陶瓷吸盘的应用原
通过施加正压和负压气体吸收或漂浮工件，工件包括晶圆，玻璃，PET薄膜或其他薄物体，将负真空压力的气流设定为进入陶瓷，工件可吸附，将正真空压力的气流设置为从陶瓷中流出，该部分可以吹起或不接触陶瓷。
多孔陶瓷由氧化铝和碳化硅制成，颜色包括白色，浅棕色，深棕色，蓝灰色-6“，8”，12“常规尺寸，有圆形，方形，椭圆形或不规则形状和尺寸。-孔径包括 3um. 5um . 8um、10um、15um. 30um、50um、100um。-比较大可以做1500mm
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微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具，应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序。
亿嘉公司生产的工作盘可以和日本、德国、以色列、美国及国产的设备配套使用，具有优越的性能价格比。加工对象：2、3、4、5、6、8、12英寸的半导体片。吸盘类型：微孔陶瓷。主要特点：平面度、平行度好，组织致密均匀、强度高、通透性好、吸附力均匀。
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微孔陶瓷真空吸附盘是具有高孔隙率、平面度、高平整度，及吸附能力非常强等特点，广泛应用于半导体、磁性材料、电子行业。Fountyl加工的微孔陶瓷的主要特点：平面度、平行度好、组织致密均匀、强度高、通透性好、吸附力均匀、易于修整。
真空吸盘要求高孔隙率，超微细孔径的场合，Fountyl微孔陶瓷正空吸盘, 微孔陶瓷的结构形状有很多种，都是由无数不同规格的硅酸铝瓷质颗粒**而成，**时不同规则地形成了几十微米到0.1微米的自由空隙，经过掺入高温（１5００℃）的溶蚀粘结物，再经烧结而获得强度大、空隙多而小、耐腐蚀、耐高温的微孔陶瓷。经特殊工艺加工出来的微孔陶瓷材料，采用粗细均匀的颗粒，加工出来的陶瓷板具有孔径分布均匀，研磨后的表面光滑平整，可替代国外进口材料，是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具，应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序，广泛应用于半导体、印刷、电子陶瓷等行业的真空吸盘设备
多孔陶瓷
播报编辑讨论上传视频多孔性陶瓷材料多孔陶瓷材料是以刚玉砂、碳化硅、堇青石等质量原料为主料、经过成型和特殊高温烧结工艺制备的一种具有开孔孔径、高开口气孔率的一种多孔性陶瓷材料、具有耐高温，高压、抗酸、碱和有机介质腐蚀，良好的生物惰性、可控的孔结构及高的开口孔隙率、使用寿命长、产品再生性能好等优点，可以适用于各种介质的精密过滤与分离、高压气体排气消音、气体分布及电解隔膜等
原 料 刚玉砂、碳化硅、堇青石
特 点 耐高温高压抗酸碱和有机介质腐蚀 哪家微孔陶瓷吸盘微孔的质量比较高？
多孔陶瓷吸盘（微孔陶瓷吸盘）该工艺是利用植物材质(碳粉等)的天然多孔组织，将其在800~1000℃下和惰性气体环境中再经烧结而获得强度大、空隙多而小、耐腐蚀、耐高温的微孔陶瓷。碳化硅得到与碳多孔结构几乎完全相同的碳预制体。然后以碳预制体为模板，1600℃时液态硅蒸发形成的硅蒸汽渗入模板与碳化合形成多孔碳化硅陶瓷。该工艺过程简单，成本低廉，但制品的孔结构主要决定于材质本身的组织，可设计性较差，同时SiC的转化率相对较低。也可将木材在真空中浸渍渗入树脂，之后在1200℃左右热解，冷却后得到一定孔隙率的木材陶瓷。微孔陶瓷吸盘微孔厂家。广东附近哪里有微孔陶瓷吸盘微孔厂家价格
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静电吸盘产品对于普通的硅晶圆加工，高纯氧化铝或蓝宝石可以满足要求，但若用在碳化硅晶圆加工，导热性就有所不足了，必须要用氮化铝才能达到要求。据闻，氮化铝在半导体领域的应用在国外已成为氮化铝陶瓷的主要市场，目前芯片大厂所用的半导体加工设备上的氮化铝静电吸盘，大部分来自于NGK。比较**的静电吸盘甚至可以卖到几十万到上百万人民币，真不愧是陶瓷产品中的“奢侈品”。
但不同的晶圆加工工序，对静电吸盘的要求也各不相同，用于不同应用要求的静电吸盘在总体结构上往往不同，其次在电极层的设计上也存在较大的差别，如双半圆双极型电极层、六相型电极层或是异形状电极层 福建国产微孔陶瓷吸盘微孔咨询报价
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