高纯气体管道设计安装

高纯气体管路设计要点：01输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度，在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。根据用气设备的分布情况吗，高纯气体的管网大小长短应适宜，不宜过大或过长。高纯气体管道设计安装

医用空气系统（压缩空气系统）：1医用压缩空气，经压缩空气机房输送至各医疗部分终端供使用。2压缩空气站，压缩空气站由空压机、储气罐、空气干燥器、三级过滤器及控制柜等组成。储气罐：防止空压机频繁启动。干燥器：空气干燥，使空气的压力lu点为+5℃，即使低温环境也不至于空气出现水珠。过滤器：满足医疗气体使用标准。3所输送的压缩空气应无菌、干燥、无油。吸进气体为室外清洁空气，吸气口必须阔别各类污气排放口。其它医用气体（N2O、CO2、N2）系统：1其它医用气体（N2O、CO2、N2）由气源站，经双路汇流排减压后，供至医用终端。2气源站 由于N2O、CO2、N2用气量较小，气源可以是钢瓶供给。气源站由钢瓶气体及汇流排组成，钢瓶气体二组，一用一备。小型气源站位置可靠近用气点，如手术间技术夹层等处，房间应有透风。杭州厂房气体管道设计解决方案实验室气体管道安全性，气体管道应使用耐腐蚀、耐压、无泄漏的材质。

辅助系统的设计。气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。材料的选择。特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光(EP)管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。

这期我们聊聊高纯气体的管路设计在实际应用上，应注意哪些要点？GP在管道设计上是如何实施？高纯气体管路设计要点：01气体特性，了解气体特性，规划单独的供应区域。一般根据气体特性分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区。将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙和泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体于毒性/腐蚀性气体放置同一区域。02输送距离，管路设计需要考虑输送至用气点的距离，距离越长，成本越高，风险越高。通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。实验室气体管道设计要求严格，需要考虑多个因素，确保供应的气体能够满足实验室内不同设备和实验的需求。

气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。易燃气体，如乙炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。高纯气体管道应采用承插焊接。杭州厂房气体管道设计解决方案

各种气体管道也应按标准单元组合设计。高纯气体管道设计安装

随着科技的不断进步，芯片制造技术越来越先进，对净化车间的要求也越来越高。在净化车间建设中，工业气体管道设计是非常重要的一项工作。下面，我们随合洁科技电子净化工程来了解一些必须要知道的设计标准。一、气体种类的选择，在设计气体管道时，首先需要明确管道运输的气体种类。不同的气体种类有不同的物理、化学性质，对管道材质、管道直径等都有不同的要求。因此，选择合适的气体种类至关重要。二、管道材质的选择，气体管道的材质对于气体输送的安全和可靠性有着重要的影响。因此，在选择管道材质时，需要考虑气体的性质、压力、温度等因素。一般来说，不锈钢、铜、塑料等材质都是比较常用的。高纯气体管道设计安装