陶瓷机械手臂相关图片
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陶瓷机械手臂基本参数
  • 品牌
  • 亿嘉
  • 型号
  • YJA100021
陶瓷机械手臂企业商机

碳化硅陶瓷制作的机械手臂会优于氧化铝陶瓷制作的机械手臂。常压烧结碳化硅陶瓷制品,采用高纯超细碳化硅微粉,经2450℃高温烧结而成,碳化硅含量在99.1%以上,制品密度≥3.10g/cm3,不含金属硅等金属杂质。碳化硅陶瓷材料主要性质:

(1)耐高温--1800℃温度下正常使用;

(2)高热导性--和石墨材料的导热性相当;

(3)硬度高--硬度*次于金刚石、立方氮化硼;

(4)耐腐蚀--强酸、强碱对其无任何腐蚀,抗腐蚀性优于碳化钨和氧化铝;

(5)重量轻--密度3.10g/cm3,与铝接近,;

(6)不变形--极小的热膨胀系数,

(7)抗热震--该材料可承受急剧的温度变化,抗热冲击,耐急冷急热,性能稳定。 什么地方需要使用 陶瓷机械手臂。江苏环保陶瓷机械手臂价格咨询

晶圆传输机械手臂

概述晶圆传输机械手是晶圆输送系统的一種典型应用。按应用环境,可分为洁净机械手和真空机械手。洁净机械手主要应用在洁净大气环境中,为避免运动部件产生粒子污染源影响系统洁净度及基于减少晶圆表面污染等原因,一般将驱动、传动部件隔离在晶圆传输路径之外或将其封闭在**的防尘空间内。

真空机械手一般应用在1×10-5Pa真空环境中,除了满足洁净环境的要求外,还要求适应真空环境,结构比洁净机械手更复杂。晶圆传输机械手大都在有限的空间中实现晶圆的快速搬运,因此对其运动特性、反映灵敏性、运动准确性等方面,都有较高的要求。按传动方式,可分为平面关节型机械手(SCARA)和径向直线运动(R.θ)型机械手。典型的平面关节型机械手(图1)有4个自由度,分别为大臂回转、小臂回转、末端执行器回转以及升降运动,每个关节由**的电机驱动,其手臂与末端执行器之间的运动相互独立,这样有利于运动的调整及对旋转角度进行补偿。但因其升降结构设置在末端执行器一侧,空间尺寸无法满足去晶圆盒或反应腔取送晶圆的要求,故应用并不***。 江苏新能源陶瓷机械手臂销售电话哪家公司的陶瓷机械手臂的是有质量保障的?

作为半导体生产设备的关键部件,精密陶瓷部件的研发生产直接影响着半导体装备制造业乃至整个半导体产业链的发展。可以说,精密陶瓷部件是整个半导体产业基础中的基础。因此,无论从经济安全角度还是产业成本角度考虑,要突破我国半导体产业面临的“卡脖子”窘境,必须重视精密陶瓷部件等半导体生产设备关键部件的国产化发展。

精密陶瓷在半导体中的应用

半导体设备需要大量的精密陶瓷部件。由于陶瓷具有高硬度、高弹性模量、高耐磨、高绝缘、耐腐蚀、低膨胀等优点,可用作硅片抛光机、外延/氧化/扩散等热处理设备、光刻机、沉积设备,半导体刻蚀设备,离子注入机等设备的零部件。半导体陶瓷有氧化铝、氮化硅、氮化铝、碳化硅等,在半导体设备中,精密陶瓷的价值约占16%左右。

半导体制程重要辅助设备:

晶圆传输机器人半导体机械手、半导体机器人,硅片机器人、硅片机械手等,均指半导体晶圆传输机器人。重点用在半导体工艺设备和Foundry厂等,典型应用如蚀刻机、光刻机、薄膜沉积设备(PVD、CVD)、晶圆清洗设备、CMP设备、离子注入机、检测设备(ATE、探针台、分选机)、涂胶显影机、晶圆片键合机、去胶设备和显影设备等。全球半导体机械手(SemiconductorWaferTransferRobots)主要生产商包括了BrooksAutomation、DAIHENCorporation、HirataCorporation和Yaskawa,PhoenixEngineering。北美是全球比较大的半导体机械手市场,其市场份额大约为25%,再者是中国大陆及中国台湾地区。目前该行业属于前列细分领域,国产替代空间大。目前率先在中国实现国产设备量产的厂家有苏州菲科半导体。 哪家的陶瓷机械手臂成本价比较低?

1、耐高温氧化铝工业陶瓷管稳定性好耐高温氧化铝陶瓷厂家声称陶瓷工业氧化铝工业陶瓷管的表面能阻燃,耐火性好,在1200度高温下不会影响其工作性能。耐高温氧化铝陶陶瓷管是所有酸碱物品和其他化学品的克星,无论是化学溶剂、坣壱屲腐蚀剂或其他化学染料,都不会对陶瓷管的表面有造成影响。

2、耐高温氧化铝工业陶瓷管易清洗氧化铝陶瓷厂家声称耐高温氧化铝工业陶瓷管表面强大的抗腐蚀能力使其能很方便的用洗涤溶液清洗,而不会影响它的颜色和表面;而且无渗透的紧密表面,也不容易粘附灰尘。 质量比较好的陶瓷机械手臂的公司。江苏环保陶瓷机械手臂价格咨询

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洁净材料

晶圆搬运系统需选择合适的材料及表面处理方法,来降低对洁净环境的污染。洁净机器人的常用材料有如下几个类别:不锈钢有良好的洁净度,耐腐蚀,硬度高,热膨胀小。但与铝相比成本高,且因密度大,在运动中需要更高的能耗和更复杂的控制算法。因此主要用于较小的运动部件。铝合金质轻,强度高,无毒,无磁,无火花,耐腐蚀,加工简单。是洁净机器人中结构件的典型材料。但在潮湿环境中会发生电化学腐蚀,需要进行表面处理来抑制腐蚀和污染。 江苏环保陶瓷机械手臂价格咨询

苏州亿嘉新材料科技有限公司主要经营范围是机械及行业设备,拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。公司业务分为半导体陶瓷手臂,微孔陶瓷吸盘,特种陶瓷结构件,工业陶瓷精密结构件等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供良好的产品和服务。公司秉持诚信为本的经营理念,在机械及行业设备深耕多年,以技术为先导,以自主产品为重点,发挥人才优势,打造机械及行业设备良好品牌。亿嘉精密陶瓷秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念,全力打造公司的重点竞争力。

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