对于电机、丝杠、导轨等外购件，选型号时，需 要考虑温度、湿度、腐蚀性等特种环境下运行情 况，要求在高真空状态下材料不能逸出空气，外购 件内部、外部不能有挥发性油脂。如果没有合适的 型号满足上述要求，需要对相应外购件加装特制 密封罩。探针台能够为人类文化和科技的不断进步提供有力技术支持。浙江晶圆测试探针台生产商
探针、探针夹具及电缆组件。（1）探针。待测点需要测试探针的连接，才能与测试仪器发生交流。常见的有：普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针。（2）探针夹具及电缆组件。探针夹具用于夹持探针、并将探针连接至测量仪器。电缆组件用于转接、延展探针夹具上的电缆组件。根据测量应用，可粗略地划分为以下几种：I-V/CV测试用、RF测试用、高压大电流I-V/C-V测试用等。主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。浙江晶圆测试探针台生产商探针台的运营需要考虑科学、技术和管理等多个方面的因素，并做好安全保密方面的工作。
探针台可以在整个晶圆上或被锯成单个芯片后运行测试。整个晶圆级的测试允许制造商在整个生产过程的不同阶段多次测试设备，并密切监控制造以查看是否存在任何缺陷。在较终封装之前对单个芯片进行测试可以将有缺陷的器件从流通中移除，确保只封装功能器件。探针台在整个研发、产品开发和故障分析中都有很大的用途，工程师需要灵活而精确的工具来对设备的不同区域进行一系列测试。让一个好的探针台与众不同并为您的测试增加价值的是它能够精确控制这些探针在设备上的位置、外部刺激的应用方式以及测试发生时设备周围的环境条件。
探针台是晶圆输送与定位任务的承担者，检测半导体芯片电、光参数的关键设备。CP 测试环节中，探针台首先将晶圆移动至晶圆相机下，确定晶圆的坐标位置；再将探针相机 移动至探针卡下，确定探针卡的坐标位置，当确定二者位置后，即通过载片台将晶圆移动 至探针卡下实现对针。其按不同功能可以分为高/低温探针台、RF 探针台、LCD &TEG探针台、光电探针台等，当晶圆依次与探针接触完成测试后，探针台记录参数特性不符合要求的芯片， 并在进入后序工序前予以剔除，以保障质量与可靠性，降低器件的制造成本。探针台可以帮助科学家研究和观测太阳系、银河系乃至更远的星际空间。
让一个好的探针台与众不同并为您的测试增加价值的是它能够精确控制这些探针在设备上的位置、外部刺激的应用方式以及测试发生时设备周围的环境条件。探针台由六个基本组件组成：Chuck – 一种用于固定晶片或裸片而不损坏它的装置。载物台 – 用于将卡盘定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。机械手——用于将探头定位在被测设备 (DUT) 上。压板 - 用于固定操纵器并使探针与设备接触。探头先进和臂 - 安装在机械手上，它们直接接触设备。光学 - 用于查看和放大被测设备和探头先进。探针台是推进太空探索和航天事业的重要一环。浙江晶圆测试探针台生产商
探针台的观测数据对未来宇宙探索和科学研究提供了宝贵的资源。浙江晶圆测试探针台生产商
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。据 SEMI 预测，2020 年全球的探针台市场规模约为 42.96 亿元。由于半导体设备需求 与半导体芯片出货量息息相关，在 5G、物联网等因素的催化下，半导体芯片出货量维持较 高规模，半导体设备市场规模将稳步提升，探针台市场规模在 2021、2022 年有望达到 51.56 亿元、59.29 亿元。浙江晶圆测试探针台生产商
