苏州专业特气管道安装流程

硅烷（SiH4）是一种在常温常压下为具有恶臭的无色气体。它还是一种在室温下能着火、在空气或卤素气体中能爆裂性燃烧和剧毒性的特种气体。硅烷在高科技行业中应用越来越普遍，这与它的特性有关，同时也与行业的特殊需求有关。硅烷（SiH4）可以通过热分解或与其它气体的化学反应制得单晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物质。举例：半导体行业中，硅烷SiH4是显示屏制造中较关键的气体之一，与氨气（NH3）结合使用，形成用于a-Si晶体管的氮化硅层；与氧化亚氮（N2O）结合使用形成MO晶体管的氧化硅层。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。苏州专业特气管道安装流程

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为，特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。台州化验室特气管道安装焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。

特种气体管道安装要求说明：1）不锈钢，合金钢螺栓和螺母；2）管道设计温度高于50°C或低于0°C;3）室外安装;4）大气腐蚀性环境中或输送腐蚀性介质的管道。合金钢管道不应焊接临时支撑物。如有必要，请遵守相关的焊接规定。安装不锈钢管时，请勿用铁工具敲打。对于法兰上使用的非金属垫片，氯离子含量不得超过50ppm；对于连接到机器的管道，固定焊缝应远离机器。当>6000r/min时，位移值应小于0.02mm，速度应小于6000r/min，位移值应小于0.05mm。管道，法兰和机器法兰应保持平行和同轴，允许偏差不得超过设计文件或规定的要求。

特种气体管道配管应符合下列规定：1 按照管道系统单线图，应将规定尺寸的管段及预制好的管道有序放在管架上，用专门使用夹具定位后进行预连接，并应通入适量的高纯氩气进行保护；2 支架宜采用碳钢喷塑、不锈钢、热镀锌C型钢或铝合金的槽式桥架组合；3 支架应采用机械切割，不得气割，切割后的端头应倒角并涂环氧漆后加盖塑料封头；4 当采用有盖槽式不锈钢桥架或铝制桥架时，应采用树脂薄板将桥架与钢制综合支架隔离；5 管外径小于或等于1/2“管道宜采用a型不锈钢管卡或镀镍电工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不锈钢管卡或带塑料管束的镀锌P型卡。管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。

施工管理和现场施工的注意点： （1）焊工每天在焊接前必须先作焊接试样，经检查合格后方可进行焊接施工，每天的施工结束后还必须做一个末试样，以确认这里的焊接作业是否存在焊接隐患。每次电源变更的时候，都必须重新作试样。焊接试样要附上焊接参数。每天的焊接试样要妥善保存。(焊缝质量的检查主要有焊缝的宽笮度、焊缝的内外均匀度、焊缝的凹凸度、是否氧化、其他不允许的缺陷)，（2）架设到管架上的管道，在焊接作业开始后就要采取不间断充气的方式，即从施工开始到施工结束管道内都要处于冲气保护的状态，但在不进行焊接作业时可适当调小管内气压。但对要求不是很高的施工，为了降低成本，每天的焊接结束后，把两端用管帽和洁净胶带封死。在这里要特别提出的是对输送强腐蚀性气体的耐腐蚀性强的VM管进行对接施焊时，其充气时间必须要达到4-5分钟，而且必须不间断充气。在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。南京检验科特气管道安装厂商

项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训。苏州专业特气管道安装流程

特种气体管道安装施工方案需要考虑以下几个方面：1. 材料选择：特种气体管道需要选用适合的材料，如不锈钢、玻璃钢等，以确保管道的密封性和耐腐蚀性。2. 设计方案：根据现场情况和气体特性，设计合理的管道布局和安装方案，确保管道的安全和稳定运行。3. 施工准备：准备好必要的工具和设备，如切割机、焊接机等，确保施工现场的安全和清洁。4. 管道安装：按照设计方案进行管道的切割、焊接、连接等操作，确保管道的密封性和牢固性。5. 压力测试：在管道安装完成后，进行压力测试，以确保管道的密封性和耐压性。6. 吹扫和清洗：对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。7. 安全措施：在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。8. 质量控制：对施工过程进行质量控制，确保管道的安装质量符合相关标准和要求。苏州专业特气管道安装流程