南京不锈钢特气管道安装

气体房的选择和设计，除了简单的供气系统以外，特气房一般都单独于主场房而单独建设，其规划时需考虑建筑物的防火、泄爆、防火防爆间距、危险物的总量控制等。常规供气系统一般也采用多种气瓶柜共设在一个气体室；而对于大宗特气，会根据气体特性和相容性将气体房分成可燃气体房、腐蚀性气体房、惰性气体房、硅烷气体房、毒性气体房等。气体房必须有良好的通风，气体房的选择和设计一般由设计院完成。气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯,硅烷遇水反应，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。南京不锈钢特气管道安装

施工管理和现场施工的注意点：（1）项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。（2）特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。杭州大口径特气管道安装参考价弯管时不可取开管道两端的封头，弯头成型后角度偏差不大于5°。

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。

特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点。分类，特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。弯管加工，常规双层管弯头需定做，定做成品成本高，而且质量不易得到保证。

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH 4 、N 2 O、 2 、 C 2 F 6 、 NH 3 等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF 3 ）等、光纤（气体种类包括SiCl 4 ）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。选择特气管道工程安装公司的标准：施工技艺先进，验收严格按照规定标准。南京隐藏式特气管道安装厂家

当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。南京不锈钢特气管道安装

管道系统的设计：材料的选择，特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。2.主管路系统的设计，在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路较短,拐弯较少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。南京不锈钢特气管道安装