微孔陶瓷吸盘在防腐蚀,抗氧化,抗冷热冲击这几方面拥有的优势:微孔陶瓷吸盘的热容量小,它本身不蓄热,可以直接散热,微孔陶瓷吸盘不会像金属散热片一样形成“热 阶梯”,影响它的散热性能。微孔陶瓷吸盘比较大的特点,它本身就是微孔洞的结构,这种工件增加了与空气接触的面积,可以大幅度增强它的散热性效果,同比条件下,微孔陶瓷材料的散热效果比超铜、铝,密闭环境下,主动辐射散热能力8.8倍与金属材料,散热优势更加明显。微孔陶瓷吸盘本身具备有绝缘、耐高温、抗氧化、耐酸碱、耐冷热冲击、热膨胀系数低,从而还保证了在高低温环境或者其他恶劣环境下陶瓷散热片的稳定性。陶瓷吸盘与其它过烤材科相比,微孔陶瓷吸盘的孔隙率很高。重庆半导体陶瓷吸盘供应报价
多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用于平坦,无孔表面的工作平台。产品种类:陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等;材料:氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅。使用者通常是机器操作员,在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。陶瓷吸盘使用的特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,普遍应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨等领域。重庆半导体陶瓷吸盘供应报价陶瓷真空吸盘还可以在传输型气浮模组中使用。
陶瓷吸盘材料的车削加工车削加工主要是用金刚石刀具切削高硬度、高耐磨性的陶瓷吸盘材料。多晶金刚石刀具难以产生光滑的切削刃,一般只用于粗加工;对陶瓷吸盘材料精车削时,或者混合类的液体的时候,如果使用传统的铁滤或金属过滤,就会对过滤器皿产生一定程度的腐蚀,浪费过滤的元件。众所周知,陶瓷是比较耐高温的,微孔陶瓷也不例外,可用于急冷急热的工作环境,然后虽然微孔陶瓷很精致美观,应将泵全部拆开检查陶瓷真空吸盘。
陶瓷吸盘比较早是用来在平面磨床中夹持非金属工具的,这种陶瓷吸盘由中间的多孔陶瓷和边缘的密封环组成。工作时利用多孔陶瓷上小孔将晶圆与陶瓷表面之间的空气抽出,晶圆由于负压被吸附在吸盘表面,从而固定。等到加工结束后,内部的等离子水会从陶瓷表面孔内流出,使晶圆较好的剥离且同时清洗表面。虽然陶瓷吸盘在精密磨削加工中应用普遍,但这种方法明显的缺陷是,当晶圆被陶瓷吸盘吸附在吸盘表面时,晶圆会由于空气压力或者有微小颗粒吸入使局部变形,从而影响表面平整度,使加工精度下降。另外,晶圆的一些加工步骤需要在真空环境下进行,而陶瓷吸盘在真空环境下则完全无法工作,这种情况下只能选择其他的夹持方式来固定晶圆。陶瓷吸盘加工时,白色硅胶条密封在吸盘格槽内。
反冲洗效果好坏直接决定陶瓷吸盘寿命长短,反冲洗介质是水和压缩空气的混合流体,要求水源压力不低于0.3 MPa,气源压力不低于0.4 MPa,冲洗时汽水混合罐处的压力不低于0.25 MPa;水质良好,含杂质粒度小于20 um。对于不能满足要求的水源,需要加装过滤装置。该公司共加装2级过滤器,第1级滤网孔径50 um,第2级滤网孔径10 um。在第1级滤网前和第⒉级滤网后均设置压力表,以观测滤网堵塞情况。当过滤装置前后压差过大且不能满足反冲洗用水要求时,需要清理过滤器滤网,以保证反冲洗效果。反冲洗效果变差,将造成陶瓷吸盘毛细孔被浆液堵塞,加速陶瓷吸盘的失效。陶瓷吸盘其本身材料就是特种陶瓷之一——氧化锆陶瓷。安徽精密陶瓷吸盘费用
陶瓷吸盘的基本尺寸精度可以控制在0.01mm左右。重庆半导体陶瓷吸盘供应报价
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