探针台介绍:探针台是一种很专业的仪器,它主要的功能就是针对半导体元件进行检测,这里面说的半导体元件指的是集成电路,分立器件,光电器件,传感器等元件以及封装的测试。通过探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压,电流,电阻和电容电压特性曲线等参数检测。可以适用于对芯片进行科研分析,抽查检测等;可以保证这些半导体元件的质量,缩短研发时间和器件制作工艺的成本,所以,它的存在对于制造半导体的企业来说是非常重要的。探针台的数据对太空探索、战略部署、国家的安全等领域具有普遍的应用和重要的战略意义。上海IC探针台定制
探针台厂家分享低温探针台的优势,现在探针台的种类非常多,这里就带大家一起来了解低温真空探针台:满足各种温度的需求:因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。浙江半自动探针台厂商探针台开展的研究和观测任务需要高精度的仪器和设备。
探针台由哪些部分组成?样品台(载物台):是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精密移动定位功能。光学元件:这个部件的作用使得用户能够从视觉上放大观察待测物,以便精确地将探针先进对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。有的采用立体变焦显微镜,有的采用数码相机,或者两者兼有。探针(探针卡):待测芯片需要测试探针的连接,才能与测试仪器建立连接。常见的有普通 DC 测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。探针先进尺寸和材料取决于被探测特征的尺寸和所需的测量类型。探针尖直接接触被测件,探针臂应与探针尖匹配。
探针测试台x-y工作台的分类,纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:以美国EG公司为表示的平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。探针台的技术需要不断推陈出新。
手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要较少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点,非常适合研发人员使用。全自动探针台相比上述两种添加了晶圆材料处理搬运单元(MHU)和模式识别(自动对准)。负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作,通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。探针台的建设需要克服很多技术难题。广西晶圆测试探针台
探针台的运营需要专业的人员和技术支持。上海IC探针台定制
什么是自动探针台,自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器。从装片方式上区分,分为全自动和半自动两种。主要用于晶圆测试,晶圆尺寸:4,,6,8 ,12英寸晶圆片装卸:1个载片盒 (25 或者 26 个片槽),连续的可编程双向加载,快速单片晶圆手动上下片,防晶圆交叉保护 XYZ- 精度:±3微米。使用环境:1. 电源:AC 220V±22V 50Hz±1Hz,功率:<1.5KW;2. 压缩空气源:> 0.7MPa,10L/H;3. 使用环境:温度:15ºC-25ºC 相对湿度:<70%。上海IC探针台定制
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