对于光学IC,还需要对其进行给定光照条件下的电气性能测试。chiptest主要设备:探针平台(包括夹持不同规格chip的夹具)。chiptest辅助设备:无尘室及其全套设备。chiptest能测试的范围和wafertest是差不多的,由于已经经过了切割、减薄工序,还可以将切割、减薄工序中损坏的不良品挑出来。但chiptest效率比wafertest要低不少。packagetest是在芯片封装成成品之后进行的测试。由于芯片已经封装,所以不再需要无尘室环境,测试要求的条件较大程度上降低。芯片测试机可用于快速排除芯片制造中的错误。福建推拉力芯片测试机
本发明的目的在于提供一种芯片测试机及芯片测试方法,本发明的芯片测试机的结构紧凑、体积较小,占地面积只一平米左右,可以满足小批量的芯片测试要求。其技术方案如下:本发明在一实施例中公开了一种芯片测试机。该芯片测试机包括机架,以及设置于机架上的移载装置、测试装置、自动上料装置、自动下料装置及不良品放置台,所述自动上料装置包括头一料仓及自动上料机构,所述自动上料机构在所述头一料仓内上下移动;所述自动下料机构包括第二料仓及自动下料机构,所述自动下料机构在所述第二料仓内上下移动,所述移载装置位于所述自动上料装置、自动下料装置、测试装置及不良品放置台的上方,所述移载装置将自动上料装置的待测试芯片移动至测试装置,并将测试完成的芯片移动至自动下料装置或不良品放置台,所述移载装置还将自动上料装置的空tray盘移动至自动下料装置。福建推拉力芯片测试机芯片测试机支持多种测试模式。
DC/AC Test,DC测试包括芯片Signal PIN的Open/Short测试,电源PIN的PowerShort测试,以及检测芯片直流电流和电压参数是否符合设计规格。AC测试检测芯片交流信号质量和时序参数是否符合设计规格。RF Test,对于无线通信芯片,RF的功能和性能至关重要。CP中对RF测试来检测RF模块逻辑功能是否正确。FT时还要对RF进行更进一步的性能测试。其他Function Test,芯片其他功能测试,用于检测芯片其他重要的功能和性能是否符合设计规格。CP测试的目的就是在封装前就把坏的芯片筛选出来,以节省封装的成本。同时可以更直接的知道Wafer 的良率。CP测试可检查fab厂制造的工艺水平。
优先选择地,所述机架上还设置有加热装置,所述加热装置至少包括高温加热机构,所述高温加热机构位于所述测试装置的上方,所述高温加热机构包括高温加热头、头一移动机构及下压机构,所述下压机构与所述头一移动机构相连,所述高温加热头与所述下压机构相连。优先选择地,所述加热装置还包括预加热缓存机构,所述预加热缓存机构位于所述自动上料装置与所述测试装置之间,所述预加热缓存机构包括预加热工作台,所述预加热工作台上设有多个预加热工位。芯片测试机具有稳定性和可重复性,适用于大量测试。
而probe card则换成了load board,其作用是类似的,但是需要注意的是load board上需要加上一个器件—Socket,这个是放置package device用的,每个不同的package种类都需要不同的socket,如下面图(7)所示,load board上的四个白色的器件就是socket。Handler 必须与 tester 相结合(此动作叫 mount 机)及接上interface才能测试, 动作为handler的手臂将DUT放入socket,然后 contact pusher下压, 使 DUT的脚正确与 socket 接触后, 送出start 讯号, 透过 interface 给 tester, 测试完后, tester 送回 binning 及EOT 讯号; handler做分类动作。芯片测试机可以进行钟控测试,用于测量逻辑门延时。吉林倒装LED芯片测试机
芯片测试机还可以进行电压测试以测试电压饱和和开路。福建推拉力芯片测试机
本发明的芯片测试机还包括加热装置,部分型号的芯片在测试前可能需要进行高温加热或低温冷却。当待测试芯片移载至测试装置后,可以通过头一移动机构带动高温加热头移动至测试装置的上方,然后由下压机构带动高温加热头向下移动,并由高温加热头对芯片进行高温加热或低温冷却,满足对芯片高温加热或低温冷却的要求。加热装置还包括预加热缓存机构,当芯片需要进行高温测试的时候,为了提高加热效率,可以先将多个待测试芯片移动至预加热工作台的多个预加热工位进行预加热,在测试的时候,可以减少高温加热头加热的时间,提高测试效率。福建推拉力芯片测试机
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