光电解决方案操作

下面详细介绍在DCC状态下，进入“功能”(Utility)菜单选取“扫描”(Scan)选项后可供选择的五种扫描方式。

1.开线扫描(Open Linear Scan)开线扫描是较基本的扫描方式。

测头从起始点开始，沿一定方向并按预定步长进行扫描，直至终止点。开线扫描可分为有、无CAD模型两种情况。

(1)无CAD模型如被测工件无CAD模型，首先输入边界点(Boundary Points)的名义值。打开对话框中的“边界点”选项后，先点击“1”，输入扫描起始点数据；然后双击“D”，输入方向点(表示扫描方向的坐标点)的新的X、Y、Z坐标值；结尾双击“2”，输入扫描终点数据。第二项输入步长。在“扫描”对话框(Scan Dialog)中“方向1技术”(Direction 1 Tech)栏中的“比较大”(Max Inc)栏中输入一个新步长值。结尾检查设定的方向矢量是否正确，该矢量定义了扫描开始后较早测量点表面的法矢、截面以及扫描结束前结尾一点的表面法矢。当所有数据输入完成后点击“创建”。

晶圆测厚仪运用解决方案。光电解决方案操作

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平面度：

形位误差中的形状误差。

平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域。平面度属于形位误差中的形状误差。

平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面 度误差值；或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值。

平面度误差测量的常用方法有如下几种：平晶干涉法、打表测量法、液平面法、光束平面法、激光平面度测量仪、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法。

4.截面扫描(SectionScan)截面扫描方式只适用于有CAD曲面模型的工件，它允许对工件的某一截面进行扫描，扫描截面既可沿X、Y、Z轴方向，也可与坐标轴成一定角度。通过定义步长可进行多个截面扫描。可在对话框中设置截面扫描的边界点。按“剖切CAD”转换按钮，可在CAD曲面模型内寻找任何孔，并可采用与开线扫描类似方式定义其边界线，PCDMIS程序将使扫描路径自动避开CAD曲面模型中的孔。按用户定义表面剖切CAD的方法为：进入“边界点”选项；进入“CAD元素选择”框；选择表面；在不清理“CAD元素选择”框的情况下，选择“剖切CAD”选项。此时PCDMIS程序将切割所选表面寻找孔。若CAD曲面模型中无定义孔，就没有必要选“剖切CAD”选项，此时PCDMIS将按定义的起始、终止边界点进行扫描。对于有多个曲面的复杂CAD图形，可对不同曲面分组剖切，*#将剖切限制在局部CAD曲面模型上。IT行业型解决方案的五个系统流程分析。

基本构成1、X向横梁：采用精密斜梁技术。2、Y向导轨：采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构。3、导轨方式：采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨。4、驱动系统：采用本产高性能DC直流伺服电机、柔性同步齿形带传动装置，各轴均有限位和电子控制，传动更快捷、运动性能更佳。5、Z向主轴：可调节的气动平衡装置，提高了Z轴的定位精度。6、控制系统：采用进口的双计算机三座标zhuan用控制系统。7、机器系统：采用计算机辅助3D误差修正技术（CAA），保证系统的长期的稳定性和高精度。8、测量软件：采用功能强大的3D-DMIS测量软件包，具有完善的测量功能和联机功能。在某些领域，解决方案不止是针对问题本身，也必须考量到需要服务的对象。光电解决方案操作

好的解决方案必须包含总结的要素。光电解决方案操作

分类

按三坐标测量仪结构可分为如下几类：

1.移动桥架型(Movingbridgetype)移动桥架型，为较常用的三坐标测量仪的结构，轴为主轴在垂直方向移动，厢形架导引主轴沿水平梁在方向移动，此水平梁垂直轴且被两支柱支撑于两端，梁与支柱形成“桥架”，桥架沿着两个在水平面上垂直和轴的导槽在轴方向移动。因为梁的两端被支柱支撑，所以可得到较小的挠度，且比悬臂型有较高的精度。

2.床式桥架型(Bridgebedtype)床式桥架型，轴为主轴在垂直方向移动，厢形架导引主轴沿着垂直轴的梁而移动，而梁沿着两水平导轨在轴方向移动，导轨位于支柱的上表面，而支柱固定在机械本体上。此型与移动桥架型一样，梁的两端被支撑，因此梁的挠度为较少。此型比悬臂型的精度好，因为只有梁在轴方向移动，所以惯性比全部桥架移动时为小，手动操作时比移动桥架型较容易。 光电解决方案操作