绍兴多组分特气管道安装配件

硅烷（SiH4）的利用可以实现高纯度、超精细(可达原子尺寸)的控制和较灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料制成复杂精细的结构, 满足各种需要，这也正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。硅烷既然这么有用，那肯定不能因为它是危险性气体就不用啊，但同样安全第一，那该怎么办呢？特气系统和特气设备!他们的出现便是为了解决这种问题而专门设计出来的。以上，便是硅烷特气系统中硅烷（SiH4）的作用、特气柜的设计和气体管道要求，因为硅烷的危险特性，要选好特气设备（特气柜）和做好气体管道安装，这样无论你是否使用，你都是可以放心和安全的。感谢您的阅读！对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。绍兴多组分特气管道安装配件

系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯,硅烷遇水反应，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。湖州化验室特气管道安装施工规范特气管道工程要选择一家经验丰富的供气气体系统公司。

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。

特种气体管道安装：1 管外径大于1/2"的管道切割应采用不锈钢管洁净专门使用切割机，切割时不得使用润滑油：切口端面应垂直、无毛刺、不变形；满足不加丝自动轨道氩弧焊要求；不得使用手工锯、砂轮切割机切割；2管道切管作业时，应分别从两端管口将高纯氮气或氩气通入管内，并不得损伤管道外壁；3管口倒角作业时，不得损伤管道内壁，并不得采用什锦锉对管口进行倒角；4管道吹扫完毕，应使用不产尘的洁净布沾上异丙醇或无水乙醇将切割管口清洗干净，应迅速用洁净防尘帽或洁净胶带将管口封堵；5切割结束后，剩余管材应以洁净防尘帽封或洁净胶带堵后装入包装袋中；6管道预制焊接总长度不应超过12m，预制时应放置在专门使用支座上，支点数量不得少于4个；管道运输时每3m长度应设一个支点。管道切割时使用不锈钢专门使用切割器缓慢进行切割，操作时保持切面直度(90°±0.5)。台州车间特气管道安装参考价

项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训。绍兴多组分特气管道安装配件

特气管道工程安装几个安全要点：1、所有管道的支吊架必须符合规范及设计要求并按照标准图集中的要求制作与安装。管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上。应按设计要求或国家标准图集中对管道固定支架的型式进行选择。严禁将管道支、吊架直接焊接在钢结构承重梁上，必须根据承重梁的承重系数选择合适的支、吊架固定方案才能进行施工。2、特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量，当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm，当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm，但全长允许偏差均为100mm。绍兴多组分特气管道安装配件