四川实验室级盲孔产品电镀设备

盲孔产品电镀前处理

是确保镀层和盲孔内壁之间具有良好附着力，以及让镀层均匀覆盖的关键环节。

特殊处理（针对深盲孔或复杂结构）有两种：

1.高压冲洗：使用高压水枪（压力建议大于 5MPa）对盲孔进行冲洗，这样可以有效孔内残留的颗粒或者气泡。

2.真空处理：将盲孔产品放入真空环境中，抽去孔内的空气，然后再进行液体浸泡，这样能提高处理溶液的渗透效果。过降低环境气压（形成真空状态），利用物理和化学作用协同提升表面清洁度和镀层附着力 真空除油设备配备防返油装置，避免真空泵油污染工件表面。四川实验室级盲孔产品电镀设备

真空除油设备的定义

一、基本概念

1.通过真空泵将设备内部气压降至常压以下（通常 - 0.08~-0.1MPa），形成负压环境。

2.利用真空状态下液体沸点降低、渗透力增强的特性，实现深度除油。

二、负压技术的作用

1.强化渗透：负压使液体快速填充盲孔，排出空气并冲刷油污。

2.微气泡清洗：液体沸腾产生的微气泡破裂时释放能量，剥离顽固附着物。

3.低温干燥：真空环境下液体蒸发速度提升 5~10 倍，避免高温损伤基材。

三、部件

真空罐体：密闭容器，承载工件并维持负压。

真空泵组：多级罗茨泵 + 旋片泵组合，快速抽气并维持真空度。

加热系统：控制液体温度（通常 40~60℃）。

超声波发生器（可选）：增强空化效应，提升清洗效率。 十堰二孔位盲孔产品电镀设备半导体晶圆除油，颗粒残留≤0.5μm！

盲孔产品电镀前处理‌是电镀过程中的一个重要环节，其主要目的是：

修整工件表面，去除工件表面的油脂、锈皮、氧化膜等，为后续的镀层沉积提供所需的工件表面。

长期生产实践证明，如果金属表面存在油污等有机物质，虽有时镀层亦可沉积，但总因油污“夹层”使电镀层的平整程度、结合力、抗腐蚀能力等受到影响，甚至沉积不连续、疏松，乃至镀层剥落，使丧失实际使用价值。因此，镀前的除油成为一项重要的工艺操作。

除油剂的组成

根据油脂的种类和性质，除油剂包含两种主体成分，碱类助洗剂和表面活性剂。

盲孔加工技术的突破瓶颈

在精密制造领域，盲孔结构因其独特的空间约束特性，成为衡量加工精度的重要指标。传统机械钻孔工艺在0.3mm以下孔径时，易产生毛刺、孔壁不规整等问题。随着半导体封装、微型传感器等领域的需求升级，负压辅助加工技术的引入，使盲孔加工精度提升至±5μm以内，有效解决了深径比超过10:1的技术难题。

负压环境的物理作用机制

在真空负压环境下（10^-3Pa量级），材料去除过程产生的热量可通过分子热传导快速消散。研究表明，该环境下刀具磨损速率降低40%，加工表面粗糙度Ra值从0.8μm优化至0.2μm。负压气流还能实时切削碎屑，避免二次污染，特别适用于生物医学植入体等洁净度要求严苛的场景。

单批次时间缩 40%，自动化省人工！

盲孔产品电镀的前处理是确保电镀层均匀性和附着力的关键步骤，

主要包括清洁、活化、粗化等环节。以下是具体的技术要点和步骤：‌

1. 表面清洁‌去除油污和杂质‌：使用清洗剂、酸洗或乳化处理等方法彻底盲孔表面的油污、氧化物和其他杂质。例如，浓硫酸加少量OP乳化剂可用于辅助除油，但需控制温度在50～65℃以防止腐蚀。‌灰膜处理‌：酸洗后表面可能形成灰膜，需使用不含防染盐的脱膜粉溶液处理，以确保表面清洁。

2. 活化处理‌催化活化‌：在盲孔内部涂覆催化剂（如钯），以促进后续电镀过程。这一步骤对于确保盲孔内部均匀电镀至关重要。‌加速剂使用‌：在某些情况下，使用加速剂可提高活化过程的效率和效果。

3. 粗化处理‌增强结合力‌：通过粗化处理使盲孔表面变得粗糙，增加电镀金属与基材之间的接触面积，从而提高镀层的附着力。

4. 电镀液填充与抽真空‌抽真空‌：在电镀前抽真空，使高浓度电镀药水充分填充盲孔内部，确保内外壁电流分布均匀。‌电镀液选择‌：选择高浓度电镀药水，提高电镀溶液的电导率，确保金属镀层的质量和均匀性。 配备真空超声波系统，在 - 0.08MPa 环境下增强空化效应，改善深孔清洗均匀性。浙江真空环境盲孔产品电镀设备

真空除油满足需负压条件的工艺要求，像电镀或前处理过水时，解决盲孔产品因药水无法进入而产生不良和漏镀。四川实验室级盲孔产品电镀设备

真空除油设备智能环保型：

智能真空除油系统工作流程

AI预处理：通过光谱传感器实时分析油液污染度，自动匹配比较好处理参数（真空度、温度、循环次数）；

真空蒸发：在-98kPa真空环境下，油液经红外加热至55℃，水分与轻烃类物质快速汽化；

催化净化：集成贵金属催化剂模块，将油液中氧化产物分解为无害成分；

闭环回收：冷凝系统将水蒸气转化为液态水排出，净化后的油液经超滤膜过滤后循环使用

环保性能亮点溶剂消耗量减少92%，年处理500吨油液需补充8L净化剂配置VOCs冷凝回收装置，废气排放量低于国家标准1/10采用模块化设计，90%组件可回收再利用 四川实验室级盲孔产品电镀设备