半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压。半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体，因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。现实中，由于选型不合理，许多真空泵处于不正常状态运行，造成能源浪费，维修成本增加，甚至根本无法工作。湖北环保真空泵案例
螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新兴成员，出现于上世纪90年代前后，发展较晚。但作为一种理想干泵，螺杆式真空泵在面世后获得了快速发展，它也是昊青气体装备的主要产品领域之一。现在就跟随小编去了解一下它的情况。螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中一种较为理想的真空泵。它能提供清洁无油的真空环境，并且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性，因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域，螺杆式真空泵备受青睐。螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。它具有以下特点：1、清洁无油，多相混输，适应性普遍。螺杆式真空泵转子间存在严格间隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有害及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。2、结构简单，动平衡好，可靠性高。螺杆式真空泵零部件少，主要部件无易损件，也无不平衡惯性力，运转可靠，寿命长。3、因结构简单，零部件少，所以操作、维修维护简便。4、强制输气，可以在宽压力范围内保证较大抽速，排气量几乎不受排气压力影响。湖北环保真空泵案例螺杆式真空泵不仅适应性普遍，可以在恶劣条件下抽气，同时可以达到较高真空度（0.1～1Pa）。
前面我们讲的都是粗真空。但对于制造极其微小的结构，则需要高真空，例如，利用高真空使金属沉积到硅晶片上。一方面，所用金属沸点相对较低。另一方面，即使是再小的夹杂物，甚至是空气气体分子，也会损害薄片层的导电性。离子注入也是如此，在此工艺中，离子在电场中加速运动，被引导到晶片上并置于晶格中。没有真空，EUV 光刻也就无从实现。作为相对较新的工艺，EUV 光刻使用波长非常短的极紫外光来显示晶片上特别小的结构。EUV 光传播几毫米后就会被空气完全吸收。只有在真空度非常高时，它才能畅通无阻地传播。此技术和类似方法是很多芯片技术发展的先决条件，例如，让我们的智能手机变得越来越薄，同时提供不断增强的性能，如果没有高真空度的辅助，都是不可能实现的。
螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子，在泵腔中作同步、高速反向运转，周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的主要结构包括螺杆转子、轴承、泵体、密封等。螺杆转子经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵腔中，螺杆与螺杆之间维持严格一定的间隙。泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，腔内无需润滑油。因此，螺杆式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空高，消耗功率低，具有节能，免维修等优点。采用高科技面料制成的现代膜帆在真空泵的作用下压合而成。
在真空环境下，水分快速蒸发的预冷技术，称之为真空冷却技术。作为一种快速有效的冷却方法，该技术可用于食品特别是叶类蔬菜的冷却。真空冷却是食品冷冻冷藏链中不可缺少的环节之一。真空冷却是将被冷却的产品放在真空室内，通过真空泵抽真空，造成一个低压环境，使产品内部的水分得以蒸发。由于水分的蒸发吸热导致产品温度下降，产品的温度一般在0～10℃。真空冷却在几十年前就已经被应用到莴苣、蘑菇、切花等园艺产品的预冷，近几年来，它又被应用到肉类及其肉制品的预冷。真空泵若安装在易爆区域或特殊场合，应根据等级，采用防爆电动机或其他有效措施。安徽好的真空泵方案设计
正确地选择真空泵的工作点，每种真空泵都有一定的工作压强范围，真空泵的工作点应该选在这个范围之内。湖北环保真空泵案例
针对复杂的应用场合，昊青气体装备技术(江苏)有限公司将它成熟和超可靠的螺杆压缩技术应用于真空领域，铸就了EVS750-5200系列油封螺杆式真空泵。该系列10种型号的产品提供的**多至5136m3/h的真空抽速，使EVS系列真空泵成为了针对印刷、电子、塑料、包装、木材加工、制瓶、制罐等类似行业复杂应用的真空解决方案。EVS750-5200系列产品拥有以下特点：技术稳定、高可靠性、效率杰出且使用简便、优化的真空控制系统、直接安装于真空泵进气口的调容阀、提升的节能效果、现代可靠的真空技术（低螺杆转速、通用马达、创新的部件定位、可拆卸式外门板、隔音外罩、真空泵进气口直接安装的模块化调节阀、可设定式油自动调温器、创新的油分离器）。湖北环保真空泵案例
