数控轴平面度激光干涉仪定制

激光干涉仪的应用：数控机床动态性能检测。利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析（FFT），滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性（低速爬行）分析等。双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。激光波长非常稳定，可以满足精密测量的要求。激光具有干涉特性。激光干涉仪的应用：几何精度检测。数控轴平面度激光干涉仪定制

激光干涉仪还具有体积小、重量轻、移动灵活的特点，用12v电源，其耗电量极低，干涉图像与对准系统同步、不需要切换，任何人都能简单操作，非常适合大批量快速检测。激光干涉仪成为众多光学冷加工厂商的梦想与追求，拥有一台激光干涉仪，就拥有世界先进的检测手段，就拥有令人信服的检测结果，就能证明可以生产先进的产品。激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量，普遍应用于各领域，已经成为人类认知世界的重要工具。河南工业激光干涉仪激光干涉仪具有较高的精度和效率。

双频激光干涉仪：在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为只含有f1的光束,另一路成为只含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来只含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf）的测量光束。

激光干涉仪组件：要测量线性轴的定位精度、重复定位精度和反向间隙等数据，需要使用激光测量系统的以下组件，主要有：XL激光头、三脚架和云台、XC环境补偿单元、空气温度传感器和材料温度传感器、线性测量光学镜组、光学镜安装组件及安装激光测量软件的计算机。激光干涉仪工作原理多普勒效应（DopplerEffect）:任何形式的波传播，都是由于波源、传播介质或中间反射器的运动，会使频率发生变化的现象。这种因多普勒效应所引起的频率变化称为多普勒偏移或频移（DopplerShift）,其频移大小与介质、波源和观察物的运动有关。激光干涉仪配有各种附件。

激光干涉仪laserinterferometer以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。激光具有高的强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平。常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量、回转精度测量、平行度测量和小角度测量。激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。成都精密仪器校准激光干涉仪定制

激光干涉仪各个测量镜组也可以在别的测量工作中使用。数控轴平面度激光干涉仪定制

数控机床的传动机构一般是滚珠丝杆副，滚珠丝杆副在生产制造和装配过程中都存在一定误差，且长期使用造成的磨损等因素都会使其精度下降，当前为有效且普遍应用的方法是利用激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿。数控机床机械误差补偿包含记忆式相对位置补偿（值）与记忆式螺距误差补偿（增量值）两种，三菱和法那科系统就是增量值补偿的表示之一。当采用激光干涉仪进行增量值补偿时，会遇到数据怎么对应补偿点位置的问题。机床系统种类繁多，正逐步向自动补偿迈进。数控轴平面度激光干涉仪定制

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