洁净室气体管道设计施工规范

随着科技的不断进步，芯片制造技术越来越先进，对净化车间的要求也越来越高。在净化车间建设中，工业气体管道设计是非常重要的一项工作。下面，我们随合洁科技电子净化工程来了解一些必须要知道的设计标准。一、气体种类的选择，在设计气体管道时，首先需要明确管道运输的气体种类。不同的气体种类有不同的物理、化学性质，对管道材质、管道直径等都有不同的要求。因此，选择合适的气体种类至关重要。二、管道材质的选择，气体管道的材质对于气体输送的安全和可靠性有着重要的影响。因此，在选择管道材质时，需要考虑气体的性质、压力、温度等因素。一般来说，不锈钢、铜、塑料等材质都是比较常用的。氢气管道与其它可燃气体管道交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。洁净室气体管道设计施工规范

阀门的选用： ①高纯气体一般采用手工氩弧焊接和自动氩弧焊接，焊接型式通常采用承插焊和对焊，承插焊的好处在于施焊时管道的对中，方便焊接，但缺点是由于管道与承插口之间有间隙，会存在“死空间’不易将杂质吹除，影响高纯气体质量。因此对于要求极为严格的高纯气体来说，应采用对接焊连接并要求内表面无焊缝，即在施工时不得使用不锈钢焊丝，利用母材的本身融化填满焊缝。②高纯气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专门使用接头予以连接，常用的接头方式有两种：分别为VCR（Vacuum Coupling Retainer）和SWG（Swaglok），VCR采用优良的金属垫，利用纵向压力压紧，因此泄漏率极低，约为10～9A cc/s，且耐压较高，常用于气体杂质含量1.0×10－9级的高纯气输送系统，而SWG则不如VCR，耐压较低，基本上这两种接头方式的安全性足可代替焊接的方式。杭州定制气体管道设计流程有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。

气路的布线：1. 应尽量减少弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。压力管道拐弯应力集中区应有安全加固，设计合适的拐弯半径，弯曲部位不能有皱折及扭曲。弯曲半径和弯曲质量由专门使用工具保证。系统布线应尽量减少接缝以降低泄漏的可能性。2. 配管时的每根管道每个管件均要用高压的5N高纯氮气进行吹扫才能接入系统，整个系统安装完毕后还要用5N的高纯氮进行大流量气体吹扫，以确保系统的洁净度即流出的气体无油脂及明显的固体颗粒物流出。3. 系统安装完毕后要用高纯氮气进行高压部分、低压部分气密性实验，对整个系统进行检测。

压缩空气管网设计当设计与确定压缩空气网络时，首先需要有管网及用气系统的设备列表，所有用气设备，和一张标明了各用气点位置的布局图。用气点可以按照一定的逻辑进行分类编组并由同一供气支管供气。当然一个供气主管路为每个供气支管供气。一个完整的压缩空气管网有四个主要部分：供气主管供气支管设备连接管管道配件供气主管把压缩空气从压缩机房输送到用气区域领域。供气支管是将主管内的空气引到用气区域，设备连接管将支管与用气设备连接起来。根据用气设备的分布情况吗，高纯气体的管网大小长短应适宜，不宜过大或过长。

引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。每隔1.5米左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后，还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫，以确保整个系统的洁净度。供气系统安装完成后，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体。江苏药厂气体管道设计服务

气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换。洁净室气体管道设计施工规范

吸送式，通常以20～40 m/s的高速气流在管路系统内悬浮输送物料，较高真空度可达60 kPa。该系统在许多行业中采用，如图2.1.0所示，物料的输送过程是在风机的一侧完成的，该系统具有以下特点。1—回转式供料器；2—料仓；3—输料管；4－次旋风分拽器；5－排料器；6一料罐；7一二次旋风分离器；8一罗茨鼓风机。1 保证物料和灰尘不会飞逸外扬。2 适宜于物料从几处向一处集中输送。3 适用于堆积面广或存放在深处的物料输送。4 进料方式比压送系统中的供料器简单。5 对卸料口、除尘器的严密性要求高，致使这两种设备构造较复杂。6 输送量、输送距离受到限制，且动力消耗较高。洁净室气体管道设计施工规范