由于电动汽车(EV)和其他系统的快速增长,对碳化硅(SiC)衬底和功率半导体的需求正在激增。由于需求量大,市场上SiC基板、晶圆和SiC基器件供应紧张,促使一些供应商在晶圆尺寸转换过程中增加晶圆厂产能。一些SiC器件制造商正在晶圆厂从4英寸晶圆过渡到6英寸晶圆。SiC(碳化硅功率器件)是一种基于硅和碳的化合物半导体材料。在生产流程中,专门的碳化硅衬底和晶圆被开发,然后在晶圆厂中进行加工,从而形成基于碳化硅的功率半导体。许多基于SiC的电源半成品和竞争对手的技术都是晶体管,可以在高压下切换设备中的电流。它们被用于电力电子领域,在电力电子领域中,设备转换和控制系统中的电力。哪家公司的碳化硅衬底的口碑比较好?led碳化硅衬底4寸n型
SiC电子器件是微电子器件领域的研究热点之一。SiC材料的击穿电场有4MV/cm,很适合于制造高压功率器件的有源层。而由于SiC衬底存在缺点等原因,将它直接用于器件制造时,性能不好。SiC衬底经过外延之后,其表面缺点减少,晶格排列整齐,表面形貌良好,比衬底大为改观,此时将其用于制造器件可以提高器件的性能。为了提高击穿电压,厚的外延层、好的表面形貌和较低的掺杂浓度是必需的。一些高压双极性器件,需外延膜的厚度超过50μm,掺杂浓度小于2×1015cm-3,载流子寿命大过1us。对于高反压大功率器件,需要要在4H-SiC衬底上外延一层很厚的、低掺杂浓度的外延层。为了制作10KW的大功率器件,外延层厚度要达到100μm以上。高压、大电流、高可靠性SiC电子器件的不断发展对SiC外延薄膜提出了更多苛刻的要求,需要通过进一步深入的研究提高厚外延生长技术。上海碳化硅衬底进口4寸半绝缘哪家碳化硅衬底的质量比较高?
碳化硅衬底可分为两类:一类是具有高电阻率(电阻率≥105Ω·cm)的半绝缘型碳化硅衬底,另一类是低电阻率(电阻率区间为15~30mΩ·cm)的导电型碳化硅衬底。国内供需仍存缺口,有效产能不足。我国2020年碳化硅导电型衬底产能约40万片/年(约当4英寸)、外延片折合6英寸22万片/年、器件26万片/年;半绝缘型衬底折算4英寸产能近18万片/年。受限于良率及技术影响,目前国内实际项目投产较为有限,实际产能开出率较低。随着新能源汽车、5G等下游应用市场的快速起量,国内现有产品供给无法满足需求,目前第三代半导体主要环节国产化率仍然较低,超过80%的产品要靠进口。
SiC由Si原子和C原子组成,其晶体结构具有同质多型体的特点,在半导体领域常见的是具有立方闪锌矿结构的3C-SiC和六方纤锌矿结构的4H-SiC和6H-SiC。21世纪以来以Si为基本材料的微电子机械系统(MEMS)已有长足的发展,随着MEMS应用领域的不断扩展,Si材料本身的性能局限性制约了Si基MEMS在高温、高频、强辐射及化学腐蚀等极端条件下的应用。因此寻找Si的新型替代材料正日益受到重视。在众多半导体材料中,SiC的机械强度、热学性能、抗腐蚀性、耐磨性等方面具有明显的优势,且与IC工艺兼容,故而在极端条件的MEMS应用中,成为Si的优先替代材料。质量好的碳化硅衬底的找谁好?
碳化硅之所以引人注目,是因为它是一种宽带隙技术。与传统的硅基器件相比,SiC的击穿场强是硅基器件的10倍,导热系数是硅基器件的3倍,非常适合于高压应用,如电源、太阳能逆变器、火车和风力涡轮机。在另一个应用中,碳化硅用于制造LED。比较大的增长机会是汽车,尤其是电动汽车。基于SiC的功率半导体用于电动汽车的车载充电装置,而该技术正在该系统的关键部件牵引逆变器中取得进展。牵引逆变器向电机提供牵引力以推进车辆。对于这种应用,特斯拉正在一些车型中使用碳化硅动力装置,而其他电动汽车制造商正在评估这项技术。”当人们讨论碳化硅功率器件时,汽车市场无疑是焦点。“丰田(Toyota)和特斯拉(Tesla)等先驱者的SiC活动给市场带来了很多兴奋和噪音。”SiCMOSFET在汽车市场上具有潜力。但也存在一些挑战,如成本、长期可靠性和模块设计。 哪家碳化硅衬底的质量比较好。上海碳化硅衬底进口6寸
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因此,对于牵引逆变器,从IGBT转移到SiCMOSFET是有意义的。但这并不是那么简单,因为成本在等式中起着重要作用。然而,特斯拉已经采取了冒险行动。该公司在其型号3中使用了意法半导体公司的SiCMOSFET,并补充说特斯拉也在使用其他供应商。其他汽车制造商也在探索这项技术,尽管出于成本考虑,大多数原始设备制造商并未加入这一行列。不过,有几种方法可以实现从IGBT到SiCMOSFET的切换。根据Rohm的说法,有两种选择:•将IGBT保留在系统中,但将硅二极管更换为SiC二极管。•用SiC基MOSFET和二极管替换硅基IGBT和二极管。led碳化硅衬底4寸n型
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