上海不锈钢特气管道安装服务商

GP特种气体管道的“施工”，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。然后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。现场基本的施工程序为：01施工图纸会审 02施工组织编写 03预制间的搭设 04施工机具的准备 05施工人员的培训 06预制图纸的编写07管道的预制 08管道的现场安装 09系统检测 10系统验收。特气系统检测：a设备安装完成后，按照系统要求的基本功能逐一测试。b系统运行正常，联机测试通过。针对以上情况及实际工作压力，参考《国家工业管道安装及验收规范》(GB50235-2010)、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》(GB50236-2010)等部分有关规定，对本项目气体管道压力试验及净化制定具体方案。管道切割时使用不锈钢专门使用切割器缓慢进行切割，操作时保持切面直度(90°±0.5)。上海不锈钢特气管道安装服务商

系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯,硅烷遇水反应，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。宁波高纯特气管道安装直管段外层管亦采用弹簧圈支垫，确保双层管夹层空间距离，起到双层管保护作用。

施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气完全置换，被置换出的气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。施工完毕、测试合格后，应将管道系统内充入0.1MPa(表压)的高纯氮气。说明：本标准用词说明1 为便于在执行本标准条文时区别对待，对要求严格程度不同的用词说明如下：1) 表示很严格，非这样做不可的：正面词采用“必须”，反面词采用“严禁”；2) 表示严格，在正常情况下均应这样做的：正面词采用“应”，反面词采用“不应”或“不得”；3) 表示允许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的：正面词采用“宜”，反面词采用“不宜”；4) 表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用“可”。2 条文中指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合….的规定”或“应按……执行”。

特气管道工程安装的注意事项：1、特气管道系统的所有管道的支吊架必须符合规范及设计要求，并按照标准图集中的要求制作与安装。如：①　管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上；②　应按设计要求或国家标准图集中对管道固定支架的型式进行选择；③　严禁将管道支、吊架直接焊接在钢结构承重梁上，必须根据承重梁的承重系数选择合适的支、吊架固定方案才能进行施工。2、特气管道安装时，在管子对口前应检查平直度，在距离接口中心200mm处测量，①　当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm；②　当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm；但全长允许偏差均为100mm。特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH 4 、N 2 O、 2 、 C 2 F 6 、 NH 3 等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF 3 ）等、光纤（气体种类包括SiCl 4 ）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。特气管道工程是一项危险系数比较高的工程，在选择的过程中一定要注意安装标准规范操作。宁波高纯特气管道安装

严禁将管道支、吊架直接焊接在钢结构承重梁上，必须根据承重梁的承重系数选择合适的支、吊架固定方案。上海不锈钢特气管道安装服务商

阀门箱与阀门盘的安装，阀门箱和阀门盘应固定在专门使用支座上或固定支架固定在梁、柱与墙上，不得将阀门箱直接固定在地面上。10.4.2阀门箱和阀门盘的支座宜采用专门使用镀锌型钢、专门使用喷塑型钢或专门使用不锈钢型钢装配式连接，不宜采用焊接。10.4.3阀门箱和阀门盘的垂直度偏差不应大于1.5‰，成列盘面的垂直度偏差不应大于5mm。阀门箱与阀门盘就位找平后，应固定牢固。连接阀门与阀门盘、阀门箱的螺栓应为不锈钢螺栓，不得将阀门和管道系统与任何未经处理的碳钢件直接接触。上海不锈钢特气管道安装服务商