汕头进口微孔陶瓷真空吸盘设计

二、烧成

氧化锆在不同温度下，存在着三种同质异形体，即立方晶系、单斜晶系和四方晶系。氧化锆晶形的转变温度如下：

由单斜晶系转化为四方晶系时伴有7％左右的体积变化。加热时由单斜一氧化锆转变为四方一氧化锆发生体积收缩；冷却时由四方一氧化锆转变为单斜一氧化锆发生体积膨胀，这种收缩与膨胀并不发生在同一温度，前者约为1200ºC，后者约为1000ºC。

氧化锆陶瓷的烧结温度随原料的制备方法、细度、添加剂种类和加入量的多少而不同，一般在1500～1650ºC之间，因此氧化锆陶瓷没有统一的烧成曲线，其适宜的烧成制度要通过烧成试验能得到。氧化锆陶瓷的烧成由于伴随着体积的变化，很容易出现开裂，因此烧成曲线的选择在氧化锆陶瓷烧成过程中是非常重要的。要注意控制升温速率，特别在其晶相转变温度区域内，升温速率要放慢，对厚胎和大件制品更要注意升温速率。在1100ºC以上降温速率也要控制好，不能太快，否则也会出现开裂。 微孔陶瓷真空吸附盘是具有高孔隙率、**度、高平整度，及吸附能力非常强等特点.汕头进口微孔陶瓷真空吸盘设计

2、工艺要精湛

只有现成的设备还不足以***保证氧化锆陶瓷的产品质量，还应该拥有配套的生产工艺，所以氧化锆陶瓷生产工艺是否精湛就是企业选择生产厂家时需要注意的另一个重点。只有工艺好，才能让生产出来的产品在耐磨、耐腐蚀、耐高温、耐酸碱度等方面表现更好，可以达到国际先进水平。

3、原材料质量要可靠

除了好的设备和好的工艺之外要想生产出来的氧化锆陶瓷质量更好，在原材料方面也要注意选择，企业在选择生产厂家时应该了解厂家使用的是什么材料，尽量选择采用现代 汕头进口微孔陶瓷真空吸盘设计吸附面材料为多孔陶瓷，实现了高精度自动切割。

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。

真空吸盘要求高孔隙率，超微细孔径的场合，Fountyl微孔陶瓷正空吸盘，孔大小在30微米到60微米的范围。微孔陶瓷的结构形状有很多种，都是由无数不同规格的硅酸铝瓷质颗粒**而成，**时不同规则地形成了几十微米到0.1微米的自由空隙，经过掺入高温（１5００℃）的溶蚀粘结物，再经烧结而获得强度大、空隙多而小、耐腐蚀、耐高温的微孔陶瓷。经特殊工艺加工出来的微孔陶瓷材料，采用粗细均匀的颗粒，加工出来的陶瓷板具有孔径分布均匀，研磨后的表面光滑平整，可替代国外进口材料，是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具，应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序，广泛应用于半导体、印刷、电子陶瓷等行业的真空吸盘设备。微孔陶瓷真空吸盘的着眼点及产品特点.

    一、陶瓷的增韧方法目前，陶瓷的增韧方法主要有：相变增韧、颗粒增韧、纤维增韧、自增韧、弥散韧化、协同增韧、纳米增韧等。1、相变增韧相变增韧是指亚稳定四方相t—ZrO2在裂纹前列应力场的作用下发生一相变，形成单斜相，产生体积膨胀，从而对裂纹形成压应力，阻碍裂纹扩展，起到增韧的作用。此外，外界条件（如激光冲击、疲劳断裂韧性、低温、晶粒尺寸和含量、临界转变能量等）对氧化锆陶瓷相变增韧有很大的影响，如果相变产生大的应力和体积变化，则产品容易断裂，因此生产过程中，应避免外界因素对氧化锆陶瓷相变增韧的影响。 再经烧结而获得强度大、空隙多而小、耐腐蚀、耐高温的微孔陶瓷。全国正规微孔陶瓷真空吸盘维修

我们开发了新型多孔陶瓷，它的孔径可以制作在小于1微米大到几百个微米的范围内。汕头进口微孔陶瓷真空吸盘设计

2)利用多孔陶瓷制备多孔电极。以多孔气体扩散电极为例，它的比表面积不但比平板电极提高3～5个数量级，而且液相传质层的厚度也从平板电极的10cm压缩到1O～10cm，从而**提高电极的极限电流密度，减少浓差极化。

敏感元件

陶瓷传感器的敏感元件工作原理是当微孔陶瓷元件置于气体或液体介质中时，介质的某些成分被多孔体吸附或与之反应，使微孔陶瓷的电位或电流发生变化，从而检验出气体或液体的成分。比较常用的有温度传感器、湿度传感器、气体传感器以及多功能传感器。

微孔膜

陶瓷分离膜因耐高温、耐酸碱、抗生物侵蚀、不老化、寿命长等优点，被开发应用于食品工业、生物化工、能源工程、环境工程、电子技术等领域。随着材料科学技术的发展，纳米级多孔无机膜的制备和应用成为人们目前研究的热点。微孔无机膜还应用于光学、电子学、磁学等领域。 汕头进口微孔陶瓷真空吸盘设计

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