分类
按三坐标测量仪结构可分为如下几类:
1.移动桥架型(Movingbridgetype)移动桥架型,为较常用的三坐标测量仪的结构,轴为主轴在垂直方向移动,厢形架导引主轴沿水平梁在方向移动,此水平梁垂直轴且被两支柱支撑于两端,梁与支柱形成“桥架”,桥架沿着两个在水平面上垂直和轴的导槽在轴方向移动。因为梁的两端被支柱支撑,所以可得到较小的挠度,且比悬臂型有较高的精度。
2.床式桥架型(Bridgebedtype)床式桥架型,轴为主轴在垂直方向移动,厢形架导引主轴沿着垂直轴的梁而移动,而梁沿着两水平导轨在轴方向移动,导轨位于支柱的上表面,而支柱固定在机械本体上。此型与移动桥架型一样,梁的两端被支撑,因此梁的挠度为较少。此型比悬臂型的精度好,因为只有梁在轴方向移动,所以惯性比全部桥架移动时为小,手动操作时比移动桥架型较容易。 晶圆测厚仪运用解决方案。智能解决方案定义
空气湿度大、测量机房密封性不好是造成机房湿度大的主要原因。在湿度比较大地区机房的密封性要求好一些,必要时增加除湿机。解决的办法就是改变管理方式,将“放假前打扫卫生”改为“上班时打扫卫生”,而且要打开空调和除湿机清理水份。要定期清洁计算机和控制系统中的灰尘,减少或避免因此而造成的故障隐患。使用标准件检查机器是非常好的,但是相对来说比较麻烦,只能是一段时间做一次。比较方便的办法是用一个典型零件,编好自动测量程序后,在机器精度校验好的情况下进行多次测量,将结果按照统计规律计算后得出一个合理的值及公差范围记录下来。操作员可以经常检查这个零件以确定机器的精度情况。智能解决方案定义激光干涉仪运用解决方案。
测量方法和评定方法不同,数据处理的方法也不相同。选定某一测量方法和评定方法,可能直接得到实际表面的平面度误差值,如采用打表法进行测量,再用对角线法评定其平面度误差,则可不必进行数据处理,可直接得到测量结果;采用水平仪进行测量,则不论采用何种评定方法,均需进行数据处理;而对于任何一种测量方法,如果按较小区域法来评定其平面度误差,都必须进行数据处理才能得到平面度误差值。另外,还应注意到,测量基准面和评定基准面一般是不重合的(或说不平行的)。
基本构成
1、 X向横梁:采用精密斜梁技术。
2、Y向导轨:采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构。
3、导轨方式:采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨。
4、驱动系统:采用本产高性能DC直流伺服电机、柔性同步齿形带传动装置,各轴均有限位和电子控制,传动更快捷、运动性能更佳。
5、Z向主轴:可调节的气动平衡装置,提高了Z轴的定位精度。
6、控制系统:采用进口的双计算机三座标zhuan用控制系统。
7、机器系统:采用计算机辅助3D误差修正技术(CAA),保证系统的长期的稳定性和高精度。
8、测量软件:采用功能强大的3D-DMIS测量软件包,具有完善的测量功能和联机功能。 如果解决方案本身有欠缺,那么可能在执行中导致更多的问题,达不到预期的效果。
14. 在搬放工件时,先将测头移至安全位置,要注意工件不能磕碰工作台面,特别是机器的导轨面。
15. 关机顺序依次为:①将Z轴移动到机器的左、前、上方,并将测头角度旋转到A0B0;②清洁工作台面;③依次关闭测座控制器、控制柜电源、气阀、冷干机、总气源、电源箱。 16. 长期不用的钢制标准球,需油封防锈。
17. 在使用花岗石工作台面上的镶嵌件固定工件时,扭矩不得超过20Nm。
18. 如果发现异常情况(除更换测头错误信息),请首先记录软件提示的错误信息,传真或电话通知海克斯康技术服务部,未经指导和允许请勿擅自进行检查维修。
19. 计算机内不要安装任何与三坐标无关的软件,以保证系统的可靠运行。
20. 空调应24小时开机,空调的检修时间放在秋天进行,从而保证三坐标正常使用。 机器视觉应用解决方案。江西名优解决方案
旧产品在新市场的开展策略。智能解决方案定义
光电传感器一般由处理通路和处理元件2 部分组成。其基本原理是以光电效应为基础,把被测量的变化转换成光信号的变化,然后借助光电元件进一步将非电信号转换成电信号。光电效应是指用光照射某一物体,可以看作是一连串带有一定能量为的光子轰击在这个物体上,此时光子能量就传递给电子,并且是一个光子的全部能量一次性地被一个电子所吸收,电子得到光子传递的能量后其状态就会发生变化,从而使受光照射的物体产生相应的电效应。通常把光电效应分为3 类:(1 )在光线作用下能使电子逸出物体表面的现象称为外光电效应,如光电管、光电倍增管等;(2 )在光线作用下能使物体的电阻率改变的现象称为内光电效应,如光敏电阻、光敏晶体管等;(3 )在光线作用下,物体产生一定方向电动势的现象称为光生伏te xiao应,如光电池等。智能解决方案定义
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