汕尾本地晶圆运送机械吸臂设计

本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。

背景技术：

在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。

技术实现要素：

本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。

手臂的结构要紧凑小巧，才能做手臂运动轻快、灵活。汕尾本地晶圆运送机械吸臂设计

例如：寻找，运输，握取，对准，装配，检验等动作. 为了明确地描述工业机械人，美国机械人协会在1979年将机械人定义为一个可用程式控制，多功能的操作器，它透过程式控制和多变化的动作设计来移动材料，工件，工具或特别设备，以完成一连串的工作.所以，虽然许多工业机械人并非有人的形态，但只要它们符合机械人的定义，便可以称为机械人.工业机械人虽然已被广泛应用在多种制造行业内，但估计在不久将来还会有数以十万计的工业机械人投入服务.现时，不少研究人员正为机械人研究如何加入视觉和感觉，令机械人可以完成更复杂的工作.而研究机械人的学问称为机械人学。中山新款晶圆运送机械吸臂怎么联系操作机又定义为“是一种机器，其机构通常由一系列相互铰接或相对滑动的构件所组成。

    为圆柱的单晶硅晶锭更便于运输，有效的避免了在运输途中磕碰损坏，边角碎掉什么的造成材料损耗。而且，请仔细回想一下，你看到的晶圆是完全的圆的吗？非也！在硅棒做出来后，在200mm以下的硅棒上是切割一个平角，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上，为了减少浪费，只裁剪个圆形小口，叫做Notch。***再进行切片，得到的晶圆如下。那么，这个小豁口是做什么用的呢？很容易想到——定位。这样每片晶圆的晶向就能确定，在加工的时候也不容易出错了。所以，为什么“晶圆”没有方的？？？答案很简单，是一个历史遗留的问题，也是一个技术限制的问题。而且，真的没有必要做出来正方的硅片呢～。

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，**化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.9%。

晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路**主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。 关节式机械手因其结构复杂。广东官方晶圆运送机械吸臂价格便宜 X移动，Y移动，Z移动组成，通过在执行终端加装X转动，Y转动，Z转动可以到达空间内的任何坐标点。

随着智能工业的快速发展，我们越来越多的行业都使用了工业机器人代替人工作业，那么我们来说说工业机器人如六轴机器人是怎样的? 六轴工业机器人是一种用于自然科学相关工程与技术领域的工艺试验仪器，六轴机器人的六个轴，每个轴都是一个电机配备减速机来传动，各个轴的运动方式和方向都不同，每个轴其实是模拟人手的各个关节的动作。

一轴：一轴是连接底座的部位，主要是承载上面轴的重量与底座的左右旋转，一个左右旋转的动作就是使用电机与减速机传动的结果，每个轴都是代替一个方向的运动方式。

二轴：控制机器人主臂的前后摆动、整个主臂上下运动的功能。

三轴：三轴同样是控制机器人前后摆动功能，只是比第二轴的摆臂范围小。

四轴：四轴是控制机器人上面的圆形管的部分可自由旋转的部位，活动范围相当于人的小臂，不过不是360°旋转里面有电线跟人小臂的范围相同。

五轴：第五轴控制微调的上下翻转动作，通常是当产品抓取后可以使产品翻转的动作。

六轴：第六轴就是末端法兰哪个部分旋转功能。可以360°旋转。 对于半导体制造应用来说，常用的机械手臂是用来搬送晶片.韶关进口晶圆运送机械吸臂价位

单轴机械手臂作为一个组件在工业中应用***。汕尾本地晶圆运送机械吸臂设计

有用于输送半导体晶圆的机械手。具体地，该机械手将半导体晶圆插入到处理室（process chamber），或者将半导体晶圆从处理室中取出。传送室（transfer chamber）连结于处理室。机械手配置在该传送室内。利用机械手使半导体晶圆在传送室与处理室之间移动。传送室相当于小的无尘室。传送室防止灰尘等杂质附着于半导体晶圆。在传送室内保持空气（或者气体）清洁。另外，传送室内有时被保持为真空。要求使在传送室内工作的机械手不产生杂质的方法。汕尾本地晶圆运送机械吸臂设计

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