南京数控轴平行度激光干涉仪

激光干涉仪发射单一频率光束，光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，比较后重新汇聚返回激光干涉仪。若光程差没有变化时，激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。当高压连接在阳极和阴极之间时，混合气体被激发，形成激光光束，通过放大激光光强使一些光透射出来成为输出激光光束。其中，为实现平衡状态，通过加热器控制激光管长度让激光稳频的精度保持在±0.05ppm以内，此时稳定输出后，激光器即可进行干涉测量。如今大多数现代位移干涉仪都使用氦氖(HeNe)激光管，这些激光管具有633纳米的波长输出。激光干涉仪具有有线性测量镜组、垂直度测量镜组、激光器准直辅助镜等等。南京数控轴平行度激光干涉仪

镜组的灵活使用：激光干涉仪具有有线性测量镜组、角度测量镜组、平面度测量组件、直线度测量组件、垂直度测量镜组、激光器准直辅助镜等等，实际使用中，有些不同功能的镜组也可以相互组合使用，以满足测量需要。比如角度测量镜组中的反射镜也可以替换线性测量镜组中的反射镜;激光器准直辅助镜的使用可以减少准直调整的时间。同时，激光干涉仪各个测量镜组也可以在别的测量工作中使用，常见的利用分光镜或者光学直角器，达到改变光路，方便测量的目的。这需要，了解设备性能、掌握测量技巧，在满足测量准确度的前提下活学活用。南京数控轴平行度激光干涉仪激光干涉仪的维护：仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内。

激光干涉仪是以激光波长为长度计量基准的高精度测量仪器，随着激光干涉仪的出现，因其具有性能稳定、检测精度高及数据可靠性好等优点，已成为高精密机械生产中校准及补偿的标准仪器，在机械制造、金属切削加工及航空航天等领域得到了普遍的应用。激光干涉仪有单频和之分，单频激光干涉仪受环境因素影响较大，一般用于特定环境的实验室。激光干涉仪应用频率变化来测量位移，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，抗干扰能力强，普遍应用于各种工况下。

激光干涉仪的注意事项：仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量。

激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、比较高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在制造领域应用普遍。激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。河北机床精度激光干涉仪求购

激光干涉仪作为精密工具机或测量仪器的校正工作。南京数控轴平行度激光干涉仪

激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪的光源——激光，具有强度较高、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器。同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角。可选的无线遥控传感器比较长的控制距离可到25米。南京数控轴平行度激光干涉仪

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