依据机械加工原理、半导体材料工程学、物力化学多相反应多相催化理论、表面工程学、半导体化学基础理论等,对硅单晶片化学机械抛光(CMP)机理、动力学控制过程和影响因素研究标明,化学机械抛光是一个复杂的多相反应,它存在着两个动力学过程:(1)抛光首先使吸附在抛光布上的抛光液中的氧化剂、催化剂等与衬底片表面的硅原子在表面进行氧化还原的动力学过程。这是化学反应的主体。(2)抛光表面反应物脱离硅单晶表面,即解吸过程使未反应的硅单晶重新裸露出来的动力学过程。它是控制抛光速率的另一个重要过程。硅片的化学机械抛光过程是以化学反应为主的机械抛光过程,要获得质量好的抛光片,必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡。如果化学腐蚀作用大于机械抛光作用,则抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹。如果机械磨削作用大于化学腐蚀作用,则表面产生高损伤层。 如何区分抛光液的的质量好坏。杭州中性抛光液规格
陶瓷抛光液1.本产品不含重金属、不含有毒有害物质,对环境友好;2.本产品主要由其金刚石微粉、分散稳定剂、悬浮剂、pH值调节剂、防腐剂、有机溶剂和去离子水组成,3.具有适用性强,产品分散性好,粒度均匀、规格齐全、品质稳定等特点。产品概述本产品是专门针对陶瓷的一款高效研磨液,能快速去除表面缺陷,具有一定的润滑、冷却作用,易于研磨后的清洗,悬浮性能好,金属离子螯合能力强。主要成分:金刚石/硅溶胶应用领域:广泛应用于各类陶瓷制品(氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、氮化硅陶瓷件、碳化硅陶瓷件、石墨陶瓷件、氮化硼陶瓷等)工件的研磨,具有良好的研磨效果。产品特点:1.本产品不含重金属、不含有毒有害物质、对环境友好。2.本产品主要由其金刚石微粉、分散稳定剂、悬浮剂、pH值调节剂、防腐剂、有机溶剂和去离子水组成。3.具有适用性强、产品分散性好、粒度均匀、规格齐全、品质稳定等特点。 广东中性抛光液性能质量好的抛光液的公司联系方式。
化学机械作用研磨液:化学机械作用研磨液利用了磨损中的“软磨硬”原理,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的抛光表面,是机械削磨和化学腐蚀的组合技术,它借助超微粒子的研磨作用和化学腐蚀作用在被研磨的介质表面形成光洁平坦表面。所以化学机械作用研磨液又称为化学机械抛光液(Chemical Mechanical Polishing,简称CMP)。在一定压力及抛光浆料存在下,被抛光工件相对于抛光垫作相对运动,借助于纳米粒子的研磨作用与氧化剂的腐蚀作用之间的有机结合,在被研磨的工件表面形成光洁表面。
铜及铜合金抛光液1.本产品不含重金属、不含有毒有害物质,对环境友好。2.本产品分为粗抛、精抛两个级别,用于铜及铜合金工件表面各种效果要求的抛光。产品概述本产品是专门针对铜及铜合金的一款高效抛光液,能快速去除铜材料表面氧化层、污物、坑点、划痕等,快速地抛出高质量表面。主要成分:金刚石/硅溶胶应用领域:1.适用于铜及铜合金工件的抛光,具有良好的抛光效果。2.广泛应用在电力、高铁、汽车部件、空调、生活家电、散热系统、精密电子、精密仪器、航空航天、通讯腔体、机箱机柜、晶振晶体等领域。产品特点:1.本产品不含重金属、不含有毒有害物质,对环境友好。2.本产品分为粗抛、中抛、精抛三个级别,用于铜及铜合金工件表面各种效果要求的抛光。哪家公司的抛光液的是有质量保障的?
依据机械加工原理、半导体材料工程学、物力化学多相反应多相催化理论、表面工程学、半导体化学基础理论等,对硅单晶片化学机械抛光(CMP)机理、动力学控制过程和影响因素研究标明,化学机械抛光是一个复杂的多相反应,它存在着两个动力学过程:(1)抛光首先使吸附在抛光布上的抛光液中的氧化剂、催化剂等与衬底片表面的硅原子在表面进行氧化还原的动力学过程。这是化学反应的主体。(2)抛光表面反应物脱离硅单晶表面,即解吸过程使未反应的硅单晶重新裸露出来的动力学过程。它是控制抛光速率的另一个重要过程。硅片的化学机械抛光过程是以化学反应为主的机械抛光过程,要获得质量好的抛光片,必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡。如果化学腐蚀作用大于机械抛光作用,则抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹。如果机械磨削作用大于化学腐蚀作用,则表面产生高损伤层。哪家的抛光液性价比比较高?广东中性抛光液性能
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高锰酸钾:可当作1种氧化剂添加到拋光溶液中,当抛光液中午硝酸时,加入高锰酸钾能够提升 光滑度和光亮度,在有高锰酸钾的情形下,在抛光溶液中加入一定量的硝酸铵时,黄烟的形成量会明显减少,甚至于没有黄烟。高锰酸钾的加入量一般5~10g/L。尿素:有着遏制氮氧化物逸出的功效,另外还能改进抛光效果,在运用尿素时要注意硝酸的使用量和温度,运用尿素时如控制不合理或抛光液中有催化性杂质存在时,尿素会促使硝酸的分解而形成大量的氮氧化物气体,另外也使抛光表层粗糙。杭州中性抛光液规格