天津制造半导体与电子工程塑料零件定制加工品牌排行榜

    所述***衬套部的外径小于所述第二衬套部的外径，所述定位凸起形成在所述第二衬套部的外壁上，且所述第二衬套部与所述工艺盘转轴的安装孔相配合。推荐地，所述工艺盘组件还包括传动筒，所述驱动轴和所述驱动衬套设置在所述传动筒内，且所述驱动轴背离所述工艺盘转轴的一端与所述传动筒固定连接，所述传动筒用于带动所述驱动轴转动。推荐地，所述工艺盘组件还包括密封衬套，所述密封衬套环绕设置在所述传动筒的外壁上；所述工艺盘组件还包括挡环，所述传动筒的外壁上形成有挡环槽，所述挡环环绕所述传动筒设置在所述挡环槽中，所述挡环的外径大于所述密封衬套朝向所述工艺盘一端的内径。推荐地，所述工艺盘组件还包括调平件，所述传动筒的内壁上形成有内凸台结构，所述内凸台结构环绕传动筒的内壁设置，所述调平件与所述驱动轴固定连接，且沿轴线方向分别设置在所述内凸台结构的两侧，以将所述内凸台结构夹持在所述调平件与所述驱动轴之间，所述调平件能够调整其自身与所述传动筒之间的角度。推荐地，所述驱动轴与所述工艺盘转轴中至少一者的材料为奥氏体不锈钢。作为本实用新型的第二个方面，还提供一种半导体设备，包括工艺腔和工艺盘组件，其中。并其生产过程依照优良制造标准（GMP）控制。天津制造半导体与电子工程塑料零件定制加工品牌排行榜

    得到排胶后的***预制坯。(5)将排胶后的***预制坯升温至300℃，加入第二碳源酚醛树脂，加热2h，然后抽真空1h，再以氮气加压至5mpa，进行压力浸渗，让高含碳液体渗入预制坯的孔隙中，降温得到第二预制坯。(6)将第二预制坯放置于真空排胶炉中，以每分钟℃的速度升温至900℃，保温3h，排胶后，机加工得到排胶后的第二预制坯。(7)将排胶后的第二预制坯和硅粉按质量比为1∶2在石墨坩埚中混合，然后放置于真空高温烧结炉中进行反应烧结，烧结温度为1600℃，保温时间为3h，冷却后，得到碳化硅陶瓷。实施例3本实施例的碳化硅陶瓷的制备过程具体如下：(1)以氧化铈与碳化硅微粉的质量比为5∶100，得到氯化铈与碳化硅微粉的质量比为，然后将氯化铈溶解在水和酒精的混合溶液中，溶解完全后加入***分散剂丙烯酸铵与丙烯酸钠的混合物，然后加入粒径为10μm的碳化硅微粉，搅拌均匀，得到***浆料。在冰浴条件下加入与***浆料的质量比为∶1的环氧丙烷，搅拌均匀得第二浆料。将第二浆料在闭式喷雾塔中喷雾，得到表面覆盖有氧化铈的碳化硅颗粒。然后将碳化硅颗粒在真空条件、900℃下进行热处理1h，得到预处理颗粒。(2)将第二分散剂丙烯酸铵与丙烯酸钠的混合物溶解在水中形成溶液。天津PE半导体与电子工程塑料零件定制加工定制CNC加工半导体零件可缩短周转时间并减少浪费，避免增加成本。

    本实用新型涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种半导体设备中的工艺盘组件，以及一种包括该工艺盘组件的半导体设备。背景技术：半导体设备通常由工艺腔和设置在工艺腔内的工艺盘组成，工艺盘用于承载待加工的工件，工件与工艺腔中通入的工艺气体发生化学反应或者由工艺气体形成沉积物沉积在工件表面，完成晶片的外延等半导体工艺。为了保证工艺盘上热量的均匀性，通常采用电机等设备驱动工艺盘旋转，目前的工艺盘驱动机构通常包括滑动轴、衬套和石英转轴。其中，石英转轴用于驱动工艺盘旋转，衬套套设在滑动轴上，石英转轴套设在衬套上，且滑动轴、衬套和石英转轴三者轴线重合，衬套通过贴合面之间的摩擦作用将滑动轴的扭矩传递至石英转轴上。然而，基于这种结构目前的半导体设备经常出现工件放偏、工艺效果不佳、工艺盘旋转卡顿等问题。技术实现要素：本实用新型旨在提供一种用于半导体设备的工艺盘组件，该工艺盘组件能够解决上述技术问题中的至少一者。为实现上述目的，作为本实用新型的***个方面，提供一种半导体设备中的工艺盘组件，包括工艺盘和工艺盘转轴，所述工艺盘转轴用于驱动所述工艺盘旋转，所述工艺盘组件还包括驱动轴和驱动衬套。

