探针台基本参数
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探针台企业商机

半自动型,chuck尺寸800mm/600mm;X,Y电动移动行程200mm/150mm;chuck粗调升降9mm,微调升降16mm;可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜;针座摆放个数6~8颗;显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2";可搭配Probe card测试;适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品;电动型;chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金);X,Y电动移动行程300mm x 300mm;chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜。探针台的发展需要国际合作和共同努力。江苏大型探针台设备

温控探针台的功能特点:1、可编程精密控温。可单独控制,也可从上位机软件控制;2、探针需开盖移动,样品台面电接地;3、探针分别导通冷热台外壳上的4个BNC接口;4、杠杆式探针支架,点针力度更大,电接触性更好;5、弯针探针,点针更精确;6、默认气密腔室,通问2个快速自锁接头,可充保护气体;7、上盖带有样品观察窗;8、台体内置干燥气体管道,用于负温时对视窗的除霜;9、视窗可拆卸与更换,可用不同材质窗片实现不同波段光观察;10、软件可拓展性强,可提供LabView等语言的SDK;上海探针台公司探针台可以通过观测宇宙现象来解开地球和人类的谜团。

承片台结构设计要具有实现自动对准的兹 向 旋转,兹 向旋转的分度精度要求非常高,在150 mm (6 英寸)晶圆上的分度精度要臆0.05° ;为了实现与探针的紧密接触稳定地抬升、有效地达到接触 位置的精度,抬升机构的进给精度要高,同时承片 台要具备极高的刚性,而且在150 mm 的台面上 刚度一致是非常重要的。通过在Z 轴方向的往复 移动,实现高刚性、稳定的探针接触。承片台旋转结构在设计上采用THK 超精密 交叉滚柱轴环RB 型(外圈分隔,内环旋转)支撑 旋转。在交叉滚柱轴环中,因圆柱形滚柱在呈 90° 的V 形沟槽滚动面上通过间隔保持器被相互垂直排列。使得单个轴承就可承受径向、轴向及 力矩负荷等所有方向的负荷,具有很高的刚性。又 由于内圈或外圈是分隔的构造,轴承间隙可调整。

探针台的作用是什么?探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入较终产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。探针台的研究成果不仅对天文学有着重要的意义,还对物理学等学科领域产生了深远的影响。

半自动型,chuck尺寸800mm/600mm,X,Y电动移动行程200mm/150mm,chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜,针座摆放个数6~8颗,显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2",可搭配Probe card测试,适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品。电动型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金),X,Y电动移动行程300mm x 300mm,chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u,可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜,针座摆放个数8~12颗,显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“,材质:花岗岩台面+不锈钢,可搭配Probe card测试,适用领域:12寸Wafer、IC测试之产品。探针台在天文学研究中具有举足轻重的作用。江苏大型探针台设备

探针台能够为太空探索提供关键的科研数据。江苏大型探针台设备

探针台具有以下优势:能够确保相关产品研发的质量。能够有效缩短研发时间和资金成本。可以缩减器件的制作工艺成本。具有更加可靠和省时省力的优势,可以缩减器件的制作工艺成本。可以在真空条件下操作,提高了测试的准确度。具有高刚性的硅片承载台和高精度的探针控制系统,有效提高了测试精度。可选配接入光纤,可将一根或几根电学探针替换为光纤,提高了测试灵活性。具有优良的直流漏电控制能力,确保测试的安全性。探针台普遍应用于半导体、光电以及集成电路等行业,用于测试、调试和维修电子设备、电路板和芯片。江苏大型探针台设备

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