济南控制板真空镀膜

真空镀膜工艺对应用环境有着严谨的要求，对于常规的真空工艺来说，它对真空卫生主要是要求：在真空中的设备的零件或表面无积存的污染源、真空室表面光滑且无松软组织和气孔和死空间、真空设备内焊缝不会影响真空、高真空设备不得用机油作润滑剂、无油超高真空系统应避免因油蒸气而对工作介质的纯度、工作性能或表面特性造成影响、超高真空金属系统常以1Cr18Ni9Ti作为结构材料、置放真空镀膜设备的实验室或车间应保持清洁卫生等。真空镀膜工艺对环境的基本要求主要有：真空室内的高度清洁、置于清洁度高的工作间、镀膜室内的灰尘等。部分地区空气湿度较大，所以，在镀前不只要清洗基片、真空室内的各部件，还需做烘烤除气工作。此外，为防止真空室内带入油，还需注意施加油扩散泵的返油、挡油等措施。真空镀膜是真空应用领域的一个突破性技术，利用物理或者化学方法并吸收一系列新技术而成的工艺。济南控制板真空镀膜

真空镀膜主要分类有两个大种类：蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜，具体则包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，溶胶凝胶法等等。一、对于蒸发镀膜：一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于：1、基片材料与靶材的晶格匹配程度。2、基片表面温度。3、蒸发功率，速率。4.、真空度。5、镀膜时间，厚度大小。组分均匀性：蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。晶向均匀性：1、晶格匹配度。2、基片温度。3、蒸发速率。溅射镀膜又分为很多种，总体看，与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。济南控制板真空镀膜真空镀膜的过程环保无毒，颜色相较电镀更加丰富。

目前真空镀膜技术中所采用的镀膜方法主要有：真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀、束流沉积镀以及分子束外延和化学汽相沉积镀等多种。真空镀膜法是一种新的镀膜工艺，由于镀膜制备工艺是在真空条件下进行的，故称真空镀膜法，亦称干式镀膜法，它与湿式镀膜法比较有如下特点：①真空下制备薄膜，环境清洁，膜不易受污染，可获得致密性好，纯度高，膜厚均匀的涂层。②膜材和基体材料有非常广的选择性，薄膜厚度可进行控制，可以制备各种不同的功能性薄膜。③膜和基体附着强度好，膜层牢固。④不产生废液，可避免对环境的污染。

真空镀膜是由专门的真空镀膜机完成的，其工作流程及原理为：基片通过镀膜机的机械手的搬运，进入到镀膜机的真空腔体里，经过高压电离的氩离子在强电场及强磁场的作用下，产生高速运动，轰击靶材表面，激发出的金属离子附着在基片表面，形成一层反射膜。基础的真空镀膜知识：1.真空：用真空泵抽掉容器中的气体，使空间内低于一个大气压的气体状态，也就是该空间的气体分子密度低于该地区大气压的气体分子密度。2.真空中残存气体的稀薄程度，就是真空程度的高低，即真空度。通常用压力表示单位（Pa）。3.1Pa就是1m2面积上作用1N的压力。1大气压=1.03×105Pa。4.压升率：单位时间内，真空度降低的速率。单位：Pa/h。5.真空泵的抽气简称抽速）（单位：L/S）：当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。6.极限真空度：（单位：Pa)：在规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向平稳的较低的压强。真空镀膜的功能是多方面的，这也决定了其应用场合非常丰富。

真空镀膜技术的发展：真空镀膜技术起步时间不长，国际上在上世纪六十年代才出现将CVD（化学气相沉积）技术应用于硬质合金刀具上。由于该技术需在高温下进行（工艺温度高于1000ºC），涂层种类单一，局限性很大，起初并未得到推广。到了上世纪七十年代末，开始出现PVD（物理的气相沉积）技术，之后在短短的二、三十年间PVD涂层技术得到迅猛发展，究其原因：（1）其在真空密封的腔体内成膜，几乎无任何环境污染问题，有利于环保；（2）其能得到光亮、华贵的表面，在颜色上，成熟的有七彩色、银色、透明色、金黄色、黑色、以及由金黄色到黑色之间的任何一种颜色，能够满足装饰性的各种需要；（3）可以轻松得到其他方法难以获得的高硬度、高耐磨性的陶瓷涂层、复合涂层，应用在工装、模具上面，可以使寿命成倍提高，较好地实现了低成本、收益高的效果；（4）此外，PVD涂层技术具有低温、高能两个特点，几乎可以在任何基材上成膜，因此，应用范围十分广阔，其发展神速也就不足为奇。真空镀膜常见到的有真空蒸发镀膜、离子镀膜、磁控溅射镀膜。济南控制板真空镀膜

真空技术是涂层制作技术的基础，获得并保持所需的真空环境，是真空镀膜的必要条件。济南控制板真空镀膜

真空镀膜技术在压铸模具中的运用：真空镀膜涂层表面摩擦系数小，经过表面抛光的金属材料的表面对钢摩擦系数一般在0.9左右，真空镀膜涂层对钢材的摩擦系数在0.01～0.6之间，常用于压铸模具的真空PVD镀膜涂层材料（AlCrN，AlTiN）摩擦系数一般在0.4-0.6，低的摩擦系数使经过真空PVD镀膜处理的模具在加工过程中与被加工零件的表面摩擦降低，零件表面品质优于没有涂层的模具所生产的零件。压铸模具的生产条件较为严苛，在高温600-800℃的金属溶液，通过高压力注射，并且模具表面不停的热胀冷缩，导致压铸模具的使用寿命很短，在生产时不停的需要修模、维护。导致压铸模具失效的主要是龟裂，冲蚀，黏料和变形等失效方式。济南控制板真空镀膜

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