    附图标记说明01：工艺盘1：工艺盘转轴2：驱动衬套210：***衬套部211：驱动通孔211a：避让槽220：第二衬套部221：轴通孔222：定位凸起3：驱动轴310：驱动连接部320：驱动轴体部311：定位平面312：圆柱面4：传动筒41：内凸台结构42：外凸台结构43：挡环槽5：密封衬套6：波浪管7：挡环8：调平件9：传动架91：传动法兰92：法兰连接件10：轴承座101：上法兰102：下法兰11：升降机构12：电机13：定位块具体实施方式以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式*用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。本实用新型的发明人在实验中发现，工件在工艺盘上出现摆放位置偏移的问题是工艺盘与相应的旋转传动组件之间出现滑移导致的。发明人在进行过大量实验研究后发现，在现有的半导体设备中，为了实现向工艺盘传递扭矩，通常采用圆柱面摩擦传动的方式带动，而正是该摩擦传动方式使得传动件的摩擦面长时间发生相对转动，导致配合面发生摩擦磨损，进而影响了对位精度。因此，为解决上述技术问题，作为本实用新型的***个方面，提供一种半导体设备中的工艺盘组件，如图1至3所示，工艺盘组件包括工艺盘01和工艺盘转轴1。与高度研磨液接触，暴露于多种高腐蚀性化学品。

    工艺盘组件还包括升降机构11，升降机构11与轴承座10连接，用于驱动轴3承座沿传动筒4的轴线方向运动。在本实用新型的实施例中，传动筒4通过轴承轴向固定于轴承座10内，因此升降机构11可以带动传动筒4升降，进而带动工艺盘转轴1和工艺盘01在腔室中升降。推荐地，如图2至4所示，工艺盘组件还包括波浪管6，波浪管6套设在传动筒4的外侧，波浪管6的一端与轴承座10固定连接，波浪管6的另一端用于与工艺腔密封连接。需要说明的是，波浪管6的上端与工艺腔(图未示)的腔室连通，波浪管6的下端与传动机构之间不连通，由于将波浪管气孔61输入的工艺气体导入腔室中以及将反应后的气体由波浪管气孔61导出。在轴承座10进行升降运动时，波浪管6的长度随之改变。本实用新型的实施例中设置波浪管6环绕在传动筒4的外侧，从而利用波浪管6与传动筒4外壁之间的空隙实现了工艺气体的输送，节约了设备空间。为减轻传送组件在升降过程中的振动，提高组件的稳定性，推荐地，如图1所示，工艺盘组件还包括定位块13，定位块13与上法兰101的上表面固定连接。定位块13推荐为弹性材料。在轴承座10向上运动超过预定高度时，定位块13接触上方连接在工艺腔底部的缓冲架，使轴承座10停止上升。耐热聚合物可用作耐高温薄膜绝缘材料、耐高温纤维、耐高温涂料、 耐高温粘合剂等。浙江FRP半导体与电子工程塑料零件定制加工特质

工程塑料,绝缘材料板机加工零件。天津制造半导体与电子工程塑料零件定制加工品牌排行榜

    为地方财政收入做出积极的贡献。3、项目达产年投资利润率，投资利税率，全部投资回报率，全部投资回收期，固定资产投资回收期（含建设期），项目具有较强的盈利能力和抗风险能力。民营企业贴近市场、嗅觉敏锐、机制灵活，在推进企业技术创新能力建设方面起到重要作用。认定国家技术创新示范企业和培育工业设计企业，有助于企业技术创新能力进一步升级。同时，大量民营企业走在科技、产业、时尚的**前沿，能够综合运用科技成果和工学、美学、心理学、经济学等知识，对工业产品的功能、结构、形态及包装等进行整合优化创新，服务于工业设计，丰富产品品种、提升产品附加值，进而创造出新技术、新模式、新业态。经过多年的积累，我省制造业已具有了相当规模和产业特色，现代产业体系逐步建立，传统产业转型升级成效***，特色优势产业实力***提升，发展内生动力持续增强，为下一步制造业转型升级奠定了良好基础。省委省**把以制造业为主的产业转型升级，作为稳增长、促转调、提质效的重中之重，强力推进。省委第十届十二次全委会以全力打好稳增长调结构主动仗为主要内容，提出要更加自觉、更加有力地推动稳增长调结构，为走在前列奠定坚实的经济基础。天津制造半导体与电子工程塑料零件定制加工品牌排行榜

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